炉故障处理

断电：UPS供电通知配电房、上级领导和其他相关人员，短时间断电，温度降至允许范围内，记录掉电前的温度，功率，来电后切换功率模式，功率设定高于原来10%左右，待温度升上来后转成温度模式，（在长晶阶段，由于温度将的过快，最好把隔热笼降下来，等来电，建议不适宜全闭合）UPS不供电检查线路，通知相关人员，关闭压缩空气，来电后重新自动运行，绕过抽真空检漏，如果温度超过1175，会自动跳M1，暂停进入跳步，温度转换功率模式，增加功率至大于原来的10%左右，长晶时注意顶部结晶，断水：车间整水路断水，必须立刻开启备用自来水并通知相关人员（断水最危险，备用水流量低，但足可以保护设备），待来水后进行切换成循环水单台支路断水，一般叶轮堵住了，将主参数设0，立即清洗涡轮，注意将进出水关闭，短时，如果时间过长，稍微打开进出水让温度较高的水流出来，再进行安装如果支路仍然断水，有水流量但是没有信号反馈，经运通参数直接设为零即可以，待运行结束再处理，GT,精工，直接利用模块其它信号，并接相邻信号，使其反馈与其同样的信号。或者直接更换模块硅液溢流：首先复位，测试溢流线值并且观察液面及功率曲线变化，测试阻值无穷大，或者被熔断但是仍被硅液连接，但是阻值肯定会变大，则可以判断确定硅液溢流（GT,JJL，可以依据出水温度做参考，）还有种可能，阻值偏小，甚至1以下，这时应该被短路了，可以确定没有熔断，重新自动运行注意：长晶阶段确认不溢流降低隔热笼加热，建议不要完全闭合，UPS故障：首先看下UPS输入，输出端指示灯是否亮，或者用万用表量输入，输出端电压，确认没有电压输出，立刻短接UPS：精工05222-05223；05001-05002京运通的接：15-17；16-18GT01030-01130;01050-01150来电后按照以上断电方法处理3.控制器或更换控制器正常后，对炉子重新启动前应把该炉子的压缩空气关闭。使其无法打开V1阀抽真空，消除安全隐患。4.控制器为节省时间，不需要拆下红屏故障的控制器，直接将线拔下插入新控制器中即可。5.操作都应对软件重启判断是否能连接上控制器。短路:电流偏大，主要出现在融化阶段，可能是CC盖板受热变形与顶加热器接触而短路，处理方法降低原来功率，或断电，如果仍然还是这样情况，建议断开停炉了打火：电流明显偏小，主要出现再加热阶段，注意看电源柜上面的电流，一般低于3000就得注意了功率曲线波动：应急处理：将PID值P调小，暂停5-8分钟，功率模式控制，如果效果不是很明显，出炉后跟换氧化铝管，检查铂铑丝上是否有损伤或者异物，以及双芯管铂铑丝及氧化铝管的位置是否正确，及时处理TC失效：京运通TC1显示1800失效后温度显示高于1575会引发最大温度紧急报警，此时若不立即处理120秒后DSS炉会自动切断电源。我们可以在这120秒内立即拔除TC1热电偶或立即引用功率曲线运行DSS炉就会停止倒计时炉子运行过程中，产生最大功率报警的应急处理办法炉子点击暂停，或者进入模式界面将温度控制模式改功率控制模式，将功率值降低，当温度上升到接近设定值时将功率模式转换温度控制模式继续运行。如果温度上不去，功率一直偏大，点击急停，进入急冷，防止加热板长时间过热烧坏。出炉后用砂纸打磨烧黑加热板，把氧化层打磨掉，再用酒精擦洗重新安装加热器运行过程中泄露，压力很难上去，偏差报警插板阀没关死，插板阀密封圈有划痕，不能够密封抽真空检漏很难通过建议检查防爆阀和溢流线，TC管抽真空开始压力粗值不变建议查看上下腔室是否合紧真空检漏通过，但是硅锭表面仍然氧化严重1.TC管漏气2.