MOCVD设备反应室的设计与分析

西安电子科技大学硕士学位论文MOCVD设备反应室的设计与分析姓名：董佳鑫申请学位级别：硕士专业：微电子与固体电子学指导教师：张进城20080101MOCVD设备反应室的设计与分析作者：董佳鑫学位授予单位：西安电子科技大学本文链接：授权使用：上海海事大学(wflshyxy)，授权号：0a0d2fcd-8365-45b4-aa5b-9dec009b2fb9下载时间：2010年9月9日