半导体IC切割SSS培训教材

SSS培训教材第一章V2Handler的各部分机械调节的方法按下E-Stop，转动Turret,检查运动顺序是否正确：外环下内环下外环上内环上确定吸嘴的位置，在RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的位置是否在正中间。OrientatorRejectBoatGoodBoatSawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整8个吸嘴是否在同一个高度方法：在XYTable上面确定一个固定点，转动Turret,看每一个吸嘴接触定点的高度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。检查吸嘴在XYTable,RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的高度是否满足要求：在XYTable上面放置一个Unit,如图所示吸嘴UnitXYTableSawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整Orientator位置的高度标准：RejectBoat,GoodBoat上面高度标准：SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整检查XYTable在XY轴向的平行度：固定一个吸嘴，转动XYTable在X,Y轴向的马达，移动XYTable检查GoodArm在IndexTray和GoodBoat上面的高度，以在IndexTray上的高度为基准；RejectArm在RejectTray和RejectBoat上面的高度，以RejectTray上面的高度为基准。Turret速度设定：旧机器——50~100，新机器——100~120SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整GoodBoat——802sensor,RejectBoat——801sensor调节时Boat必须在Arm的正下方GoodBoatSensorSensorUnitArm2检查Arm2Gripper和Carrier是否在同一个平面；跑机过程中检查Gripper是否变形；Arm2在XYTable的马达位置，Retainer活动顺畅；Arm2在Flipper,Wash的位置是否正确，调节气阀，使上下运动力度再合适的范围之内；SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整Washing&Drying:Washing冲洗次数为3~6次，速度为80mm/sDrying烘烤次数为8~10次，速度为60mm/s,温度设定为2~3若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干，则必须检查如下：清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查高压水压力状况；Carrier在Start,End的位置是否正确清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查压缩空气的压力；加热泵是否工作；Carrier在Start,End的位置是否正确SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整发现链条活动常：检查前后导矸是否平行；导杆前后距离太近导致链条过长刮到Wash底部；连轴器松动导致位置变化；Carrier托盘是否松动，检查轴套是否破损，及时更换；长轴是否变形Flipper检查检查Flipper在Work,Home状态下是否平衡，调节连轴器，使之达到平衡；Carrier两头的夹子是否松动，固定架子的杆是否松动；检查Flipper在翻转是是否顺畅；检查定位针是否磨损；调节气阀大小，使之翻转的动作平缓SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整Leadin检查：检查Sensor高度，皮带是否磨损导致Substrate不能到位，检查轨道宽度Arm1检查检查Arm1Left在Leadin位置是否平行，定位针是否破损，保证在吸料时，Substrate完好；检查Arm1Left在Chucktable位置，检查上下平面是否平行，确保放料位置正确；检查Arm1Right在Chucktable位置，检查平面度，下降高度不能太低，确保位置正确；方法：手动使Carrier在Chucktable位置下降到底，比较Chucktable与Carrier两个平面，以Chucktable平面为基准，同时移动Arm1Right到一个定位销与Chucktable平面平行，再检查另外一个定位销是否与Chucktable平面平行，若不平行，松开中间四个螺丝进行调整。SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整检查Arm1Right在Flipper位置:确保位置正确，当Arm1Right下降抓Carrier时，不能太低，刚好能抓到位最好检查整机效率Saw机速度60Wash速度80，次数3-6Dry速度60，次数8-10Turret速度80-100在跑机时，观察机器状态，协调各参数，若发现异常，及时处理SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Saw机机械位置调整镜头（7.4）确定镜头聚焦的零点，一般在Rubber孔边缘面上，低倍镜头聚焦范围在高倍镜头聚焦的范围内，达到High/Low拒交相一致；任何原因拆开镜头，安装时要按照原次序安装，有空袭是要涂上密封胶，保证镜头十字架与Substrate十字架平行；若发现镜头脏污时应及时清洁，用净化纸棉签与酒精清洗。