PRS故障维修手册20091228

志聖工業竹科分公司Plasma專案組PRS基本故障與排除1、PRS故障訊息2、故障原因排除一、PRS故障訊息FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排氣失敗！Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10second故障！總製程時間大於設定時間約10秒Fault:測漏----不合格!故障:測漏----不合格!FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue&P_RF_F&%故障！射頻反射功率大於設定值設定內容FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislargethansettingvalue&P_RF_F&%故障！射頻輸入功率大於設定值設定內容FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislessthansettingvalue&P_RF_F&%故障！設頻輸入功率小於設定值設定內容FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！壓縮空氣(CDA供壓)失敗！FAULT!MFC(&i&)flowislargethansettingvalue&P_GAS_F&%故障！質流控制器(MFC)流量大於設定值！FAULT!MFC(&i&)flowislessthansettingvalue&P_GAS_F&%故障！質流控制器(MFC)流量小於設定值！FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue&P_MKS_F&%故障！壓力(MKS)大於設定值！FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue&P_MKS_F&%故障！壓力(MKS)小於設定值！FAULT!PUMPsystemfail!故障！幫浦系統失敗！FAULT!WATERFLOWfail!故障！冷卻水流量失敗！Fault:CHAMBERLIDOPEN!故障！腔體門蓋開啟！Fault:ERROR_FLAGRISE故障！錯誤訊號發生！Fault:GASCONTROLERROR!故障！氣體控制錯誤！Fault:I7000DIMODULE(&(CH_LID\&H10000)&)ERROR!故障！I7000DI(數位輸入)模組錯誤!Fault:I7000DOMODULE(&(RV_VALVE\&H10000)&)ERROR!故障！I7000DO(數位輸出)模組錯誤!Fault:I7000(SMC)ERROR!故障！I7000(SMC)錯誤!Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!故障！射頻自動匹配錯誤!Fault:MACHINEINITALERROR!故障！匹配初始錯誤!Fault:MKS-CLOSE--ERROR!故障！MKS(節流閥)關閉錯誤!Fault:MOTORBREAKERROR!故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤!Fault:MOTORSETERROR!故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤!Fault:PUMPDOWNTIMEOUT!故障！抽氣時間過長!Fault:Pumptobasepressurefailed,initialtimeout!故障！抽至基楚壓力失敗，初始時間過長!Fault:READPRESSURE(MKS)--ERROR!故障！讀取壓力(MKSgauge)失敗!Fault:RFCONTROLERROR!故障！射頻控制失敗失敗!Fault:RotorSpeedreaderror!故障！轉子(旋轉模組)速度讀取失敗!Fault:SERVOPRESSUREERROR!故障！伺服壓力失敗!志聖工業竹科分公司Plasma專案組Fault:SETICP_RFPOWEROFFERROR.故障！設定射頻電源關閉失敗！Fault:SETICP_RFREMOTEMODEERROR.故障！設定射頻遙控模式失敗！Fault:SETICP_RFSECHOOFFERROR.故障！設定射頻回應關閉失敗！Fault:SETMOTORSTOPERROR!故障！設定馬達停止失敗！Fault:SYSTENINITALERROR!故障！系統初始化失敗！Fault:THROTTLEVALVEOPEN(100%)--ERROR!故障！節流閥全開失敗！故障原因與排除1.FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排氣失敗！原因:早期PRS於PUNP排氣端有加設EXHAUST(排氣)負(背)壓偵測，該負(背)壓需小於-0.02torr，該讀值可由PUMP排氣端SMCgauge上讀取。(目前該設置均已取消)處理:1.確認PUMP排氣端是否設有負壓偵測器，若有則檢查讀值是否正確，確認廠務EXHAUST是否開啟，調整gauge設定測試gauge是否正常。2.進入電腦程式系統，最高權限中『元件組合』項目，確認EXHAUST單元是否被勾選。2.Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10second故障！總製程時間大於設定時間約10秒。原因:因系統警告或軟體BUG造成製程動作延遲。處理:進行軟體修正BUG。3.Fault:測漏----不合格!原因:進行系統測漏程序，其結果超出設定時發出。處理:1.重新確認測漏條件，抽氣時間是否設定太短，漏率標準是否太高。2.檢查腔體內是否清潔，O-ring是否破損。4.FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue故障！射頻反射功率大於設定值原因:射頻反射功率達到程序項目內設定之警告值。處理:1.腔體污染，請清潔腔體。2.程序項目內參數異常，請檢查a.RFReflectivepower設定百分比過低！b.程序間延遲時間(delaytime)過短！c.子程序順序錯誤3.RFcable鬆脫、斷線或短路。4.Matcherboxmatching異常，Coil銅線鬆脫、斷線、短路或氧化。5.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislargethansettingvalue故障！