TCSES 122-2023 再生水利用电子级水水源水质

ICS13.030.20CCSZ05团体标准T/CSES122—2023再生水利用电子级水水源水质Guidelinesforwaterreuse-ElectronicGradeUltrapureWaterSource2023-12-20发布2023-12-20实施中国环境科学学会发布T/CSES122—2023I目次前言...........................................................................II引言..........................................................................III1范围................................................................................12规范性引用文件......................................................................13术语和定义..........................................................................14缩略语..............................................................................25分级和用途..........................................................................26水质控制项目及其限值................................................................37处理流程与环节......................................................................48安全与风险控制......................................................................49取样与检测..........................................................................4附录A（资料性）电子级水制备流程及制备环节和技术................................5附录B（资料性）高级处理技术选择................................................6附录C（资料性）水质检测方法....................................................7参考文献........................................................................8T/CSES122—2023II前言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由清华大学提出。本文件由中国环境科学学会归口。本文件起草单位：清华大学、江苏中电创新环境科技有限公司、清华大学深圳国际研究生院、清华苏州环境创新研究院、中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏卓胜微电子股份有限公司、武汉京东方光电科技有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、杭州科百特过滤器材有限公司、沃顿科技股份有限公司、佛山柯维光电股份有限公司、北京安力斯科技发展有限公司、天津中水有限公司、世源科技工程有限公司、中冶京诚工程技术有限公司。本文件主要起草人：胡洪营、田宇鸣、王文龙、吴乾元、熊江磊、巫寅虎、陈卓、黄南、茅帅龙、郭宇彬、刘伟、王宸、寇晓康、高月静、张力、张庆胜、金焱、王思亮、何志明、蔡晓涌、姜威、杨磊、孙青梅、王鹏、梁思懿。T/CSES122—2023III引言随着我国半导体芯片、显示面板等电子工业自主化快速发展，电子级水的需求大幅增加。传统水资源越来越难以满足快速增长的电子级水需求。随着再生水处理技术发展，再生水用途不断拓展，越来越多地用于电子级水水源。但是再生水作为电子级水水源的水质标准缺乏，再生水处理和利用单位缺乏科学指导和规范。本文件是再生水利用系列团体标准的一则，其他标准包括：《再生水利用水中病毒富集方法指南》、《再生水利用吸入暴露毒性评价》《再生水利用效益评价指南》（T/CSES01—2019）和《水回用指南再生水中药品和个人护理品类微量污染物处理技术》（T/CSES42—2021）等。T/CSES122—20231再生水利用电子级水水源水质1范围本文件规定了用于电子级水水源的再生水分级及水质、处理、安全和检测要求。本文件适用于作为电子级水水源的再生水，包括城镇污水处理厂出水、电子和半导体工业废水、显示面板工业废水经处理后满足相应要求的再生水。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T5750.4生活饮用水标准检验方法感官性状和物理指标GB/T5750.12生活饮用水标准检验方法微生物指标GB/T6276.1工业用碳酸氢铵总碱度的测定容量法GB/T6920水质pH值的测定玻璃电极法GB/T7477水质钙和镁总量的测定EDTA滴定法GB/T7478水质铵的测定蒸馏和滴定法GB/T11446.6电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T11446.7电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法GB/T11446.8电子级水中总有机碳的测试方法GB/T11901水质悬浮物的测定重量法GB/T13200水质浊度的测定比浊法GB/T18204.2公共场所卫生检验方法第2部分：化学污染物GB/T41017水回用导则污水再生处理技术与工艺评价方法GB/T41018水回用导则再生水分级HJ620水质挥发性卤代烃的测定顶空气相色谱法HJ776水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法JJG376电导率仪检定规程ASTMD5127-13(2018)StandardGuideforUltra-PureWaterUsedintheElectronicsandSemiconductorIndustriesITRS（2015）InternationalTechnologyRoadmapforSemiconductors(ITRS)20153术语和定义下列术语和定义适用于本文件。