231B-02(氦质谱检漏仪说明书)

SFJ-231氦质谱检漏仪PRODUCTUSAGEMANUAL产品使用说明书说明说明此说明书之内容，修改时将不经通告。本说明书版权归安徽皖仪科技股份有限公司所有，未经本企业的事先书面许可，此说明书之部分或全部均不准复印、翻印或译成它种语言。本企业对此说明书中所例材料用于其它目的的可营销性及适用性，不作任何保证，或者默许的保证。对因此引起的由于使用本材料造成的意外或导致的损坏，本企业将概不负责。版本：V2.0/2014.4SFJ-231氦质谱检漏仪目录i目录 1前言........................................................-1-1.1图标约定....................................................-1-2概述........................................................-2-3仪器性能指标................................................-3-3.1使用环境....................................................-3-3.2性能参数....................................................-4-4仪器简介....................................................-5-4.1仪器气路系统................................................-5-4.2仪器电子系统................................................-6-4.3系统工作流程................................................-7-4.4仪器面板....................................................-9-4.5仪器外部接口................................................-9-5仪器操作...................................................-13-5.1基本操作说明...............................................-13-5.2检漏（喷吹法）.............................................-31-5.3其他检漏方法操作...........................................-36-6维护.......................................................-37-6.1漏率校准...................................................-37-6.2机械泵保养.................................................-37-6.3分子泵维护.................................................-37-6.4质谱管及离子源清洗.........................................-38-7常见故障和处理.............................................-39-8附录.......................................................-42-8.1通讯协议...................................................-42-8.2仪器外形尺寸...............................................-47-9售后服务...................................................-48-前言-1-1前言本手册对“SFJ-231氦质谱检漏仪”对应子机在到用户现场后进行的安装、使用、维护和故障排除等方面进行了介绍。本手册的目标读者为需要对“SFJ-231氦质谱检漏仪”或对应子机执行安装、使用、维护等针对本仪器的操作人员，本公司员工以外的客户方或第三方操作人员尤其需要仔细阅读本手册。本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。4001120066图标约定符号含义可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导致故障。日常操作时需要注意的事项¨参见的章节如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品升级且不用另行通知的权利。为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》概述-2-2概述氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：科学研究航空航天汽车制冷军事工业分析仪器发电厂核工业压力容器精密机械加工医疗仪器/仪表真空炉、镀膜设备等装置或系统高真空和超高真空的工程半导体等行业氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。仪器性能指标-3-3仪器性能指标3.1使用环境表1使用环境注意使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品！如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰。