深圳市印制电路板行业清洁生产技术指引

1深圳市印制电路板行业清洁生产技术指引目录1总论.........................................................................................................................11.1概述..................................................................................................................11.2编制依据和原则..............................................................................................11.3适用范围..........................................................................................................22印制电路板行业主要生产工艺及污染环节分析................................................42.1主要生产工艺..................................................................................................42.2主要污染环节的分析......................................................................................83印制电路板行业清洁生产评价指标....................................................................13.1评价指标体系..................................................................................................13.2定性评级指标..................................................................................................23.3定量评级指标..................................................................................................24印制电路板行业清洁生产技术要求....................................................................44.1产品设计..........................................................................................................44.2原辅材料的选用..............................................................................................54.3生产工艺与装备............................................................................................114.4资源与能源利用............................................................................................134.5末端治理与废物利用....................................................................................134.6环境管理........................................................................................................175企业清洁生产审核..............................................................................................195.1企业推行清洁生产审核的要求与对策........................................................195.2企业实施清洁生产审核程序........................................................................192附录深圳市印制电路板行业清洁生产推荐技术.................................................211图形转移过程的清洁生产技术.............................................................................212锡铅合金热风整平的替代清洁生产技术...........................................................243钻孔和孔金属化过程的清洁生产技术.................................................................294电镀化学镀过程的清洁生产技术.........................................................................305蚀刻工艺的清洁生产技术.....................................................................................346清洗工艺和清洗水再生回用技术.........................................................................367多层压印制电路板层压过程的清洁生产工艺.....................................................3811总论1.1概述为了贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国清洁生产促进法》及《深圳市循环经济促进条例》，促进深圳市印制电路板行业推行节能减排，产业优化升级，为深圳市印制电路板企业推行清洁生产提供技术方法，深圳市环境保护局特编制本指引。本指引结合印制电路板生产的工艺特点及产污环节，按照清洁生产原理，从提高资源利用率和减少环境污染出发，针对印制电路板生产工艺、原材料选用、资源利用、污染物减量及最终处置提出技术要求，并对印制电路板企业进行全过程的环境管理和认证提出要求。本指引为推荐性标准，可用于企业的清洁生产审核和清洁生产潜力与机会的判断，以及企业清洁生产绩效评定。本指引根据当前深圳市印制电路板行业技术和装备水平而制订，将根据行业发展状况进行修订。1.2编制依据和原则1.2.1编制原则本技术指引依据印制电路板行业产品生命周期分析理论的要求，从印制电路板生产对资源能源的消耗（包括有毒有害原材料的使用）、生产过程中污染物的产生、废物回收利用以及环境管理等方面来制定。体现全过程污染预防思想，通过源削减、提高能源效率、在生产中重复使用投入的原料以及降低水消耗量等来合理利用资源；在可能的最大限度内减少生产场地产生的全部废弃物量。尽量选用定量化并可操作的指标，以易于印制电路板生产企业和审核人员的理解和掌握。若无法定量则使用定性指标，尽量细化。体现相对性原则，考虑国内外的现有技术水准和管理水平来设定指标水平，体现一定的激励性。1.2.2编制依据1).RoHS2002/95/EC：theRestrictionoftheuseofcertainhazardous2substances2)IEEE：InstituteofElectricalandElectronicsEngineers3)WEEEDirective2002/96/EC：WasteElectricalandElectronicEquipment4)JapaneseLawSummaryofRestrictedHazardousChemicalsubstance5)《促进行业结构调整暂行规定》（国发〔2005〕40号）6)《中华人民共和国清洁生产促进法》（中华人民共和国主席令第七十二号；2002.06.29）7)《电子信息产品污染控制管理办法》8)《电镀行业的企业清洁生产审核指南》9)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(1995年10月30日中华人民共和国主席令第五十八号)10)《危险化学品安全管理条例》（2002年1月26日中华人民共和国国务院第344号令）11)《清洁生产标准电镀行业》（中华人民共和国环境保护行业标准HJ/T314-2006）12)《中华人民共和国电镀行业污染物排放标准》（征求意见稿）13)《污水综合排放标准》（GB8978-1996）14)《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）15)《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）16)《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）1.3适用范围深圳印制电路板行业清洁生产技术指引适用于：1)印制电路板企业及相关企业的清洁生产和管理过程；2)印制电路板企业及相关企业产品的在其生命周期（从原材料到产品的制造和使用，直至产品的最终处置）中对环境、健康和安全的影响减少措施；3)印制电路板行业清洁生产审核、清洁生产绩效评定和清洁生产绩效公告制度；34)印制电路板行业集群的指引及印制电路板行业污染物和有害物质的集中控制和规划。42印制电路板行业主要生产工艺及污染环节分析2.1主要生产工艺印制电路板制造技术是一项非常复杂的、综合性很高的加工技术。可分为干法加工(设计和布线、模版制作、钻孔、贴膜、曝光和外形加工等)和湿法加工(内层板黑膜氧化、去孔壁树脂腻污、沉铜、电镀、显影、蚀刻、脱膜、丝印、热风整平等)过程，主要工艺过程介绍如下：1）照相制版：许多元器件和电路以及整机都向高密集、轻量化和小型化发展。它们的加工中都遇到了“微细加工技术”这一新工艺，其中最重要的一个为“光刻”工艺。首先要把所需的电路（或“光路”）图形制成“掩膜”，也称为“版”。制版时，先按一定的比例将原图放大，然后再运用缩微照相技术将其放大，通过光学系统缩小到原来的尺寸，成像在银盐感光材料上。再经过显影等一系列加工就得到了“原版”，或称为“母版”。一般母版为“负像”。再用此母版复制成具有“副版”，用此副版复制出用于生产的“子版”。有时可根据生产中使用的“光刻胶”的性质和产品产量，可直接使用母版或副版。2）图形转移：电路制作过程中，很重要的一道工序就是用具有一定抗蚀性能的感光树脂涂覆到覆铜板上，然后用光化学反应或“印刷”的方法，把电路底图或照像底版上的电路图形“转印”在覆铜板上，这个工艺过程就是“印制电路的图形转移工艺”，简称“图形转移”。抗蚀剂借助于“光化学法”或“丝网漏印法”把电路图形转移到覆铜箔板上，再用蚀刻法去掉没有抗蚀剂保护的铜箔，剩下的就是所需的电路图形，这种电路图形与所需要图形完全一致，称为“正像”。这种图形转移称为“正像图形转移”。“丝网漏印法”把抗蚀剂印在覆铜箔板上，没有抗蚀剂保护的铜箔