大宗气体特气系统介绍

TRAININGFORGAS2011.5.18Section1气体的类型Section2气体供应方式Section3气体设备Section4尾气处理Section5控制系统ContentSection6大众气体输送系统Section7压缩空气(CDA)气体类型1,按照气体的使用量分类:(1),大宗气体:(2),特殊气体:2,按照气体的性质分类:(1),惰性性气体(2),助燃性气体(3),易燃性气体(4),腐蚀性气体(5),氧化性气体气体类型3,按照气体的纯度分类:(1),一般气体:(2),高纯气体:4,按照气体常温条件下的状态分类:(1),气态气体(2),液态气体(3),高压气体(4),低压气体1:On-sitegasgeneratorsupply:CDA,GN2,O2现场制造气体2:Bundlesupply:H2,He集装格供应气体3:Lorrytanksupply:Ar,O2液体槽车供应气体4:Gascylindersupply:SpecialGas钢瓶供应气体气体供应方式流量计TankLorryN2Plant液态气体储罐PurityGasGeneralGasOutsideOfBuildingInsideOfBuilding过滤器0.02m,0.01m无尘室气体纯化器过滤器(0.05m)过滤器(0.1m)调压器气化器r气体供应方式气体输送系统•特殊气体系统气体输送系统•特殊气体系统-流程图•特殊气体集中输送系统(BSGS)气体输送系统气瓶柜•安全设计(外壳)•不锈钢316LVIM/VAR•选用材料符合特殊气体需要•100%内表面电子抛光•无颗粒•泄漏率:1x10–10Atm-cc/sec(He)•PLC控制&触摸瓶•操作和维护方便•全自动循环工艺•自动工艺钢瓶切换•安全选项&联动装置•显示器:ELMonoorTFTColor气瓶柜流程图•GasCabinetFlowDiagramA:PROCESSB:PURGEN2C:GENERALN2D:LEAKCHECKHeE:EXHAUST气体分流箱(VMB)•在不用停止供气的条件下增加使用点•降通过减少气瓶柜的数量来降低费用•系统和安全选项类似于气瓶柜•设计简洁•1X8输送VMBP&IDⓐ:ProcessInⓑ:ProcessOutⓒ:ProcessOutⓓ:ProcessOutⓔ:ProcessOutⓕ:ProcessOutⓖ:ProcessOutⓗ:ProcessOutⓘ:ProcessOutⓙ:PurgeN2Inⓚ:GasIn气体输送系统尾气处理SafetyDesign&SystemDesignedwithAnti-corrosionMaterialEasyOperationandMaintenanceLowRunningCostHighEfficiencyPLCController&TouchPanelFullAutoCycleProcessSafetyOption&InterlocksApplicableMonitoringSystem▣DryScrubber▣ThermalWetScrubber▣PlasmaType▣POUScrubberPlasmachamberWaterchamberInletport(4ports-standard)TouchscreenMiddleflangeFlowcontroller(N2,Airwater)ControllerofGasandChemicalSupplySystemFreeVoltMainPowerPLCProcessTouchPanelOperationDisplay:ELMonoorTFTColorCOM:RS-232C422,485,DataHighwayBoxSizeW796xD330xH315SignalTowerManometerEMG12”TFTColorDisplayGasFlowDiagramActualPressureMonitoringSystem•GMSConceptFlowPOWERFUSEPROGRUNTESTBREAKERRORBATTALARMTESTRUNREMOTEPROGN700αPROGRAMEthernetLinkWIRELINKWIRELINKWIRELINKPOWERFUSEPROGRUNTESTBREAKERRORBATTALARMTESTRUNREMOTEPROGN700αPROGRAMEthernetLinkWIRELINKWIRELINKWIRELINKPOWERFUSEPROGRUNTESTBREAKERRORBATTALARMTESTRUNREMOTEPROGN700αPROGRAMEthernetLinkWIRELINKWIRELINKWIRELINKServerFullPointI/OPanelPCGasCabinetVMBHubHubEthernetTransceiverGasCabinetVMBGasCabinetVMBServerFullPointI/OServerFullPointI/OMonitoringSystem•GMS大众气体•定义:在空气中可以提取的气体,如氮气,氧气,氩气,氦气等.•储藏方式:低温储罐,高压钢瓶低温气体•低温液体–在常压下一般沸点低于-180℃•例如–液氧(-182.9℃)–液氩(-185.7℃)–液氮(-195.8℃)–液氦(-268.9℃)低温储罐储罐和槽车大众气体输送系统钢瓶内气体（1）压缩气体临界温度低于-10℃的气体，经加高压压缩，仍处于气态者称压缩气体，如氧、氮、氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于或等于12MPa（125kg/cm2）称高压气瓶。（2）液化气体临界温度≥10℃的气体，经加高压压缩，转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为液化气体。（3）溶解气体单纯加高压压缩，可产生分解、爆炸等危险性的气体，必须在加高压的同时，将其溶解于适当溶剂，并由多孔性固体物充盛。在15℃以下压力达0.2MPa以上，称为溶解气体（或称气体溶液），高压钢瓶大众气体输送系统-气瓶架大众气体输送系统-气体汇流排压缩空气(CompressDryerAir)•压缩空气(CDA)是指经空气压缩机压缩后,经干燥,压力高于大气压的空气.•压缩空气是一种能源，是一种由电能转化而来的能源。作为用来开动机具和阀门的主要能源,它易于控制，使用方便，能灵巧精确地完成动作，有缓冲作用，而且不发热、没有污染。空气压缩机及辅助设备空气压缩机冷冻式干燥机过滤器储罐空压机站内流程图