仪器停机后要等待40分钟以上才可以移动，否则可能影响分子泵特别注意在使用外部辅助真空系统时，请确保检漏仪处于待机状态后再进行辅助真空系统的抽空，否则可能会造成检漏仪机械泵返油。机型环境参数极限条件环境温度（℃）10～40相对湿度＜80%供电电压单相，220V±10%,50HzSFJ-231最大工作电流（A）5A仪器性能指标-4-3.2性能参数表2仪器性能参数机型性能参数参数值最小可检漏率（Pa·m3/s）1.0E-12可检气体He4响应时间（s）≤1启动时间（min）≤5漏率指示范围（Pa·m3/s）1.0E-02～1.0E-13检漏口允许最大压力（Pa）1500允许质谱管最大压力（Pa）3×10-3检大漏功能基本型号不具备无线手持器选配双灯丝切换功能有前级泵D16C分子泵普发SplitFlow80小推车标配SFJ-231仪器物理尺寸（W）×（D）×（H）645x678x965仪器简介-5-4仪器简介4.1仪器气路系统图1仪器系统示意表3部件说明部件名称简介泵2分子泵为质谱室提供高真空，以便灯丝可以正常工作P2电阻规管测量分子泵排气口的真空值V4电磁阀精检阀V3电磁阀中检阀泵1机械泵获取粗真空V1电磁阀粗检阀V2电磁阀预抽阀V6电磁阀放气阀标漏标准漏孔检漏仪内置校准漏孔V5电磁阀标漏阀P1真空规管测量检漏口压力的传感器检漏口检漏口被检工件的接口的接入端口MS质谱室离子飞行的腔体仪器简介-6-4.2仪器电子系统图2电气系统示意图表4各模块功能模块名称功能简介CPU整个电子系统的核心，协调所有的操作显示模块显示漏率，压力等数据控制模块按键输入以便完成相应的操作输入模块采样数据并传送给CPURS232数传模块与外部232设备通讯，也可接线控器输出控制模块控制继电器，电磁阀的动作，以实现检漏、停止等操作和气路切换离子源电源模块控制离子源的电源RS232/485数传模CPU输入模块输出控制模块控制模块显示模块离子源电源模块仪器简介-7-4.3系统工作流程4.3.1启动流程图3启动流程粗真空300秒分子泵启动出错（重新加电）分子泵300秒接通电源离子源加电出错（重新加电）成功重试次数10出错（等待重新加电）启动完成，开始检漏YNNYYNYNYYYYNNY备注:启动过程中只有V1打开，其余阀都应该是关闭的，如果有阀没有关闭，请检查，或联系生产商；如果系统出错,且多次重新启动后均无法启动,请联系生产厂商。仪器简介-8-4.3.2检漏流程图4检漏流程仪器简介-9-4.4仪器面板图5仪器面板表5仪器面板简介4.5仪器外部接口图6仪器外部接口分布部件名称部件类型备注触摸显示屏显示操作显示设备当前的运行状态，可通过触摸方式更改参数切换显示画面。开始/停止按钮开始检漏或停止检漏按钮，长按停止可对检漏口放入空气，以便更换工件。调零按钮按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零触摸显示屏调零停止开始12345678仪器简介-10-表6外部接口简介编号部件类型备注1电源接口电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔2模拟输出漏率信号的模拟量输出3485接口485通讯接口4I/O输入输出接口外部控制、内部输出接口5遥控器接口遥控器接口6232接口232通讯接口7USB接口USB通讯接口8排气口机械泵排气口4.5.1模拟输出接口图7模拟输出接口分布表7模拟输出各接口序号备注1AO-12AGND3AGND4AO-25GND6音频信号端（+）7音频信号端（-）8GND12345678仪器简介-11-线性模式：AO-1：漏率信号线性模拟量输出（单位V）；【（12-exp）×5041+base×504】*10/65535AO-2：空。指数模式：AO-1：漏率信号基数（单位V）；【base×10×655】*10/65535AO-2：漏率信号指数（单位V）；【（12-exp）×5041】*10/655354.5.2遥控器接口、232接口接口：BD9公头图8RS232接口图9遥控器接口4.5.3RS485接口ABGNDRS485RS485图10RS485接口仪器简介-12-4.5.4I/O输入输出接口接口:DB25（母头）图11I/O接口分布仪器操作-13-5仪器操作仪器搬运到检漏现场；提供220V±10%,50Hz的交流电源，并且确保有地线；准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是250V*10A；准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。5.1基本操作说明5.1.1启动将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始加电。设备显示启动画面。如下图：图12仪器操作-14-数秒后进入监测画面，如下图：图13表8启动画面显示项目简介启动完成后显示如下：图14编号名称备注1启动已用时显示从加电到当前所用的时间2检漏口压力检漏口的压力3排气口压力分子泵排气口的压力仪器操作-15-待机画面中的项目：表9项目含义编号名称备注1检漏模式指示当前检漏的工作模式，真空/吸枪模式2检漏口压力检漏口的压力3排气口压力分子泵排气口的压力4报警音量显示报警时喇叭的音量5报警阈值显示报警设定值6漏率显示当前质谱室的本底漏率7待检产品编号点击后面数字可以对检测产品编号（禁输入空格）如果有异常则自动进入报警窗口如下画面：图15在产生原因中会列举出产生此种故障的最可能因素，用户可根据提示进行排除，如果不能排除可联系厂商进行维修。如果设备进入待机状态则说明系统启动完成。如果仪器是第一次使用或者停用很久后再次使用，质谱室内残存气体比较多可能会导致启动时间较长，启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。仪器操作-16-5.1.2参数设定在待机状态下选择点击“”触摸键进入如下画面：图16点击密码区域，进入如下画面：图17密码等级分为低级密码，高级密码。不同的密码等级进入