PCBIDF工序质量分析

IDF工序缺陷判断及质量数据分析SYEQE08.02.25培训目的了解IDF工序现阶段质量监控点、主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因了解IDF工序主要质量数据和指标了解IDF工序质量数据分析、改善及效果评估一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点纲要：1、IDF工序现阶段主要质量监控点及监控参数；2、流程查核；一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点1、IDF工序现阶段主要质量监控点：具体见附件一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点2、主要参数及质量监控点：※前处理：1、速度（2.0-2.7m/min）2、烘干温度（45-55℃）3、微蚀量：0.8-1.6um※贴膜：1、贴膜温度/压力（110±10℃、４－５kg/cm2）2、预热温度（80±5℃）、贴膜速度：电镀板（2.0-2.５m/min），其它（3.0-3.５m/min）3、贴膜后静止时间（15---1440min）※曝光：1、曝光级数（干膜：7-8、湿膜：6.5-7.5、MASK2:4-5）、能量均匀性（10%）、真空度（25-30inHg）2、曝光时间（≤15s）、温湿度（20±1℃、46--54%RH）、曝光后静止时间（15---1440min）一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点※湿油：1、速度（2.0-3.5m/min）2、油墨粘度（40-62sec）3、膜厚：9-13um4、洁净度：涂膜室1000grade※菲林制作及使用：1、菲林剖出至使用最小时间：4H2、保护膜贴膜速度：1.5-2刻度3、存放条件：温湿度（20±1℃、46--54%RH））一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点3、工序查核（1）日常查核（2）专项查核二、IDF工序主要质量指标纲要：1、报废率2、PONC3、一次合格率4、RTV5、重点客户/型号二、IDF工序主要质量指标工序主要质量数据：质量控制项目目标数据来源频率主要影响缺陷一次合格率65%、77%、80%、85%ERPERP日报、周报、月报开路缺口、曝光不良、残铜、凸起报废率普通板4.3％MRBERP日报、周报、月报AOI开路缺口、短路、擦花HDI板4.3％PONC185万/月QEPONC月报膜碎开路缺口、短路、擦花E－T合格率内短1.1%E－TERP日报、月报开路缺口、短路、残铜内开0.3％大点0.3％客户投诉DPPM内层开路20QSQS月报表内层开路缺口、短路内层短路10二、IDF工序主要质量指标1、普通板及HDI板报废率：A、曝光房每周普通板报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面积ft237684.56377048.3401362.3406714.9382405.7开路缺口报废面积ft25223.566705.946520.665816.787362.13开路缺口报废率%1.751.421.781.621.431.93曝光不良报废面积ft2684.9916.85522.93341.94713.31曝光不良报废率%0.150.190.240.130.080.19重合度报废面积ft266.0285.0548.77196.2475.51重合度报废率%0.050.020.020.010.050.02二、IDF工序主要质量指标曝光房每周普通板报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.20.40.60.811.21.41.61.8204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05开路缺口曝光不良重合度目标值目标值目标值二、IDF工序主要质量指标B、DES每周普通板报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面积ft237684.56377048.3401362.3406714.9382405.7AOI残铜报废面积ft2294.16182.65141.14163.61180.49AOI残铜报废率%0.050.080.050.040.040.05蚀刻过度报废面积ft268.87126.8893.86209.3372.55蚀刻过度报废率%0.030.020.030.020.050.02蚀刻不净报废面积ft293.1675.1593.75195.02213.32蚀刻不净报废率%0.050.030.020.020.050.06叠/卡板报废面积ft2153.77204.91104.76176.51150.5叠/卡板报废率%0.050.040.050.030.040.04阻值超标报废面积ft225.224.319.167.2111.99阻值超标报废率%0.020.020.0030.010.010.01特阻抗不合格报废面积ft21.262.1511.286.126.12特性阻抗不合格报废率%0.01000.010.010.01二、IDF工序主要质量指标DES每周普通板报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.010.020.030.040.050.060.070.080.090.104/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05AOI残铜蚀刻过度蚀刻不净叠/卡板阻值超标特性阻抗不合格目标值目标值二、IDF工序主要质量指标C、AOI每周普通板报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05内层余数合格面积ft237684.56377048.3401362.3406714.9382405.7内层余数报废面积ft2947.11684.4893.32630.24826.