MgO蒸镀设备1

2014年1月24日星期五2时21分58秒P－COC用MgO膜的制备设备黄友兰技术质量部마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－PDP厂家介绍COC用设备介绍GPCS介绍设备周末维护介绍工艺过程简介提纲마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－(一)、厂家介绍마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－COC用设备型号:ECH－240L型生产厂商：ULVAC（日本真空株式会社）마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－公司名称ULVAC,Inc.商标ULVAC创业日期1952年8月23日法人代表董事长总经理中村久三资本金134亿6,779万7,500日元（至2004年12月）员工人数1,201名（至2004年7月）经营内容显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化学、食品、医药品产业界所需要的；及面向大学与研究所的真空装置；外围设备；真空元件的开发、制造、销售、客户支持以及各类机械的进出口。此外，还包括所有真空技术的研究指导、技术顾问。所获专利日本国内专利475项，实用新案例12项；美国67项；英国13项；德国21项；法国12项；荷兰13项；瑞士6项；韩国13项；中国40项说明产品以真空设备为主，涵盖半导体、平面显示器、消费性电子、机械及食品医药等产业，是日本最大的真空设备制造商마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－溅镀装置CVD装置有机EL成膜装置镀金属装置离子注入装置刻蚀装置碳纳米管生长实验装置研究开发用溅镀装置溅镀装置单腔式/装载锁住溅镀装置真空感应熔炼炉卷取式溅镀装置真空装置마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－真空泵·真空排气装置·真空机械干泵罗兹泵油旋片式真空泵涡轮分子泵阀门气体分析仪真空计检漏仪电源膜厚测量仪마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－ULVAC公司等离子电视用氧化镁蒸镀设备ECH系列的特征：对大型基板均匀镀膜高速成膜、高吞吐量能够长时间连续稳定运转能够配合成批的批量生产缩短维护时间及待机时间마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－(二)、COC用设备详细介绍마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－设备示意图举例（ECH-240L）主要组成：（1）真空腔室系统，（2）移载系统，（3）加热系统，（4）蒸镀源系统（5）电源系统，（6）基板移载和卸载工位，（7）返回传送带，（8）提升机，（9）抽气系统，（10）内部工装系统，（11）控制系统，（12）测量系统，（13）气体加入系统，（14）压缩空气系统，（15）冷却水系统。마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－1、ECH-240L主要组成部分마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－采用并列式通过镀膜方式：基板放在托架上、在蒸发源上一边通过一边镀膜的方式。마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－机型ECH-240LSize50”X6、42”X8、Max.100寸TactTime100sec标准膜厚800nm膜厚分布±7%基板加热250℃连续运转时间2周（288hrs）周末维护时间24hrs本设备对于最大基板100英寸、膜厚度800nm的标准，可以连续运转2周左右。3、主要性能参数마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－电子枪的组成：灯丝；阴极；阳极；聚焦组件；扫描组件；偏转组件4、Pierce电子枪系统마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－电子枪型号：UPG－20（两点式）마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－电子枪型号：UPG－20（两点式）灯丝安装部位阴极마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－1）可以改变电子束的位置、形状以及入射的角度，可以防止蒸发时产生溅射现象；2）在2×10－2Pa的氧氛条件下，灯丝的使用寿命不低于150H；3）在蒸镀室和电子枪室中间有门阀，可以在蒸镀室为真空的条件下更换灯丝；4）由于灯丝发射组件的一体化，使得更换灯丝比较容易，可在20min内更换灯丝；5）灯丝阴极可以自动除气，保证了灯丝和阴极表面状况的稳定性。Pierce电子枪的优点：마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－5、基板前进方向마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－6、蒸镀室系统마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－8、ECH-240L排气系统参考图마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－3.GPCS介绍控制系统（GPCS-2700）采用序列器（单片机）和工厂计算机，配备标准功能，包括图像监控、进程数据监控、进程编辑、沉积数据记录以及报警功能。마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－4.设备周末维护介绍由于在蒸镀过程中，氧化镁颗粒同时也会沉积在蒸镀室内表面，而氧化镁薄膜具有较强的吸附能力，从而导致蒸镀室的本底真空度达不到工艺要求。为此，需要在蒸镀室内表面安装一层可更换的防护板，定期对防护板进行更换，并对更换下来的防护板进行清洗。마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－5.工艺过程简介마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－Verticalresolutions/measurementranges1Å/65KÅ10Å/655kÅ40Å/2620kÅMeasuredlengths50μmto50mm(option:100mm)Maximumnumberofsamplingdataitems30,000Styluspressure1mgto15mg(option:0.03mg)Samplestagesize210mmdiameterStagemovementX:200mm,programmableY:200mm,programmableTheta:360º(Option:programmable)Numberofpointsforautomaticmulti-pointmeasurement200max.SampleobservationTop-view(low-magnification)camera:10mmfieldofviewSide-view(high-magnification)camera:1mmfieldofviewOperatingenvironmentMicrosoftWindowsXP(English-languageversion)11、膜厚检测仪마스터제목스타일편집2014年1月24日星期五2时21分58秒P－33ThankyouThankyou