GBT 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

书书书犐犆犛０１．０４０．３９犖１０中华人民共和国国家标准犌犅／犜３８６１６—２０２０纳米定位与扫描平台术语犜犲狉犿犻狀狅犾狅犵狔犳狅狉狀犪狀狅狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀犵狊狋犪犵犲２０２００４２８发布２０２０１１０１实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布书书书!　　!Ⅲ…………………………………………………………………………………………………………１　#$１………………………………………………………………………………………………………２　%&’(１…………………………………………………………………………………………………３　)*’(２…………………………………………………………………………………………………+,７……………………………………………………………………………………………………………Ⅰ犌犅／犜３８６１６—２０２０#　　$　　-./01ＧＢ／Ｔ１．１—２００９2345678。-./9:;=*?@./AB’CDE（ＳＡＣ／ＴＣ１５３）F3GHI。-./78JK：LMNOPQ、RSTU（VW）?@XYZ[\]、^_‘aPQ、b;cdQefg、hij%?@dBZ[\]、LMk‘PQ。-./lm78n：op、qr、st、uv、wxy、z{、q|、}~、。Ⅲ犌犅／犜３８６１６—２０２０%&’()*+,-./１　01-./K（）4’(。-./&K4。２　23./２．１456789:　狆犻犲狕狅犪犮狋狌犪狋狅狉&A¡4¢£⁄¥。２．２;=?@　犳犾犲狓狌狉犲犺犻狀犵犲犿犲犮犺犪狀犻狊犿&ƒ§¤'“«‹K›4fifl–†‡·，Z¶¡•‚、†‡„”»…、K›‰¿…`，´&ˆ‡˜¯。A：˘˙¨˚¸I“˝˛'ˇ—‰：、“、“，１。犪）　BCD;=犫）　EFG;=犮）　HIFCD;=犱）　JFG;=K１　LMNOPQGRSTU;=２．３%&’()*+,-　狀犪狀狅狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀犵狊狋犪犵犲¢£‡@˛'ˇ—¯4ZÆK4。２．４,-VW　狊狋犪犵犲犿犪狋犲狉犻犪犾&ªl¡¯4Ł。２．５,-XY　狊狋犪犵犲狊犻狕犲ØŒº4。A：%´æ（ｍｍ）JK。２．６,-Z9[\　狊狋犪犵犲犱犲犵狉犲犲狅犳犳狉犲犲犱狅犿4†‡ı.4ł。A：˝‰fiø、œø、……、ßø。２．７]\^’　狊狆犲犲犱狊狋犪犫犻犾犻狋狔b!»4¿。１犌犅／犜３８６１６—２０２０２．８_‘ab　犪犾犾狅狑犪犫犾犲犾狅犪犱´‘#$，%˚b&’()*%4+P%,。A：%´-（ｇ）JK。２．９,-^’　狊狋犪犵犲狊狋犪犫犻犾犻狋狔†.bK/K›T»40'。２．１０cdef　犲犳犳犲犮狋犻狏犲犫犪狀犱狑犻犱狋犺132345678192345３ｄＢ:;4=。A：－３ｄＢ?@。２．１１ghi\　狊狋犪狋犻犮狊狋犻犳犳狀犲狊狊{A%,BC«“4¿，&D{A%,&4“«»EF。A：%´GHI（Ｎ／μｍ）JK。２．１２jklm　狉犲狊狅狀犪狀狋犳狉犲狇狌犲狀犮狔,7J‹KL4fiMNZ=。２．１３nopq　狅狆犲狀犾狅狅狆犮狅狀狋狉狅犾Uª@OıPZQ&RSZTU4Uª。２．１４ropq　犮犾狅狊犲犱犾狅狅狆犮狅狀狋狉狅犾stpq　犳犲犲犱犫犪犮犽犮狅狀狋狉狅犾Uª@OıVZQ&ZTU4Uª。３　uv./３．１wxyz　犪狓犻犪犾狉犪狀犵犲W†‡4+PX.。A：‰YZ.[Z.，%´I（μｍ）JK。３．２!{(|　狋犪狉犵犲狋狆狅狊犻狋犻狅狀†‡¥0\]^m_84K/。３．３}~(|　犪犮狋狌犪犾狆狅狊犻狋犻狅狀†‡¥0\]^†‡8ł.K/:，*‘4ab8_K/。３．４(|　狆狅狊犻狋犻狅狀犱犲狏犻犪狋犻狅狀†‡¥8_4abK/ł.K/Oc，de（１）。犡犻犼＝犘犻犼－犘犻…………………………（１）２犌犅／犜３８６１６—２０２０　　eb：犡犻犼———f犼g8_f犻hł.K/4K/ic；犘犻犼———f犼gf犻hł.K/›‡:4abK/*5；犘犻———j†‡WXkl4ł.K/b4f犻hK/。A：犻＝１，２，…，犿；犼＝１，２，…，狀；犿狀Pm１4n。３．５xv　狌狀犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狏犪犾狌犲op4jWXqrsł.K/4fituab*5。A：v犘犻犼↑m犘犻犼↓，w3↑Øx4qr‘45，w3↓Øx4*qr‘45。３．６xv　犫犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狏犪犾狌犲x*yhjWXqrsł.K/4fituab*5。３．７\　犪犮犮狌狉犪犮狔†‡b，abK›ł.K›4fiz»。３．８(|Ux,v　犿犲犪狀狏犪犾狌犲狅犳犪狀狌狀犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾犾狔犿犲犪狊狌狉犲犱狆狅狊犻狋犻狅狀9狀gJqrsfiK/犘犻‘4abK/*54{’|5，de（２）e（３）。犘犻↑＝１狀∑狀犼＝１犘犻犼↑…………………………（２）　　eb：犘犻↑———x4qr‘4sfiK/4J|*5；犘犻犼↑———x4qr‘4abK/*5；狀———*g。