除胶渣操作手册

ZTW-OM-DSM-001C/1除胶渣线操作手册2009年11月版编制：审核：除胶渣线操作手册Page2of11ZTW-OM-DSM-001C/1目录一、目的范围二、工艺流程三、除胶渣线设备规格表四、除胶渣线流程图及各缸时间范围五、操作程序5.1、开缸程序5.2、工艺控制5.3、生产操作和维护5.4、Desmear线停产处理方法5.5、Desmear线停电及机械故障处理方法六、Desmear线常见问题及处理附1、Desmear线操作控制表附2、Desmear线设备检测一览表除胶渣线操作手册Page3of11ZTW-OM-DSM-001C/1一、目的范围规范Desmear线流程，提供Desmear线工艺控制参数和操作方法，指导生产人员正确生产，以确保生产产品品质，适用于Desmear手动或自动线操作。二、工艺流程二级逆流水洗除胶渣DM-02①②二级逆流水洗二级逆流水洗二级逆流水洗二级逆流水洗喷淋水洗回收预中和中和N-03化学沉铜工序膨松SW-01除胶渣线操作手册Page4of11ZTW-OM-DSM-001C/1三、除胶渣线设备规格表缸号工序材料搅拌水过滤发热器备注1膨松P.PSS316M&ADIP.PSS316SS2-3水洗P.PM&ACW--4除胶渣SS316M&ADISS316SS5回收P.PMCW--6-7水洗P.PM&ACW--8预中和P.PMCW--9-10水洗P.PM&ACW--11中和P.PMDIP.PQTE12-13水洗P.PM&ACW--说明：SS：不锈钢QTZ：石英P.P：聚丙烯T：气缸振荡M：机械摇摆A：打气V：电振荡器TF：铁氟龙C：冷却除胶渣线操作手册Page5of11ZTW-OM-DSM-001C/1四、除胶渣线程序图及各缸时间范围注：滴水时间栏为空白为无要求，各厂根据实际情况可作适当调整。序号缸名称1上/下架2水洗3水洗4中和5水洗6水洗7预中和8水洗9水洗10回收11除胶渣12水洗13水洗14膨松序号浸泡时间范围滴水时间1——21-2min5-10Sec31-2min44-6min10-20Sec51-2min5-10Sec61-2min71-3min10-20Sec81-2min5-10Sec91-2min101-3min1112-18min15-20Sec121-2min5-10Sec131-3min146-8min10-20Sec除胶渣线操作手册Page6of11ZTW-OM-DSM-001C/1五、操作程序5.1开缸程序5.1.1前期准备A、设备检查：a、设备的流程是否符合本产品所要求的流程；b、设备的材质是否符合本司产品要求（例如：挂篮用10%HCL浸泡48小时，检查有无被腐蚀）；c、检查所有药水缸、水洗缸是否无渗漏；d、检查所有过滤泵、振动、摇摆、打气等是否运转正常。B、缸体情况：a、新线开缸前须用3-5%NaOH溶液泡缸12小时，再用3-5%H2SO4泡缸12小时，再用清水冲洗至少两次，药水槽需再用纯水清洗一次备用；b、旧线视缸体清洁度，可考虑不用酸碱泡缸，但缸体须用清水洗净，药水缸须用纯水清洗。C、缸体测量：测量缸内壁长、宽、高，计算出缸体积，计算方法：V=长×宽×高（注：高为药水液位高度）。D、开缸辅料检查：检查各开缸物料是否正常（例如：H2SO4是否浑浊）。5.1.2开缸5.1.2.1膨松缸A、加入DI水至1/2体积；B、加入NaOH8g/L；C、加入膨松剂SW-0140%（V/V）；D、补充DI水至液位；E、打开加热，并开启过滤。5.1.2.2除胶渣缸A、加入DI水至2/3体积，并开启打气；B、加入除胶渣DM-02A55g/L；C、加入DM-02B10%；D、补充DI水至液位；E、打开加热，并开启过滤。5.1.2.3预中和缸A、加入DI水/CW水至2/3体积；除胶渣线操作手册Page7of11ZTW-OM-DSM-001C/1B、加入H2SO41%；C、加入H2O21%；D、补充DI水/CW水至液位。5.1.2.4中和缸A、加入DI水至2/3体积；B、加入H2SO410%；C、加入中和剂N-0320%；D、补充DI水至液位；E、打开加热，并开启过滤。5.2工艺控制5.2.1膨松A、工艺参数a、温度65-75℃b、时间6-8minc、过滤连续过滤d、摇摆连续e、振动连续f、打气生产中根据需要可保持少量打气。B、控制a、碱当量控制在0.16-0.20N，每添加4g/LNaOH提高0.1N；SW-01含量控制在35%-45%；每添加10ml/L可提高含量1%；b、每生产25m2板补加NaOH40g，SW-011.5L。C、更换a、每升工作液处理25-35m2板给予更换；b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.2.2除胶渣A、工艺参数a、温度65-85℃b、时间12-18minc、过滤连续过滤除胶渣线操作手册Page8of11ZTW-OM-DSM-001C/1d、摇摆连续e、搅拌空气及机械搅拌并用f、除胶速率0.15-0.35mg/cm2B、控制a、浓度控制：OH-0.9-1.1N锰酸根＜25g/Lb、控制在正常范围之内：○1每添加DM-02B10ml/L碱当量提高0.1N；○2维持高锰酸根（七价锰）在45-55g/L，维持锰酸根（六价锰）含量低于25g/L以下，无再生机时每加3.6g/LDM-02S可降低锰酸根（六价锰）5g/L；c、每生产25m2板，补加DM-02A400g；DM-02B100ml；d、每月倒槽一次，并将槽内杂物清除；e、每班分析一次，依化验分析结果调整。