射頻輸入功率大於設定值原因:射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理:1.使用dummyload進行射頻產生器(RFGenerator)輸出功率測試。志聖工業竹科分公司Plasma專案組2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。6.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislessthansettingvalue故障！設頻輸入功率小於設定值原因:射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理:1.使用dummyload進行射頻產生器(RFGenerator)輸出功率測試。2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。7.FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！壓縮空氣(CDA供壓)失敗！原因:GASbox內CDA壓力偵測器達到警告值。處理:1.檢查廠務供氣是否正常。2.檢查管路是否阻塞。3.檢查CDA壓力偵測器是否正常。8.FAULT!MFC(&i&)flowislargethansettingvalue！故障！質流控制器(MFC)流量大於設定值原因:質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理:1.將供氣手動閥關閉，MFC流量設定至全開，抽真空後，將MFC歸零後再開啟手動閥測試。2.更換MFC。9.FAULT!MFC(&i&)flowislessthansettingvalue！故障！質流控制器(MFC)流量小於設定值原因:質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理:1.檢查廠務端供氣是否正常。2.檢查手動閥、氣動閥、電控閥件是否動作正常。3.將供氣手動閥關閉，MFC流量設定至全開，抽真空後，將MFC歸零後再開啟手動閥測試。4.更換MFC。10.FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue故障！壓力(MKS)大於設定值！原因:CT1壓力(MKSGauge)讀值大於程序內部設定之警告值。處理:1.腔體污染，內含過量粉塵或水氣，請清潔腔體。2.PUMP抽氣效率不良，測試PUMP底壓。3.腔體或氣體管路漏氣，請更換O-RING或GASKEY。11.FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue故障！壓力(MKS)小於設定值！原因:CT1壓力(MKSGauge)讀值小於程序內部設定之警告值。處理:1.廠務端氣體未開或供氣不足。2.MFC下方氣動閥未開啟，檢查氣動閥動作或CDA供氣是否正常。3.MFC或腔體或氣體管路阻塞，請檢查管路。志聖工業竹科分公司Plasma專案組12.FAULT!PUMPsystemfail!故障！幫浦系統失敗！原因:系統啟動時PUMP上方SMCvacuumswitch未達到設定值(-700mmhg)處理:1.檢查PUMP有無起動，冷卻水是否開啟，水流量感測器是否正常。2.檢查真空開關是否歸零，PUMP抽氣是否達到設定值。13.FAULT!WATERFLOWfail!故障！冷卻水流量失敗！原因:系統啟動時冷卻水流量未達到設定值處理:1.檢查廠務冷卻水是否開啟。2.檢查PUMP或系統冷卻水是否開啟。3.檢查水流量感測器是否正常。14.Fault:CHAMBERLIDOPEN!故障！腔體門蓋開啟！原因:系統啟動時腔體門未關閉。處理:1.檢查腔體門是否關閉。2.檢查腔體上方兩顆安全開關動作是否正常。15.Fault:ERROR_FLAGRISE故障！錯誤訊號發生！原因:系統發生錯誤訊號。處理:1.檢查錯誤訊號發生原因。16.Fault:I7000DIMODULEERROR!故障！I7000DI(數位輸入)模組錯誤!原因:DI(7053)數位控制模組異常。處理:1.檢查所有數位模組燈號、電源(24V)是否正常。2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。17.Fault:I7000DOMODULEERROR!故障！I7000DO(數位輸出)模組錯誤!原因:DO(7043)數位控制模組異常。處理:1.檢查所有數位模組燈號、電源(24V)是否正常。2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7043)數位模組是否正常。18.Fault:I7000(SMC)ERROR!故障！I7000(SMC)錯誤!原因:SMC數位控制異常。處理:1.檢查所有SMC控制訊號是否正常。志聖工業竹科分公司Plasma專案組2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。19.Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!故障！射頻自動匹配錯誤!原因:射頻匹配器無法自行匹配。處理:1.檢查匹配器內電容及馬達動作是否正常。2.檢查匹配器電源是否正常。3.檢查匹配器控制模組是否正常。20.Fault:MACHINEINITALERROR!故障！匹配初始錯誤!原因:射頻匹配器無法連接。處理:1.檢查匹配器電源是否正常。2.檢查匹配器訊號線是否連接21.Fault:MKS-CLOSE--ERROR!故障！MKS(節流閥)關閉錯誤!原因:MKS(節流閥)無法關閉處理:1.檢查MKS(節流閥)動作是否正常。22.Fault:MOTORBREAKERROR!故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤!原因:(旋轉模組)馬達損壞！處理:1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。23.Fault:MOTORSETERROR!故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤!原因:(旋轉模組)馬達設置錯誤！處理:1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。24.Fault:PUMPDOWNTIMEOUT!故障！抽氣時間過長!故障！抽氣時間過長!原因:AUTORUN時腔體後SMC真空開關未達設定值