犘犻↓＝１狀∑狀犼＝１犘犻犼↓…………………………（３）　　eb：犘犻↓———x4*qr‘4sfiK/4J|*5；犘犻犼↓———x4*qr‘4abK/*5；狀———*g。３．９x’(\　狌狀犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵狉犲狆犲犪狋犪犫犻犾犻狋狔Dop*}¥，;pfił.K/~.狀gJK‘ab*5|*5Oı4fiz»，de（４）e（５）。犚犻↑＝∑狀犼＝１犘犻犼↑－犘犻↑（）２狀－１槡…………………………（４）　　eb：犚犻↑———x4qr‘4sfiK/4JKT»；犘犻犼↑———x4qr‘4sfiK/4abK/*5；犘犻↑———x4qr‘4sfiK/4J|*5；狀———*g。３犌犅／犜３８６１６—２０２０犚犻↓＝∑狀犼＝１犘犻犼↓－犘犻↓（）２狀－１槡…………………………（５）　　eb：犚犻↓———x4*qr‘4sfiK/4JKT»；犘犻犼↓———x4*qr‘4sfiK/4abK/*5；犘犻↓———x4*qr‘4sfiK/4J|*5；狀———*g。３．１０(|Ux,v　犿犲犪狀狏犪犾狌犲狅犳犫犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾犾狔犿犲犪狊狌狉犲犱狆狅狊犻狋犻狅狀9yhqrsfiK/犘犻‘4J|*5犘犻↑犘犻↓4{’|5，de（６）。犘犻＝犘犻↑＋犘犻↓２…………………………（６）　　eb：犘犻　———sfiK/4|*5；犘犻↑———x4qr‘4sfiK/4J|*5；犘犻↓———x4*qr‘4sfiK/4J|*5。３．１１x’(\　犫犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵狉犲狆犲犪狋犪犫犻犾犻狋狔Dop*}¥，;pfił.K/~.狀gK‘ab*5|*5Oı4fiz»，de（７）。犚犻＝∑狀犼＝１犘犻犼－犘犻（）２狀－１槡…………………………（７）　　eb：犚犻———sfiK/4KT»；犘犻犼———abK/；犘犻———sfiK/4|*5；狀———*g。３．１２sx　狉犲狏犲狉狊犪犾犱犲狏犻犪狋犻狅狀x*yhqrsfił.K/:yJ|*5Oc，de（８）。犅犻＝犘犻↑－犘犻↓…………………………（８）　　eb：犅犻　———sfiK/4Tc5；犘犻↑———x4qr‘4sfiK/4J|*5；犘犻↓———x4*qr‘4sfiK/4J|*5。３．１３wxsx　犪狓犻犪犾狉犲狏犲狉狊犪犾犱犲狏犻犪狋犻狅狀jW4ł.K/4Tc54;5b4+P5，de（９）。犅＝ｍａｘ犅犻（）…………………………（９）　　eb：犅———WTc5；４犌犅／犜３８６１６—２０２０犅犻———sfiK/4Tc5。３．１４　犺狔狊狋犲狉犲狊犻狊犲狉狉狅狉D:.，WTc5W.4‰，de（１０）。δＨ＝犅犜×１００％…………………………（１０）　　eb：δＨ———c；犅———WTc5；犜———W.。３．１５\　犾犻狀犲犪狉犻狋狔D.#$，abK/iXoK/4»。A：Ø+Pic.4‰。３．１６(Sb　狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵狉犲狊狅犾狌狋犻狅狀DZ?@，jWK›4|˘（ＲＭＳ）5。A：4K›‰¿t‘?@»o，‰YZK›‰¿[ZK›‰¿。%´（ｎｍ）JK。３．１７C　犪狀犵狌犾犪狉犱犲狏犻犪狋犻狅狀DW†‡b4iδ犻、δθ犻δγ犻4+P5。A：狓W†‡W4#$，016ic２。K２　CK３．１８B\　狊狋狉犪犻犵犺狋狀犲狊狊D.#$，DW†‡bi†‡WX4»。３．１９,O\　犳犾犪狋狀犲狊狊D.#$，D˚†‡bi†‡˚4»。５犌犅／犜３８６１６—２０２０３．２０J　狅狉狋犺狅犵狅狀犪犾犻狋狔犲狉狉狅狉y†‡W犡′犢′ab†‡4»，&犡′犢′α９０°Oı4»icØ。３。K３　,-JK３．２１^’　狊犲狋狋犾犻狀犵狋犻犿犲K†‡:xY8~9ł.K/0Ac5２％4c?:¡m4:ı。A：¢M£⁄0:ı４。K４　DK６犌犅／犜３８６１６—２０２０　　¡/¢£犅ropq２．１４……………………………………犆３．１４……………………………………犇xv３．５……………………………………x’(\３．９……………………………犉stpq２．１４……………………………………sx３．１２……………………………………_‘ab２．８………………………………………犑C３．１７……………………………………^’３．２１…………………………ghi\２．１１……………………………………犓nopq２．１３……………………………………犕(|Ux,v３．８…………………(|Ux,v３．１０………………!{(|３．２………………………………………犖%&’()*+,-２．３…………………………犘,O\３．１９………………………………………,-VW２．４………………………………………,-XY２．５………………………………………,-^’２．９……………………………………,-Z9[\２．６…………………………………犚;=?@２．２…………………………………犛}~(|３．３………………………………………xv３．６……………………………………x’(\３．１１…………………………]\^’２．７……………………………………犠(Sb３．１６…………………………………(|３．４………………………………………犡\３．１５………………………………………jklm２．１２……………………………………犢456789:２．