太阳能电池125单晶工艺原理

春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本，查处客车超载12辆次，卸客转运78人制绒：硅片型号：125*125工艺目的：祛除机械损伤层，形成金字塔状绒面结构，减少光的反射。工艺原理：利用硅的各向异性腐蚀，在不同的晶向上的腐蚀速度不一致，100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率的比值R100：R111在一定的弱碱溶液中可以达到500。主反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2工艺过程：装片-上料-超声波清洗机-下料-上料-制绒-水-甩干-出料上料：每筐12盒*25片制绒设备的槽体说明：槽号1号2号3号4号5号6号7号8号9号10号11号12号13号14号槽体名称水去损伤层槽水槽制绒槽制绒槽制绒槽制绒槽漂洗槽漂洗槽HF槽漂洗槽HCL+HF槽漂洗槽漂洗槽脱水槽温度80-85℃25℃80±2℃80±2℃80±2℃80±2℃25℃25℃25℃25℃25℃25℃25℃85℃时间100-300秒240秒1000-1800秒1000-1800秒1000-1800秒1000-1800秒240秒240秒300秒240秒300秒300秒300秒20秒槽体体积231195229229229229155175200175200175175157加纯水15016015015015015015016013816088160160150配液NAOH3-4瓶(1500-2000G)—3瓶(1500G)3瓶(1500G)3瓶(1500G)3瓶(1500G)————————异丙醇5-6瓶(20-24L)—9L9L9L9L————————硅酸钠——4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)————————HF————————32L—16L———HCL——————————56L———添加NAOH——1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇————————异丙醇——————————————硅酸钠——————————————HF——————————————HCL——————————————压缩空气0.4-0.6MPA春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本，查处客车超载12辆次，卸客转运78人备注信息：1，NAOH每瓶是500G，硅酸钠每瓶500G；异丙醇每桶是4L。2，去损伤槽比例：水：NAOH：异丙醇1L:10G:0.14L2，配液比例：水：NAOH：异丙醇：硅酸钠1L:10G:0.06L:13.3G水：HF1L:4.3L水：HF：HCL1L:0.2L:0.64L单片减簿量参考0.35-0.45g制绒后硅片表面反射率：14%左右绒面大小：金字塔尺度为3-10微米正常情况下单条生产线化学品用量计算：产量：计算基准：制绒配液制绒添加用量：化学品厂家，每瓶大小等尚德的制绒槽是120升水尚德新一轮的培训马上开始了，要搞到培训资料。常见异常情况：工序故障表现可能原因措施NAOH与异丙醇比例失调，异丙醇含量过高，抑止反应进行，NAOH含量偏低，不能充分进行反应1，部分或全部排放比例失调的溶液，通过添加药品调整或重新配液。2，打开槽盖制绒。原始硅片表面整体清洁度不好配制清洗溶液，采用先清洗后制绒色斑处可能为有机质残留，阻止正常反应通过烧结炉烘烤，挥发掉部分有机质后重新制绒返工晶片承载器形成两条白边白边部分硅片反应不够充分，这部分对于无白边部分偏厚稍加提高NAOH含量浓度，增加0.1%-0.2%左右晶硅片四边都有白边白边部分硅片反应不够充分，这部分对中间无白边部分偏厚，整个硅片化学反应不够均匀，中部部分反应放热不易，导致反应激烈。控制硅片中心反应速度，增加缓冲剂。硅酸钠溶液可视为缓冲剂雨点状有雨点状白色部分，该处绒面异常。氢气泡粘附或氢气泡移动缓慢，阻碍硅片局部正常反应。1，视雨点的严重程度增加异丙醇的添加量；2，打开槽盖制绒绒面过大反应温度过高，NAOH浓度过高，工艺时间过长1，控制制绒温度80±2（面板和实际是否一致）；2，调整溶液浓度，视具体情况调整单次药品的添加量；3，及时察看绒面情况，缩短制绒时间。表面有类似油污硅棒切片清洗残留1，配制清洗溶液，采用先清洗后制绒；2，通过烧结炉洪烤，挥发掉部分有机质后再进行制绒出现大量细小白点亮点槽体没有清洗干净或者药液老化，脏污，有悬浮杂技彻底清洗制绒槽体，更换药液表面雾蒙蒙，发白，不出绒面，绒面稀梳，黑白相同，出现色斑制绒工艺卫生基本点：1，保证装片操作台面的清洁；2，装片时戴好一次性薄膜手套和田罩，保证遮住口鼻；3，一次性清膜手套每100片更换一次，若有脏污需提前更换，确保不污染硅片以至于影响制绒效果；4，保证超声槽，水槽以及浓度梯度槽以及各附槽等的洁净状态，及时更换；春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本，查处客车超载12辆次，卸客转运78人5，工艺过程中看片必须戴干净的乳胶手套，减少手指印的发生，看完后及时更换手套；6，工艺结束后片子及时投入清洗，或放入水槽待投。