洁净室管理培训.

洁净室管理培训课程表洁净厂房的设计与组成1洁净室人员卫生与个人职责2洁净室耗材3LCD制造过程中废品图示4洁净室之定义洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化原理净化过程：气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃（细菌）→回风夹道新风、初效空气处理。洁净室的空气洁净度的三种状态：●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。洁净室控管之项目1.能除去空气中飘浮之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。3.温度和湿度之控制。4.压力之调节。5.有害气体之排除。6.结构物与隔间之气密性。7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。洁净室控制微粒污染的主要途径：1.控制污染源，减少污染发生量；2.迅速有效地排除室内已经发生的污染；3.有效地阻止室外的污染侵入。（或有效地防止室内污染逸至室外）洁净室的分类按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。生物洁净室又可分为：A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。洁净室的分类按气流分类(按气流可分为三类)①.非单向流洁净室（乱流、涡流）②.单向流洁净室（层流、活塞流）③.复合流洁净室（乱流、层流同在）非单向流洁净室(又称乱流式)乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级千级--十万级。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。非单向流洁净室的原理和特性1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度、不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释的效果当然越好。非单向流洁净室的原理就是稀释作用。2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，来实现洁净（乱流洁净室一般设计在千级以上至10万级净化级别）。3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定净化级别（换气次数越多，净化级别越高）非单向流洁净室非单向流洁净室原理主要特点：从来流到出流之间气流的流通断面是变化的。非层流方式单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)(1)气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室内截面下通过的洁净室。单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把室内污染排向回风道。(2)要想实现“活塞流”的作用，最重要的是高效过滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放置高效过滤器也要有支架，不可能百分之百的满布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。单向流洁净室单向流洁净室的分类1、垂直单向流洁净室顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风这是典型的垂直单向流洁净室，见图。优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净能力强，能够达到最高的洁净度级别。缺点是：顶棚结构较复杂，造价和维护费用高，高效过滤器堵漏较困难。垂直单向流洁净室垂直层流方式单向流洁净室2、水平单向流洁净室（1）送风墙满布高效过滤器水平送风，全墙面回风（2）“隧道”式单向流送风水平单向流洁净室水平层流方式单向流洁净室的原理1、在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的。2、主要特点（1）全室断面上的流速比较均匀。（2）至少在工作区内流线平行。流线平行指时均流线彼此平行。（3）至少在工作区内没有涡流。复合式洁净室复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道：以过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。(3)并装局部洁净室：将洁净室等级万级~十万级之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。净化工作台/净化储衣柜/净化工作棚问题：我们的洁净室属于何种类型？《洁净厂房设计规范》规定1-100级垂直单向流1000级垂直单向流或水平单向流10000-100000级非单向流GBJ73—84《洁净厂房设计规范》1984年国家计划委员会批准实行的，其中对空气洁净度等级的划分作了如表所列的具体规定。空气洁净度等级洁净室的组成洁净室的构成●结构系统……吊杆、钢梁、天花板格子梁、窗户、门等。●空调系统……空气处理箱、过滤器系统、风机等。●地板……高架地板或防静电地板等。●照明器具……净化日光灯、黄色灯管等1.地板/隔墙板：包括窗户、门。2.天花板系统：包括吊杆、钢梁、天花板格子梁3.空调系统：包括空气系统、过滤器系统等。FFU出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/sFFU的组成部件目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少：1、预过滤器2、外壳体3、风管连接部件4、电机5、叶轮6、气流均衡装置7、过滤器8、金属防护网9、刀缘10、控制元件各个部件分析介绍：1、预过滤器：主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害，可将预滤器放置预滤网框架上或直接将不织布粘贴于FFU进气口。如果生产工艺有除NH3需求，常在此处放置NH3化学滤网，此部分造价较高，我们在设计过程中不可能忽略。2、外壳体：常用有镀铝锌(Galvalume)，不锈钢(SUS430)和铝合金(AlloyAluminum)三种，其它如铝板(Aluminum)，不锈钢(SUS304)和镀锌板也有应用。箱板厚度选取有时也需考虑载人需求。应不同材质，箱板厚度一般在0.8~1.2mmt左右，若选用铝板材质厚度需达到2.0mmt。实际施工时为节约成本，常选用最小厚度。3、风管连接部件：在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。4、电机：目前，交流电机(AC)和直流电机(DC)在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的电机的寿命大约为4万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。5、叶轮：叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。FFU有风机外转子后驱动式(推荐使用）和传统内转子前倾式两种型式。风机外转子后驱动式结构紧凑,效率高,寿命长,静压高,噪音低；传统内转子前倾式结构太复杂,效率低,寿命短,静压低和噪音高)。6、气流均衡装置：随着FFU的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流，从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板，主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅，主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。7、过滤器：有HEPA(高效过滤器)与ULPA(超高效过滤器)两种。一些大型洁净室常会有保险需求，此种情况下过滤器本身也须有UL认证。8、金属防护网：金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电，材质一般有EPXOY铝合金网，表面阳极处理铝合金网。9、刀缘：当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。10、控制单元：FFU的控制可大致分为多档开关、组群控制、软件控制等几种，同时实现的功能有单台控制、分区控制、报警、运行状态显示等。10、FFU的选择配件有运行故障指示灯，常开、常闭无源端口，大功率变压器群控交流FFU，电源线及插头和初效过滤器保护。4.照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。例：单向流式洁净室洁净室净化系统中央式洁净室系统压力（单位Pa)分布模拟结果FFU系统十级洁净室百级洁净室千级洁净室万级洁净室十万级洁净室洁净度的检测1.洁净度等级按国标《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84)的规定进行测定.2.规定须检测洁净度等级的洁净室，由生产部每月进行静态测试一次，并作好详细记录。上述测试结果须反馈给相关部门。3.测试仪器:Y09-9型激光粒子计数器。4.测试方法:每个取样点采样时间为2分钟,每分钟采样2.83升，每点采样3次后求其平均值。则该点的实际尘埃粒子数即可计算如下：实测的三次平均值(粒)实际尘埃粒子数=(粒/升)5.66升无尘概念按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。洁净无尘室工作指南保持手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生极其重要。精心挑选设计精良的服装系统。洁净生产用服装系统是由不同部分组成的。这样的服装系统必须完整，并以正确的方式穿着，以保证其整体的防护性能。应尽量保持部件与工具洁净。工作只能在洁净的表面上进行。禁止吸烟或使用鼻烟。与不吸烟者相比，吸烟者或使用鼻烟者会向空气中多释放出几百万个粒子。在洁净室内不得梳头，甚至不能碰头发。在洁净室内一般不允许使用化妆品。所有化妆品都有粒子轻轻附着在皮肤上。如果说话、咳嗽、打喷嚏、触摸一件物品（比如触摸面罩），这些粒子就会从皮肤上掉落下来，而有成为污染物的危险。洁净无尘室工作指南禁止使用指甲油。指甲油一般比指甲硬，所以过一段时间后，指甲油会出现裂痕。尘埃