ESD管理规范及测量标准

声明：○盖上红色受控印章方可视为有效；深圳市微浦技术有限公司工作指引文件名称：ESD管理规范及测量标准部门：工程部文件编号:VP-QA-004版本：A/0编写：谭桂审核：批准：生效日期：修订日期修订内容修订者原版本会签部门□工程部_______□PMC_____□仓管部□生产部□产品部_______□采购部□品质部_______□销售部_______□行政部_________分发份数共份深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-21.0目的本公司规定了产品和电子组件在制造过程中的静电防护，防止因静电的力学和放电效应而产生或可能产生的危害，或将这些危害限制在最小程度。以确保产品的设计性能及使用性能不致因静电作用受到损害，保证产品质量、提高产品寿命。2.0适用范围适用于本公司所有产品物料的采购、验收、储存、搬运、加工、包装及生产装配、产品测试等全过程。3.0定义3.1ESD(Electro-Staticdischarge)：主要是指两个带有不同静电电位之物体，当它们接近并能够发生电荷传送，由于电荷的传送产生了电流，使器件损坏或造成寿命上的伤害，一般称为静电泄放或简称ESD。3.2SSD(StaticSensitiveDevice):凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。4.0职责4.1工程部依据本程序要求实施静电用具的进料检测和电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及日常维护。4.2品质部负责制定防静电措施要求和标准及监督执行状态。4.3各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。5.0工作程序本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制。5.1静电敏感区域的界定：5.1.1ESD敏感器件的生产区域------生产线等。5.1.2ESD敏感器件的前加工区域----前加工房。5.1.3ESD敏感器件的贮存区域------仓库5.1.4ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。5.1.5ESD敏感器件的老化区域------老化房。深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-35.2静电敏感区域的标识：5.2.1静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识，线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的，不可作为其它标识用。5.2.2从静电敏感区域的入口处开始,在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志。如图A:5.2.3防静电容器(防静电周转箱，防静电元件盒等)，元件架和运输车等器材上应有防静电标志，标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:5.2.4经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:5.2.5含有SSD的图纸资料,应有SSD标志。5.2.6设备的外部端口、整机包装、交付文件标志应符合GJB1649中条要求。5.3静电敏感区域的工程环境防静电规范5.3.1防静电工程环境在设计时，为达到静电防护的要求应遵循以下原则:1）抑制静电荷的积累和静电压的产生2）安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-43）防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。4）防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。5）在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:5.3.2防静电工程环境的温度和湿度要求：温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。5.3.3温度计和湿度计使用要求:1）对温度、湿度做监测的温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。2）有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查温湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。3）遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查温湿度自动记录仪的记录情况。4）发现温度湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。5）每月的温湿度仪记录的测试结果由负责记录的部门归类保存。5.4静电敏感区域的人员防静电规范：5.4.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。5.4.1.1所有新员工（职员）在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。5.4.1.2在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员，必须接受ESD知识的培训，作为上岗考核的必考内容之一。5.4.1.3工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-5常教育。5.4.1.4品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类SSD的静电敏感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。5.4.1.5检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训,熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。5.4.1.6设备部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防静电接地系统要求,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。5.4.1.7生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产,并开展对生产员工的静电防护日常教育。5.4.1.8计量部门也应了解ESD基本知识,尤其是关于防静电仪器的校验知识,要定期调校防静电检测器材,保证其安全、有效。5.4.2采购ESD控制：采购部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。5.4.2.1依据ME之规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防护要求；其它ESD防护器材采购时，须按ME测试工程师制定的标准进行采购。5.4.2.2须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。5.4.2.3要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。5.4.3仓库防ESD控制：仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。5.4.3.1对ESD零件进行清点验收时，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。ESD组件与非SSD应分区存放（ESD存放架要有接地处理），并做显著标示。5.4.3.2开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。5.4.3.3在存放区搬运SSD须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-65.4.3.4物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。5.4.4进料检验(IQC)的ESD控制：5.4.4.1检验时确认静电防护及标示是否正确，要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，须有ESD手环，ESD工作衣、手套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。5.4.4.2检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。5.4.4.3检验员对防静电气泡袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进行静电检测。5.4.5制造过程中的ESD控制:5.4.5.1SSD加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手环可靠接地，需走动的工位作业员须戴好防静电脚环；未做好静电防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。5.4.5.2对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包装或其它防静电容器内。5.4.5.3SSD在组装中，依据ME工艺工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。5.4.5.4制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测试仪”加以测试，确认功能正常，并作好记录。5.4.5.5定期对操作员工进行使用ESD工具、设施及取用SSD程序的完整训练，并作记录。5.4.5.6每个工作台须有ESD防护料件(如袋、乳棉海绵、箱等)。5.4.5.7所有进入车间人员，必须经过ESD静电鞋测试仪测试人体综合阻值，通过方可进入，否则一律不准进入车间，生产作业人员每天上班测一次防静电鞋，以确定防静电鞋的有效性，并做好记录。5.4.5.8做好每日的日常点检工作,并将点检情况记录在《静电插座/卡扣线及静电线末端点检表》中。5.4.6IPQC稽核：深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-75.4.6.1IPQC须协助生产单位检查作业员静电防护措施是否正确及抽测各防静电设施是否正常；5.4.6.2IPQC每日上班前监督员工进行静电鞋和静电手腕带的测试。5.4.6.3生产测试及测试工程须使用ESD工作台。5.4.6.4清除测试区内静电源。5.4.6.5定期检查ESD设施，保证有效性。5.4.6.6SSD组件传送至下一个工作区时，设有防护袋装。5.4.6.7当施加工作电压时，设备接地应良好。5.4.7品管部ESD控制：5.4.7.1定期审核各部门是否依照ESD控制程序进行作业，定期进行ESD点检并做好记录。5.4.7.2定期审核供货商是否符合ESD规定。5.4.7.3ESD工作须经QA检验确认。5.4.7.4定期审核ESD训练计划，工程图是否有正确的ESD警告条文或警告。5.4.8MEESD控制:5.4.8.1定期检查及测试ESD设备设施是否完好、性能及可靠性。5.4.8.2对ESD设备检验测试、定期测试、校正并作好记录ESD故障有关的资料须经常维护，问题范围与故障趋势所需调查校正措施须向相关主管报告。5.4.8.3ME须测试SSD组件，以对它们的ESD敏感度进行分类。5.4.8.4ME负责所有ESD测试项目之SOP及相关记录表单的编写。5.4.9ESD点检5.4.9.1点检条件:全部点检均在生产场地内进行，环境温度20-25℃，相对湿度40%-60%。5.4.9.2点检仪器：非接触式和接触式静电电压表、接地电阻测量仪、兆欧表及标准电极、静电电量表、腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、离子平衡分析仪、摩擦起电机、法拉第筒、静电屏蔽测试仪、直流电压（表），直流电压源。深圳市微浦技术有限公司文件类别工作指引制订日期2015-12-01版本A/O文件名称ESD控制程序文件编号WI－PE－001页数3-8注：所使用的仪器精度不低于5%，均应验定、计量合格和在有效期内，量程大于实际测试范围20%。允许使用符合测试要求的同类仪表。5.4.9.3测试技术指标：见附录A.5.4.9