常规水资源conventionalwatersource陆地上能够得到且能在自然水循环不断得到更新的淡水，包括陆地上的地表水和地下水。[来源：GB/T21534-2008]电子工业电子工业指电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件、电子终端产品等电子产品制造业。[来源：GB39731-2020]T/CSES122—20232电子级水electronicgradewater电子和半导体、显示面板等生产工艺过程中所用的高纯水。[来源：GB39731-2020]高级处理advancedtreatment为满足用户特定要求，在三级处理的基础上，进一步强化无机离子、微量有毒有害污染物和一般溶解性有机污染物去除的水质净化过程。[来源：GB/T41018-2021]4缩略语下列缩略语适用于本文件。E：电子级水（ElectronicWater）.EWS：电子级水水源（ElectronicWaterSource）.5分级和用途根据水质，将再生水分为EWS-1、EWS-2和EWS-3三级，各级再生水的用途见表1。水质达到相关要求时，再生水可用于电子和半导体、显示面板制造等电子工业的电子级水水源。EWS-1再生水也可用于EWS-2和EWS-3对应的电子级水水源。EWS-2再生水也可用于EWS-3对应的电子级水水源。表1再生水分级和用途分级用途EWS-3显示面板生产工艺的电子级水水源。1E-4电子级水水源。E-4是用于电子和半导体生产工艺中的电镀溶液制备及其他过程。2E-3电子级水水源。E-3是用于大于5.0μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。2E-2电子级水水源。E-2是用于1.0至5.0μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。2EWS-2E-1电子级水水源。E-1是用于0.5至1.0μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。2E-1.1电子级水水源。E-1.1是用于0.25至0.35μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。2EWS-1E-1.2电子级水水源。E-1.2是用于0.09至0.18μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。2E-1.3电子级水水源。E-1.3是用于0.032至0.065μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水。20.007至0.028μm线宽电子和半导体生产工艺的电子级水水源。3T/CSES122—20233注1：液晶面板工艺的电子级水水质可参照相同线宽的电子与半导体工艺的电子级水水质。注2：《ASTMD5127-13(2018)StandardGuideforUltra-PureWaterUsedintheElectronicsandSemiconductorIndustries》，中0.032μm及以上线宽电子和半导体工艺电子级水水质。注3：《InternationalTechnologyRoadmapforSemiconductors(ITRS)2015》中0.007至0.028μm线宽电子和半导体工艺电子级水水质要求。6水质控制项目及其限值根据电子级水水质的要求，将再生水的水质控制项目分为基本水质控制项目和扩展水质控制项目。再生水基本水质控制项目及其限值见表2，再生水扩展水质控制项目及其限值见表3。将尿素和三卤甲烷作为再生水有机物的指示性水质控制项目，列为基本水质指标。表2基本水质控制项目及其限值序号项目EWS-1EWS-2EWS-31总有机碳（mg/L）≤0.51.02.02尿素（μg/L）≤1015403总三卤甲烷（μg/L）≤2020804硼（mg/L）≤0.10.35全硅（mg/L）≤3106砷（mg/L）≤0.05/7电导率（μS/cm）（25°C）≤2508总溶解性固体（mg/L）≤1509氟离子（mg/L）≤0.5表3扩展水质控制项目及其限值序号项目限值1pH6.0-8.52浊度（NTU）≤0.33悬浮颗粒物（mg/L）≤1.04总硬度（以CaCO3计）（mg/L）≤505氨氮（mg/L）≤0.56亚硝酸氮（mg/L）≤0.17硝酸盐氮（mg/L）≤108磷酸根（以P计）（mg/L）≤0.59氯离子（mg/L）≤2010硫酸根（mg/L）≤4511碱度（以CaCO3计）（mg/L）≤3012菌落总数（MPN/mL或CFU/mL）≤100T/CSES122—202347处理流程与环节污水宜经过反渗透等深度处理，生产再生水。经深度处理的污水符合表2水质要求，但不符合表3水质要求时，宜进一步经过高级处理，或与常规水资源混合。高级处理或混合处理生产的再生水宜同时符合表2和表3水质要求。高级处理技术选择见附录B。电子级水水质有特殊要求时，经深度处理的污水宜进一步经过高级处理。高级处理技术选择见附录B。再生水经过滤、离子交换树脂、反渗透、脱气膜、紫外线氧化等技术处理，制备成电子级水。电子级水的制备流程、制备环节与技术示例见附录A。8安全与风险控制宜将再生水补充进入电子级水制备系统的取水池。宜设置备用的电子级水水源，宜检测取水池的再生水水量和水质，保障电子级水制备的稳定性和可靠性。宜在再生水管道和用水点的显著位置设置“再生水