蔡司veo电镜操作规程

扫描电镜操作规程包括：开机、装样品、加高压、图像调焦和记录、关机等几个步骤。一．开机在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见左图。1．接通电源后，按红钮，电镜通电。2．按黄钮，真空系统工作，整机处于待机状态。3．约30秒后按绿钮，所有系统开始工作，同时计算机自动启动，注册进入系统。4．双击SmartSEM并登录。二．键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEMControl）。该窗口包括六个控制版面：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vaccum）、样品台(Stage)。操作时每个版面均有多种选择。三．放置样品样品室通入氮气打开舱门，放入样品，抽真空。等待真空度8x10-5mba，真空状态许可出现（VacStatus=Ready）。四．选择加速电压（EHT）和开电子枪，荧光屏上出现图像。可将亮度（Brightness）固定在50％，调节衬度（Constrast）使图像亮暗合适。在低倍率下聚焦图像。五．检查灯丝饱和与电子枪合轴。选择样品感兴趣部位，将图像放大到5000x以上调焦，如果需要，进行物镜光阑合轴，并消像散。调整图像亮度和衬度。六．记录图像1．选择较慢扫描速度，例如：Speed＝9。图像扫完一帧后将冻结（Freeze）在存储器中，以数字文档形式转存或打印。2．图像最终扫描时可以选用不同的降噪方式，提高图像信躁比。在冻结图像上可以输入文本或对特征物测量。七．关机1．关电子枪（Shutdown），样品室放气取出样品，再抽真空。2．按提示关闭所有窗口与计算机，按黄钮，稍候再关红钮，电镜断电。