C、更换a、每升工作液处理50-70m2板给予更换；b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.2.3预中和A、工艺参数a、温度室温b、时间1-3minc、摇摆连续B、控制a、每生产50m2板添加H2SO40.5L，H2O21L；b、每班分析一次，依化验分析结果调整。C、更换a、每升工作液处理1m2板或24小时给予更换；b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.2.4中和A、工艺参数a、温度35-45℃除胶渣线操作手册Page9of11ZTW-OM-DSM-001C/1b、时间4-6minc、过滤连续过滤d、摇摆连续e、振动连续B、控制a、酸当量控制在1.8-3.6N，每添加硫酸5ml/L可提高当量0.18N，槽液强度控制在80-120%，每添加N-0320ml/L可提高强度10%；b、每生产25m2板补加H2SO40.4L，N-031L；c、每班分析一次，依化验结果调整维护。C、更换a、每升工作液处理8-10m2板时给予更换；生产经常处于不连续状态或长时间未生产情况下，中和缸每个月更换一次；b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.3生产控制和维护5.3.1生产、试产前准备5.3.1.1检查各缸液位是否在要求位置，如果不符合要求，须调整到要求液位；5.3.1.2启动过滤泵，检查过虑泵是否有漏液及漏气现象，电机运转是否正常，如有异常立即知会相关人员处理；5.3.1.3打开加热开关，检查各缸温度及加热系统是否正常，维持缸液温度在工艺要求值；5.3.1.4对药水进行化验分析，将药水浓度调整至正常工艺范围；5.3.1.5打开再生装置，检查再系统是否正常运行，如有异常需通知维修部进行检修至OK；5.3.1.6打开水洗缸的总掣和分掣，并启动打气，调节适当打气量；5.3.1.7启动摇摆与振动系统，检查摇摆与振动是否正常，如有异常需通知维修部进行检修至OK。5.3.2生产、试产5.3.2.1各设备与工艺均在要求范围内，即可开始按正常工艺进行作业；5.3.2.2在批量生产前，应对每班生产的每一型号多层板均需送首板做除胶效果及沉铜背光测试，当首板确认OK后，方可批量生产。5.3.3除胶渣槽再生系统的维护5.3.3.1定期检查阴极铜棒以及阳极不锈钢网，如有腐蚀，应立即通知维修部更换新再生除胶渣线操作手册Page10of11ZTW-OM-DSM-001C/1系统（阴阳极面积比一般为1：20）；5.3.3.2定期检查再生电压以及再生电流，再生电压：6-9V，再生电流：每平方米板件/每小时×7.5安培小时，电压偏高，说明再生槽内的氢氧化钠浓度可能过高，需要调整；一般再生电流可参考1A/2.5L槽液；5.3.3.3若调整再生器内的氢氧化钠浓度后电压依然偏高，说明再生器出现故障，应立即检修；5.3.3.4大约两小时应检查一次再生槽电流并调整至设定电流；5.3.3.5每天定期分析MnO42-的含量，一般在正常生产的情况下，MnO42-的含量维持在5-12g/L之间，如果MnO42-的含量超出范围太多，则表明再生不良，须立即检修；5.3.3.6每周至少清洗一次再生槽隔离网；5.3.3.7一般情况下，再生槽建议连续再生，即使在生产暂停期间。5.3.4除胶再生器实物图及示意图如下：实物图示意图5.4Desmear线停产处理方法a、关掉所有药水缸中的加热器；b、关掉水洗缸的入水与各药水缸、水缸的打气阀；c、关掉摇摆、振动、过滤，即关掉该线电源；d、长时间停产及放假，须将药水缸盖好。除胶渣线操作手册Page11of11ZTW-OM-DSM-001C/15.5Desmear线停电及机械故障处理方法a、当停电时，停止进板，做完拉上的板收工；b、当停电时，停止进板，关掉各电源开关，已过除胶渣之板走完流程后暂放于水缸中，在除胶渣缸中及未过除胶渣之板，提出放入相邻水洗缸中，待来电后恢复生产；c、当出现停电时，停止进板，除胶渣缸中之板适度摇摆做完拉上的板收工。备注：无卤素板及其它特殊板（如SLOT孔或半孔板）需过除胶渣流程。六、Desmear线常见问题及处理问题描述原因解决方法膨松槽液分层1．膨松槽无过滤系统1．加装过滤系统2．膨松槽氢氧化钠浓度过高2．分析调整至控制中限3．膨松槽局部温度太高3．尽量让整体槽液温度均匀胶渣未除净1．胶渣太厚1．反馈钻孔制程，检查各参数2．膨松剂失效2．检查槽液温度、浓度及处理时间3．除胶渣槽参数失调3．检查除胶渣膨松槽温度、浓度及处理时间4．除胶渣槽副产物（Mn6+及Mn4+）太多1．检查再生系统是否异常2．除胶渣负载太高3．更新槽液除胶渣过度，造成孔壁粗糙1．内层板与胶片的树脂系统不同，造成咬蚀速率有差异1．反馈前制程2．树脂硬化不足，造成蚀速太快2．反馈给基板供应商或前制程3．除胶渣槽参数失调3．检查各浓度、温度及操作时间除胶槽沉淀太多，堵塞小孔1．再生系统异常，产生MnO2沉淀1．检查再生系统2．孔壁多余钻屑，清除不足造成除胶渣槽中树脂、玻纤的累积2．改善前处理，加装高压水洗及超声波震荡清除孔内钻屑中和不净1．中和槽浓度、温度太低和时间不足1．分析调整和按要求控制2．预中和失效2．分析调整预中和浓度和加长预中和时间其它问题详见Desmear/PTH线相关综合资料