石墨煅烧操作规程

煅烧石墨操作规程一岗位任务提供洁净高纯石墨基座、石墨卡瓣，为生产高质量的太阳能级多晶硅奠定基础。二岗位职责（1）煅烧石墨件的准备（2）石墨件清洗（3）石墨件烘干（4）石墨件煅烧三工艺流程原理通过高温煅烧除去石墨中的易挥发物，防止在还原和硅芯拉制时杂质沾染多晶硅。四工艺指标（1）真空泵低真空到30格（1×10-3档）（2）扩散泵高真空到90格（1×10-3档）（3）煅烧炉高压开后20分钟升压，每次0.5V（4）煅烧炉温到1550℃五开停车、紧急停车步骤及操作方法（1）开冷却水阀门（2）开真空泵（3）合扩散泵闸刀，预热扩散泵（4）开真空阀，低真空到30格（1×10-3档）时，关闭低真空阀门（5）开高真空阀门，高空到90格（1×10-3档）（6）合高压开关，二十分钟后，升高压。等真空度到80～90格时，升高压，一直到8（X5），炉温到1550℃，恒温2～3小时（7）停炉：慢慢降温，一般十分钟降完，停高压电、停扩散泵、关真空阀、停炉、关闭冷却水阀门（8）拆炉：拆开炉子后，戴口罩和高纯手套，把石墨件去出，装在洁净的塑料袋内密封。（9）紧急停车：先停真空泵再停电，最后停水。六常见事故原因分析及处理（1）停水：马上关闭真空泵阀门然后关闭电源。（2）停电：关闭真空泵阀门，待石墨炉内和扩散泵温度降到室温再关闭电源，最后关闭循环水阀门。（3）真空抽不到指标：停炉然后检查密封处的密封性。七连锁、报警一览表水压、温度、真空度、电压、电流八设备一览表循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉九工艺流程简图石墨清洗装炉抽真空开炉升温恒温降温