98内层余数报废率%0.20.260.170.220.150.22普通板RTV合格面积ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66内层短路报废面积ft21151.161182.961039.431043.58845.45内层短路报废率%1.11.030.980.960.920.91内层开路报废面积ft2315.58342.75259.11355.33253.01内层开路报废率%0.30.280.280.240.310.27大点内短报废面积ft2470.68464.88355.18351.66285.59大点内短报废率%0.30.420.380.330.310.31二、IDF工序主要质量指标AOI每周普通板报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.20.40.60.811.204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05内层余数内层短路内层开路大点内短目标值目标值二、IDF工序主要质量指标D、曝光房每周HDI报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面面ft223976.216460.1318264.8816928.613068.4T/C开路缺口报废面积ft296.75100.552.3369.8455.65T/C开路缺口报废率%0.20.40.60.280.410.42T/C曝光不良报废面积ft256.8829.0835.3814.120.85T/C曝光不良报废率%0.030.240.170.190.080.16电镀子板合格面面ft221183.7916371.2117937.4017177.9112757.86电镀子开路缺口报废面积ft2218.09307.01382.89527.93258.14电镀子开路缺口报废率%1.41.031.882.133.072.02电镀子曝光不良报废面积ft213.9840.7442.5421.039.97电镀子曝光不良报废率%0.150.070.250.240.120.08电镀子崩孔报废面积ft239.269.0952.7550.6926.6电镀子崩孔报废率%0.10.190.420.290.300.21二、IDF工序主要质量指标曝光房每周HDI报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.511.522.5304/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05T/C开路缺口T/C曝光不良电镀子板开路缺口电镀子板曝光不良电镀子板崩孔目标值目标值二、IDF工序主要质量指标E、DES每周HDI板报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面积ft223976.216460.1318264.8816928.613068.4T/CAOI残铜报废面积ft29.76.990.221.030.96T/CAOI残铜报废率%0.030.040.0400.010.01T/C蚀刻过度报废面积ft28.712.2420.222.212.35T/C蚀刻过度报废率%0.010.040.010.110.010.02T/C蚀刻不净报废面积ft20.632.372.710.910.89T/C蚀刻不净报废率%0.0200.010.010.010.01电镀子板合格面积ft221183.7916371.2117937.4017177.9112757.86电镀子板AOI残铜报废面积ft219.0210.3815.9719.5816.45电镀子板AOI残铜报废率%0.10.0600.030.110.13电镀子板蚀刻过度报废面积ft212.530.615.026.570电镀子板蚀刻过度报废率%0.050.0600.030.040电镀子板蚀刻不净报废面积ft26.248.694.997.9223.10电镀子板蚀刻不净报废率%0.200.030.050.030.050.18二、IDF工序主要质量指标DES每周HDI报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.050.10.150.204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05T/CAOI残铜T/C蚀刻过度T/C蚀刻不净电镀子板AOI残铜电镀子板蚀刻过度电镀子板蚀刻不净目标值目标值二、IDF工序主要质量指标F、AOI每周HDI板报废率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05HDI板RTV合格面积ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66内层短路报废面积ft21151.161182.961039.431043.58845.45内层短路报废率%1.11.030.980.960.920.91内层开路报废面积ft2315.58342.75259.11355.33253.01内层开路报废率%0.30.280.280.240.310.27大点内短报废面积ft2470.68464.88355.18351.66285.59大点内短报废率%0.30.420.380.330.310.31二、IDF工序主要质量指标AOI每周HDI报废率趋势：☆报废率是工序最重要的质量指标！00.20.40.60.811.204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05子板内层短路子板内层开路子板大点内短目标值目标值4/01-074/08-4/144/15-214/22-4/284/29-5/05MRB报废率MRB报废率MRB报废率MRB报废率MRB报废率开路缺口5223.51.426706.541.786520.661.625816.781.437362.131.93曝光不良684.90.19916.850.24522.930.13341.940.08713.3