微机械学教学大纲_2012

课程名称：微机械学一、课程编码：11-080203-002-03课内学时：54学分：3二、适用专业：机械设计及理论，机械制造及其自动化，机械电子工程，动力机械及工程三、先修课程：机械设计，流体力学，弹性力学，热力学，机械振动四、教学目的：通过本课程的学习，使研究生：1、了解微机械系统的产生、发展及应用；2、掌握微机械系统的致动与敏感原理；3、掌握微机械学的材料学、力学、传热学与摩擦学基础；4、掌握微机械系统的主要制造加工技术；5、了解微机械系统封装与检测技术。五、教学方式：课堂讲授，材料自学与课堂讨论六、教学内容概要：1微机械系统概述1.1微机械系统的产生和发展1.2微机械系统的定义及内涵1.3微机械系统与普通机械系统的差异1.4微机械系统的应用2微机械系统的材料学基础2.1微机械系统的结构材料2.2微机械系统的功能材料3微机械系统的制造技术3.1体微加工技术3.2表面微加工技术3.3键合3.4LIGA技术3.5纳米制造简介4微机械系统的敏感与致动原理4.1静电敏感与致动原理4.2压电敏感及致动原理4.3压阻敏感及致动原理4.4热敏感及致动原理4.5形状记忆合金敏感及致动原理5微机械系统的固体力学基础5.1弹性力学基础5.2振动力学基础5.3断裂力学基础6微机械系统的流体力学基础6.1连续介质流体力学基本方程及边界条件6.2流体力学中的尺度效应6.3微尺度液体流动6.4微尺度气体流动7微机械系统的传热学基础7.1传热学基本概念7.2传热学尺度效应8微机械系统的摩擦学基础8.1微机械系统中的微摩擦8.2微机械系统中的微磨损8.3边界润滑与分子膜润滑9分子动力学模拟技术9.1分子动力学的基本原理与应用9.2分子动力学主要技术9.3分子动力学计算结果分析9.4纳米切削过程的分子动力学模拟10微机械系统的封装与测试技术10.1微机械系统的封装等级10.2微机械系统的封装材料10.3微机械系统的封装方式10.4微机械系统的测试技术七、参考书1.（美）徐泰然（Tai-RanHsu）.MEMS和微系统——设计与制造.机械工业出版社，20042.温诗铸，黄平.界面科学与技术.北京：清华大学出版社，20113.周仲荣.摩擦学发展前沿.北京：科学出版社，20064.王国彪.纳米制造前沿综述.北京：科学出版社，20095.D.C.Rapaport.Theartofmoleculardynamicssimulation.CambridgeUniversityPress,NewYork,2004.