断片处理残片切割采用半自动切割方式（3.4），在CH3方向，只能在切两刀之后再重新对刀第一刀，第二刀和第三刀的距离不同???SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Saw机机械位置调整保证切割残片时，抬刀高度和贴Marking纸的厚度一般为5张，切完时最下面一层纸应不被切透。（4.1.2）Z-AxisAutoDownLength20mmDown0.01mm注意：每一次NCS测高报警时，应清理Sensor直至测高完成，发现损坏请及时更换WorkThickness1.1mmFocusStroke2.5mmFocusSetup0.05mm2.5mm1.1mm做PR时，θ-Level设置为45%~50%。十字架边缘要清晰，斜光一般不要求太强，一台机器的PR应该包括几种不同型号的Substrate.第二章换刀程序退出主菜单.进入换刀菜单.如图按F1进入换刀界面二:用换刀工具把新刀换上.(重要部分,需现场指导和培训)换刀工具如下:装刀顺序如图换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位.并保证每部分清洁清洁未清洁三:对BBD进行清洁已达到指定要求两种情况:磨轮罩打开和关闭的状态.关闭打开BBD:调节方法如下调节BBD的螺丝,使BBD的感光量在打开磨轮时在60%-80%之间关闭磨轮时在10%左右如果没达到规定量,请用棉签清洗传感器部分四:对非接触测高进行清洁已达到指定要求在关闭清洗水和吹气的情况下传感器的电压水平需达到90%-99%之间.如无法达到时.请用棉签对传感器清洗进入测高菜单选择F3测高模式后进入选择Z1或Z2需测高对应的选项进行自动测高进行刀痕校准校准前校准后开始自动切割由技术员观察切割质量注意事项:1：换刀时,需对刀架周围和刀架本身进行清洁.以防止sub残渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空报警。2：清洁刀架两侧的冷却水管。以防水管堵塞造成刀片冷却不够,使刀片变形导致刀痕变大产生的切偏缺陷.第三章打磨法兰程序在生产过程中.出现打刀后法兰出现以下情况:1:刀片打碎后,有残留在法兰上的碎片无法取下(打磨或更换）2:在换刀时发现法兰外盖难以取下并感到有卡住的情况（更换）3:把新刀放在法兰内环时发现刀活动范围过大,或发现刀无法轻松的放入内环（更换）4:内外环无法完好闭合.（打磨）请根据以上情况对法兰进行打磨或对法兰进行更换进入打磨程序.如图按F1进入菜单把工具按要求装上.如图工具如图:安装过程需现场培训和指导打磨位置如图侧面图正面图打磨高度和距离进入设定程序.对各参数进行校对后开始打磨注意：打磨参数已经设定，技术员只需选择所要打磨的（动作轴）后按enter就开始自动打磨。在打磨完毕后根据打磨效果对（总次数）进行修改以达到最佳效果第四章SawPR退到主菜单后选择F2进入选择选择F2,进行TechPR程序第一步如图中所示，用绿色田字对准白色十字架后，在下列目录，选择F7或F8,进行灯光或聚焦设定，已确保到达最佳效果完成以上步骤后，按F5进行水平校准，（校对同一条直线上的两个不同的十字架来达到水平）第二步CH1方向完成水平校准后，按”Enter”进行电脑自动teach如图框所示，达到此标准后按Enter进入下一步第三步确认切割道此步骤重点注意如图：用3根绿线中，选择中间的实体绿线来对应白色十字架的中心。（这是刀片切割的位置，请保证要对应到中心位置）后按Enter确认第四步CH2方向的方法请参考以上四个步骤进行Tech第五步第六步校准目标确认切割道完成PR第五章HANMI更换程序。☻更换程序进入此键面进行程序选择选定需要更换的程序后按（deviceChange)进行确认。产品选择后成红色状态表示更换成功☻更换产品对应的模具SawblockDryblockTurntableTablepickerUnitpickerSQUAREPAD☻校准吸嘴先打开Specialkeyon,按AutoAlign进行自动校准吸嘴观察吸嘴位置，以确定吸嘴已装正确观察此数据，确保X:0.001-0.005之间☻更换Saw程序退到主菜单后选择F3(程序目录）选择需要更换的程序后，按F10确认进行刀片测高请根据换刀程序步骤进行刀片测高☻最后确认以上步骤做完后，请按以下几点进行最后确认1：让操作员把相对应的产品放入机器。2：由技术员检查第一片产品的：刀痕确认，Vision，和摆放位置。并让R/L操作员确认产品质量第六章VISIONBGAHanmiSSSvision操作在HanmiSSS机器系统里,已存储了原始的vision检查程序C：\DB\TeachData.。根据不同的产品所做的程序也同时存在C:\Vision\DB\TeachData里.每次产品更换，除了更换相应的conversionkit外，必须根据不同的产品调用相关的程序。必须用无尘纸认真擦拭Dryblock,保证Dryblock的清洁.程序调用完毕，主程序中以红色字体显示当前运行程序，其已和Vision检查程序完成自动连接。（见图1）检查Vision端程序状态，若在DatabaseIndex中和主机相同的程序通道显示出来，则程序调用完成（见图2）。否则，重新在主机中调入一次，或关闭Vision程序，再重新启动图2图1第二步一般而言，程序调用完成，即可开始生产。存在C:\Vision\DB\TeachData里的Teach文件由PM或工程师完成并已优化。在跑第一条产品时，若发现白点X-Mark未挑干净,或很多Over-reject,操作员应通知当班负责技术员调整Teach光线或重做TeachBallteaching1.选择检查球的摄像头,(见图3),检查是否有切过的package放在加热板上,将检查摄像头移到加热板下可显示package内一次检查的区域。图32.选择按钮live,以获得图像。（见图4）图43.选择通道“#1”，在“Light”中可调节主光和侧光的设定值，保持“CH1”设定为0。（见图5,图6.图7）图5图6CH1主光侧光图7光线的优化对vision的检测十分关键，优化程度可放大图象，通过快捷键“Ctrl+