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D08-2F、D08-3F、D08-4F型流量显示仪使用手册版号2010.04使用须知尊敬的用户,感谢您购买本公司生产的D08系列流量显示仪。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。产品使用者,请务必认真参阅本手册并理解后使用,在使用过程中,请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害,本公司有权不承担责任。本手册对您安装、维护及故障维修时,必不可少,请妥善留存保管。目录D08-2F、D08-3F、D08-4F型流量显示仪D08SERIESFLOWREADOUTBOXES1用途和特点……………………………...16.1使用前的准备工作………………...…….82主要技术数据…………………….....…..16.1.1显示仪各控制钮的状态…………………83前后操作面板…………………….....…..26.1.2电源线的连接……………………………94结构说明………………………….....…..36.1.3控制线的连接……………………..……..94.1±15V电源………………………….…..36.2操作使用步骤……………………...…….94.2+5.00V基准电源…………………..……36.2.1开机………………………………..……..94.3显示器…………………………………...36.2.2MFC(或MFM)调零…………………94.4阀控开关………………………………...46.2.3阀控开关置位……………………………94.5调零电位器……………………………..46.2.4设定流量…………………………..……..94.6设定电位器……………………………..46.2.5关机………………………………..……..94.7电源开关………………………………..47参数设置和更改…………………………94.8电源插座………………………………..47.1显示量程的设置…………………............94.9保险丝盒………………………………..47.2量程调节…………………………...…….104.10电源电压转换开关……………………..47.3小数点改变………………………..……..104.11内外设转换开关………………………..48注意事项…………………………..……..104.12控制器信号插座………………………..58.1禁止调整内部电位器……………..……..104.13外控信号插座…………………………..58.2接地问题…………………………..……..104.14铭牌……………………………………..58.3产品替换注意……………………..…….115外形尺寸和接线…………………….....58.4注意电源电压……………………………115.1外形尺寸………………………..............59选型与订货规格填写………………...…115.2与MFC(或MFM)插座接线………..69.1显示仪选型表……………………...…….115.3外控信号插座接线……………………...79.2标准订单填写格式………………………126操作方法……………………………….8第1页共12页D08-2F、D08-3F、D08-4F型流量显示仪使用手册1.用途和特点流量显示仪用于为气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。D08系列流量显示仪可直接与我公司生产的D07系列MFC(或MFM)配套使用。同时原则上也可以与世界上其它型号的MFC(或MFM)配合使用。D08-2F、D08-3F、D08-4F型流量显示仪,采用高档台式仪表机箱,可以分别控制2、3、4路MFC(或MFM),并且各路分别有各自的显示器。2.