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盲埋孔板工艺流程盲埋孔的结构盲孔埋孔盲埋孔板件的特点特点:1.消除大量通孔设计,提高布线密度和封装密度;2.使多层板内部互连结构设计多样化和复杂化;3.明显提高了多层板的可靠性及电子产品的电气性能。常规盲埋孔板示意图11、层板一次压合盲孔示意图L1层L2/3层板件工艺流程1•开料(2/3层)、钻孔(2/3层盲孔)、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形2/3层线路、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压1/3层、除胶、钻孔(1/3层通孔)、正常流程常规盲埋孔板示意图23层板RCC压合盲孔示意图RCC层L2/3层板件工艺流程2•开料(2/3层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC1/3层)、钻孔、激光钻孔、正常流程常规盲埋孔板示意图32+2盲孔板示意图L1-2层L3-4层板件工艺流程3•开料、钻盲孔、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压、除胶、钻孔、正常流程常规盲埋孔板示意图4•4层HDI盲埋孔板示意图:L2-3层L1层RCCL4层RCC板件工艺流程4•开料(2/3层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC层)、钻孔、激光钻孔、正常流程常规盲埋孔板示意图56层HDI盲埋孔板示意图:L3-4层L1层RCCL6层RCC板件工艺流程5•开料(3/4层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制成2/5层)、钻孔(钻2/5层埋孔)、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC层)、钻孔、激光钻孔、正常流程(如2/5层没有埋孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图6•6层盲埋孔板示意图:L1-2层L3-4层L5-6层板件工艺流程6•开料、钻机械盲埋孔、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压、除胶、钻孔、正常流程(如3/4层没有埋孔,内层芯板在钻LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图73+3(RCC)盲埋孔板示意图:2-3层4-5层板件工艺流程7•钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC成1/3层与4/6层)、钻孔(钻1/3、4/6层的盲孔)、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压、除胶、钻孔、激光钻孔、正常流程•板件工艺流程2:(无1-2层、5-6层盲孔)•钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压1/3层与4/6层)、钻孔(钻1/3、4/6层的盲孔)、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压、除胶、钻孔、正常流程常规盲埋孔板示意图8•4+2盲埋孔板示意图:L2-3层L5-6层板件工艺流程8•1/4层:开料、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制1/4层)、钻孔(钻1/3、4/6层的盲孔)、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(与L5-6层压合)、除胶、钻孔、正常流程•5/6层:开料、钻机械盲埋孔、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(与L1-4层压合)、除胶、钻孔、正常流程(如5/6层没有盲孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图9•4+4盲埋孔板示意图:L2-3层L6-7层板件工艺流程9•开料(2/3、6/7层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制成1/4、5/8层)、钻孔(钻1/4、5/8层盲孔)、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制1/8层)、除胶、钻孔、正常流程(如1/4或5/8层没有盲孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图10•8层2阶HDI盲埋孔板示意图:板件工艺流程10•开料(3/4、5/6层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制成2/7层)、钻孔(钻2/7层埋孔)、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC层)、钻孔、激光钻孔(1-2、1-3、7-8、6-8)、正常流程(如2/7层没有埋孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图11•8层2阶盲埋孔板示意图:L4-5层L2层RCCL1层RCCL7层RCCL8层RCC板件工艺流程11•开料(4/5层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制成3/6层)、钻孔(钻2/6层埋孔)、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC2/7层)、钻孔、激光钻孔、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制RCC1/8层)、钻孔、激光钻孔、正常流程(如3/6层没有埋孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)常规盲埋孔板示意图12•6+2盲埋孔板示意图:L4-5层L6-7层板件工艺流程12•1/2层:开料、钻机械盲埋孔、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(与L5-8层压合)、钻孔、正常流程(如1/2层没有盲孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)•5/8层:开料(4/5、6/7层)、钻LDI孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(压制5/8层)、钻孔(钻5/8层的盲孔)、去毛刺、沉铜、板镀、内层镀孔菲林、电镀镀孔、内层图形、内层蚀刻、内层AOI、棕化、层压(与L1-2层压合)、除胶、钻孔、正常流程(如5/8层没有盲孔,板件钻完LDI孔后转往内层图形)大于8层盲埋孔板的工程叠层设计板件设计参照以上叠层设计与工艺流程,板件在设计叠层结构时尽量避免采用两张芯板直接压合,而需采用芯板+PP压合的方式。芯板直接压合(尽量避免采用以下模式):尽量避免采用:L1-2层L5-6层L3-4层L7-8层L11-12层L9-10层芯板+PP压合的方式:L2-3L4-5L8-9L10-11工程设计原则1、对于孔径≤0.13mm,且介质层厚度≤100um的板件采用激光钻孔的工艺进行制作。2、对于HDI板,激光钻孔的焊盘应保证单边最小3.5mil焊环。3、目前公司RCC规格:100um、65um铜厚全为12um。4、孔到导体最小距离:一次压合:9mil、二次或三次压合:10mil5、激光钻孔孔径与介质层厚度:0.1mm激光孔径可加工≤65TRCC、0.13mm激光孔径可加工≤100TRCCThanks
本文标题:PCBCAM工艺Genesis2000盲埋孔工艺流程
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