扩散：设备：中国电子科技集团公司第48所扩散炉硅片型号：125*125S工艺目的：形成P-N结主反应方程式：POCL3在高温下(600℃)分解成五氯化磷(PCL5)和五氧化二磷(P2O5)5POCL3=3PCL5+P2O5在存在O2的状态下PCL5会进一步分解成P2O5并放出氯气（CL2）4PCL5+5O2=2P2O5+10CL2故在有O2的存在时，POCL3热分解的总反应式为：4POCL3+3O2=2P2O5+6CL2P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SIO2）和磷2P2O5+5SI=5SIO2+4P扩散示意图：工艺过程：1，进舟的同时给炉体加温，氮气还起到均衡管内气体；2，通入大量的氮气冲洗管道，排除管道气体；3，为防止POCL3分解产生的PCL5对硅片表面腐蚀，事先通入大量氧气，以备及时将PCL5氧化成P2O5；4，通入携带源小氮，利用POCL3分解生成P2O5进行沉积；必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气；5，继续通入携带源小氮，进行扩散；6，继续通入携带源小氮。这样扩散过程就分为三步进行，一方面管内温度，气体各方面条件逐渐稳定；另一方面方便在生产过程中调节参数；7-8，通入大量氧气，确保将剩余的POCL3充分反应消耗掉，保证安全生产，同时对管内开始降温；9，出舟的同时通入大量的氮气排除管内尾气；10，冷却待卸片。125S的基准扩散工艺号：春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本，查处客车超载12辆次，卸客转运78人125S减源工艺STEP时间温区1温区2温区3扩散小氮大氮干氧步骤13208108108100300000步骤25008308308300200001500步骤3500830825825800210001500步骤4500850860817800250001400步骤59008508608171500250001400步骤66008408408400250002000步骤72008308308300250001700步骤84008308258250250000步骤90000000BH工艺STEP时间温区1温区2温区3扩散小氮大氮干氧步骤14008008008000250000步骤26008208208200250000步骤3600820820820800220003000步骤4600823827836800260001200步骤56008238278301500280001200步骤614408568628740300001200步骤76008568628740300001200步骤84008208208200250004000步骤96008208208200250000方块电阻控制：型号电阻率方块电阻125S0.5-348-52125S0.5-1.540-45156M3-638-42156M0.5-345-50156M3-650-55156S0.5-350-55方块电阻测量：四探针下压到硅片表面，测试仪I档位电流调整至4.530，于R/档位读取示数，即为方块电阻值。电阻率测量：四探针下压到硅片表面，测试仪I档电流调整至(4.530*硅片厚度)/1000，如硅片厚度为200，即电流调整至0.906，于R/档位读取示数，即为电阻率值方块电阻不均匀度：计算公式：最大值减最小值/最大值加最小值*100%控制范围：管不均匀度7%，片不均匀度10%平均每次工艺时间：75分钟左右(48所扩散炉)，85分钟左右(Centrotherm扩散炉)平均每瓶扩散源可进行的工艺次数：石英制品清洗周期：扩散石英管1次/三个月，石英舟1次/三个月；春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本，查处客车超载12辆次，卸客转运78人切换型号或停产后恢复生产：扩散需要先预先试做，一舟分5个点，每点10片，正常运行工艺，根据试做出来的方块电阻值确定是否可用满舟生产(试做片方块电阻比要求值下限低1-2个单位就可以正常生产)拉恒温：通过设定相应的PB补偿值来保证实际温度和设定温度一致。当扩散后方块电阻管不均匀性不符合要求或者三个温区设定差异较大的时候需要拉恒温。FZ片测试：通过测试FZ片扩散后的少子寿命来判断扩散管的洁净程度。FZ片要保证一定的厚度，少子寿命测试值大于100则认为扩散管洁净程度符合生产要求。常见异常情况：工序故障表现诊断措施扩散扩散不到1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。2.携带气体大氮量太小，不能将源带到管前。3.管口抽风太大。1.由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。2.增大携带气体大氮的流量。3.将石英门旁边管口抽风减小。扩散方块电阻偏高/偏低偏高。1.扩散温度偏低。2.源量不够，不能足够掺杂。3.源温较低于设置20度。4.石英管饱和不够。1.升高扩散温度，加大源量.2.延长扩散时间。3.增加淀积温度。4，调整源瓶温度。5，延长扩散时间。偏低。1.扩散温度偏高。2.源温较高于20度。1.减小扩散温度。2.减少扩散时间。3.减少淀积温度。扩散片与片间方块电阻不均匀扩散温度不均匀重新拉扩散炉管恒温扩散后单片上方块电阻不均匀扩散气流不均匀，单片上源沉积不均匀。1.调整扩散气流量，加匀流板。2.调整扩散片与片之间距离。扩散后硅片上有色斑甩干机扩散前硅片没甩干调整甩干机设备及工艺条件扩散过程中偏磷酸滴落长时间扩散后对扩散管定期进行HF浸泡清洗太阳能电池效率忽高忽低扩散间或石英管被污染，特别是在生产线被改造时最明显。清洗石英管及石英制品，加强扩散间工艺卫生，强化TCA。扩散方块电阻正常，但填充因子偏低。品质因子有问题，n趋向于2，J02偏大，表明结区复合严重。方法同上工艺卫生基本点：1，进出扩散间必须吹风淋；2，严禁任何金属物质接触石英制品；3，正常生产过程中石英舟的搬运必须使用舟叉。春运期间，经我大队民警的共同努力，全面完成了春运各项任务。我队共出动警力425人次，出动车辆215台，登记检查客运车辆2087辆次，危化品运输车辆45辆，处理交通违法行为245人次，暂扣驾驶证86本