主要技术数据表1.2F、3F、4F型流量显示仪技术数据编号项目D08-2FD08-3FD08-4F1输出电源+15V±3%300mA-15V±3%600mA+15V±3%600mA-15V±3%1.2A2基准源+5.00V±0.1%5mA+5.00V±0.1%10mA3供电电源~220V±10%50Hz/~110V±10%60Hz4最大功耗25W45W5输入输出信号0~+5V6外形尺寸标准尺寸:(440×100×220)mm最大尺寸:(440×115×284)mm7重量4.2Kg4.3Kg4.4Kg8控制通道数和显示特点2路MFC/MFM2个显示器3路MFC/MFM3个显示器4路MFC/MFM4个显示器第2页共12页3.前后操作面板见图1~3.图1.2F型前后操作面板图图2.3F型前后操作面板图显示器阀控开关电源开关设定电位器内外设定转换保险盒量程调节电位器交流电源小数点设置开关MFC(或MFM)插座外控信号插座第3页共12页图3.4F型前后操作面板图4.结构说明4.1±15V电源显示仪中的±15V电源均采用三端集成稳压块组成,集成稳压电路内部有过热、过流保护,且具有接线简单、性能稳定、可靠性高等特点。4.2+5.00V基准电源+5.00V基准电源通过设定电位器提供0~5.00V的设定电压输出,用来调节MFC的流量。该电源设计有开机软启动电路,当电源盒接通电源时,基准源缓慢从0V升至+5.00V,软启动时间约为20秒。4.3显示器显示器用来显示流量,采用三位半数字面板表直读,最大显示数为1999。流量显示的单位有“SCCM”、“SLM”、“%”三种。通常,流量显示仪与MFC(或MFM)配套出厂时,将显示器显示的量值和单位与其对应的MFC(或MFM)通道的量值和单位调整成一致。如果用户订货时没有注明MFC(或MFM)的流量规格,则出厂调整为按满量程的百分电源电压转换开关第4页共12页比显示,它与任何规格的MFC(或MFM)配合使用时,满量程均显示“100.0%”。各通道显示的数值、小数点可通过改变设置和适当调整而满足使用的不同要求。4.4阀控开关阀控开关用于改变MFC的调节阀的工作状态。MFC正常工作时,该钮子开关置于“阀控”位;需要通气吹洗气路时,置于“清洗”位,此时阀完全打开;MFC不用时,应将该开关置于“关闭”位。此项功能通常只对我公司生产的D07系列MFC有效,如果不使用我公司产品,不要对相关引脚(控制线中的“阀控”脚)接线。4.5调零电位器该电位器,可以用来在小范围内调整我公司生产的MFC(或MFM)产品的零点。对于非本公司生产的MFC(或MFM)产品,该项功能无效。4.6设定电位器显示仪内部电路中,+5.00V基准电源通过该电位器提供0~5.00V的设定电压输出,用来调节MFC的流量。设定信号通过MFC控制器信号插头的“设定”脚送入MFC。4.7电源开关用于控制显示仪内部电路的通断。4.8电源插座用电源线将外部交流电源(~220V±10%50Hz或~110V±10%60Hz)接入显示仪。4.9保险丝盒本显示仪使用容量为1A的保险丝管。如果显示仪通电后没有显示,则应检查是否为保险丝断,并根据情况更换保险。4.10电源电压转换开关从2005年4月以后生产的本系列显示仪,在后面板上加装有电源电压220VAC/110VAC转换开关。用户在接通电源前,要注意检查此开关的位置,要与工作电源相一致。4.11内外设转换开关用于转换显示仪的设定状态。当置于“内”时,气体流量由前面板上的设定电位器控制;第5页共12页置于“外”时,气体流量由用户自己提供的0~+5V外设电压控制。外设电压从外控信号插座引入。这便于与计算机配合实现自动控制。4.12控制器信号插座用于显示仪与MFC(或MFM)的连接。该插座采用标准15头D型插座,通过连接电缆将信号引入MFC(或MFM)。D08-2F型流量显示仪有两个MFC(或MFM)的D型插座;D08-3F型流量显示仪有三个MFC(或MFM)的D型插座;D08-4F型流量显示仪有四个MFC(或MFM)的D型插座。4.13外控信号插座在显示仪处于“外设”状态时,设定信号由此插座引入。该信号为0~5V的电压信号,接线见表3。