腔室或者电极可能有漏水现象（漏水表面成五颜六色）腔室进水或湿气很大抽真空至0.1mbar以下，可适当加热，隔热笼不要闭合，设定下腔室压力和进出气流量，以更好的带走蒸发出来的水分，热场检查阻值偏小：主要看陶瓷垫片、套筒、吊装陶瓷座，使用吸尘器将连接处碳粉吸干净即可冷却阶段TC管泄漏多半是由于电磁阀密封圈不密封注意泵组气镇阀旋紧后返半圈，目的将腔室的中排出来的油经过气镇阀返回油箱，同时还可以释放部分气压以防止气经过压缩凝结成水排气阀压力表，越小越好，过大说明堵住了以及油位和异响硅锭表面氧化首先确定检漏通过，一般可能会出现氧化铝管可能漏气，或者电极渗水碳氧含量氧20ppma碳17ppma京运通炉机械泵异响检查泵组发现电磁阀不吸合，发现供电磁阀线圈的220伏电没有，在接线盒里一个熔断丝断开，导致后果形成长晶阶段隔热笼不提升手动激活，驱动器故障需重新启动其工作电源，内置抱闸没有通电吸合，继电器坏了或者线接需了，运行过程中机械泵故障1.手动关闭进出气阀门保压，接软管至隔壁一台机械泵继续运行2.手动关闭进出气阀门保压，不要停止配方运行，待维修好泵或者更换泵后继续运行加热阶段压力精确值，压力偏差报警腔室漏气（机会比较小）罗茨泵坏掉MFC校正质量流量计可以自动调节，也可以手动调节（具体方法不好描述）长晶阶段长晶第一步半小时主要是为了提升钢笼形成一个温度梯度，一般这阶段不会长晶，在整个长晶过程中，在G4前的阶段主要是隔热层的提升控制长晶速度，而在G4后，因顶部加热器作用所以提升隔热笼作用不明显，在这阶段修改温度来控制长晶速度至关重要。在长晶过程中，G2末到G3速度最快，大概1.8左右石英玻璃在固体上断裂的处理如果在测长晶率时，石英棒突然断裂，通过加温进可能的将石英棒漂浮在液体表面，开大氩气进气量将其吹至靠边，将损失降至最低。TC管泄漏报警处理确定TC管出现泄漏，关闭接在TC管上的手动阀门，保证炉内不进入空气氩气流量报警处理查看氩气压力是否达到设定值,然后将自动模式切换手动模式调节至设定压力值，气体模式改出气，手动模式不可以调节，确定质量流量计坏了，关闭小口径阀门，打开大口径阀门，用手动节流阀进行人工调节，气体模式出气模式石英玻璃耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数极小石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度达1450℃。R型热电偶为贵金属热电偶。偶丝直径规定为0.5mm，允许偏差-0.015mm，其正极（RP）的名义化学成分为铂铑合金，其中含铑为13%，含铂为87%，负极（RN）为纯铂，长期最高使用温度为1300℃，短期最高使用温度为1600℃。B型热电偶为贵金属热电偶。偶丝直径规定为0.5mm，允许偏差-0.015mm，其正极（BP）的名义化学成分为铂铑合金，其中含铑为30%，含铂为70%，负极（BN）为铂铑合金，含铑为量6%，故俗称双铂铑热电偶。该热电偶长期最高使用温度为1600℃，短期最高使用温度为1800℃。注：适用于氧化性和惰性气氛中，也可短期用于真空中，但不适用于还原性气氛或含有金属或非金属蒸气气氛中电流缺相引起停炉热场内打火将连接杆烧掉，引起此缺陷，现象电流偏低，电控柜显示电流1400左右，处理方法，进入急冷，最好是加热时候及时发现即可避免不必要损失