4.14铭牌在显示仪与MFC(或MFM)连接时,显示每路所控制的MFC(MFM)的真实的情况,如单位和数值。5.外型尺寸和接线5.1外形尺寸2F、3F、4F型流量显示仪采用相同外形尺寸的高级台式仪表机箱,金属外壳,是标准台式机箱,机箱的外形和安装尺寸见图4。设定阀控清洗关闭调零MFC1调零清洗阀控关闭设定MFC2D08-2D/ZM流量显示仪北京七星华创电子股份有限公司电源通图4机箱外形尺寸第6页共12页5.2与MFC(或MFM)插座接线与MFC(或MFM)连接插座在机箱后面板上,连接线见表2:表2控制器信号接线表MFC控制器信号No.特性1外调零23电源地4设定5阀控6信号地7流量检测8地91011-15V12-15V1314公共地15+15V表2中各信号说明如下:①必须连接的信号有:±15V,电源地,公共地,设定,流量检测,信号地。②“阀控”和“外调零”信号是专门针对本公司生产的MFC设计的。对于其他厂家的MFC,该项控制功能无效,因此通常仅在使用本公司生产的MFC时才接线。③连接电缆中,“地”线(第8脚)通常不接。(参照后面的注意事项)④与MFM连接,无“设定”,“阀控”。⑤如果用户自己配接MFC(或MFM)的连接电缆,特别是非我公司生产的MFC(或MFM),建议只连接上述的必接信号。第7页共12页5.3外控信号插座接线各型号的外控信号插座也装在机箱后面板上,分别见接线见表3a.b.c.。用户可以通过外控信号插座与计算机等外部控制设备连接。表3外控信号接线表a.D08-2F外控信号No.特性1+5.00V2信号地3外设Ⅰ4外设Ⅱ567流量检测Ⅰ8流量检测Ⅱ91011阀控Ⅰ12阀控Ⅱ131415b.D08-3F外控信号No.特性1+5.00V2信号地3外设Ⅰ4外设Ⅱ5外设Ⅲ67流量检测Ⅰ8流量检测Ⅱ9流量检测Ⅲ1011阀控Ⅰ12阀控Ⅱ13阀控Ⅲ1415c.D08-4F外控信号No.特性1+5.00V2信号地3外设Ⅰ4外设Ⅱ5外设Ⅲ6外设Ⅳ7流量检测Ⅰ8流量检测Ⅱ9流量检测Ⅲ10流量检测Ⅳ11阀控Ⅰ12阀控Ⅱ13阀控Ⅲ14阀控Ⅳ15第8页共12页6.操作方法6.1使用前的准备工作6.1.1显示仪各控制钮的状态a.电源开关:置于关断状态。b.阀控开关:置于“关闭”状态。c.设定电位器:旋至最小。d.内外设转换开关由流量显示仪上的设定电位器调节流量时,置于“内设”状态;与计算机连接时置于“外设”状态。表3中各信号说明如下:a.外设Ⅰ~Ⅳ分别对应MFC1~4路MFC的外设输入。设定时从“外设”与“信号地”之间引入设定信号即可。如果用户外接电位器设定,可以用一个3.3K左右的多圈电位器,将两端连接到此插座的“+5.00V”和“信号地”上,将中间抽头接到“外设”上即可。也可直接与计算机的数模转换器连接,实现自动控制。注意:流量设定的输入阻抗大于10KΩ。b.流量检测Ⅰ~Ⅳ分别输出各路MFC(或MFM)的流量检测信号,该信号为0~+5V电压信号。c.阀控Ⅰ~Ⅳ仅对我公司生产的MFC适用。当阀控线接+15V时,阀门关闭;当阀控线接-15V时,阀门开到最大,处于清洗状态;当阀控线悬空时,阀门处于自动控制状态。注意:如果用户要使用外部(计算机控制)的阀控线功能时,需要将显示仪前面板上的“阀控”开关置于中间的“阀控”位。第9页共12页6.1.2电源线的连接电源线一端插在后面板的电源插座上,另一端接在外部电源上。(注意外部电源须为~220V±10%50Hz或~110V±10%60Hz,三相插头中的接地端与大地良好导通,否则显示仪不能正常工作)6.1.3控制线的连接根据MFC(或MFM)的型号选择与之对应的连接电缆,一端插在显示仪后面板的控制器信号插座上,另一端插在MFC(或MFM)的插座上。6.2操作使用步骤流量显示仪与MFC(或MFM)连接后的详细操作说明,可参见MFC(或MFM)的有关技术说明书。6.2.1开机:接通电源开关,则仪表开始工作。6.2.2MFC(或MFM)调零:开机预热15分钟以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