C4报警信息大全

C4机台报警汇总Fuse报警020F16FusestatusMainPCB上保险丝状态（位置在PLC下面，可对照旁边对照表查看，正常时指示灯亮红色，如不亮，请更换保险丝），如出现多个不亮，不一定是保险丝异常，请查看有无其他报警，如氢气泄漏016F12Fusestatus017F13Fusestatus018F14Fusestatus019F15FusestatusHardWare报警001Facilitystatus（HW）设备预留报警当出现后缀为HW的报警时，SDASIDEA位置门上的三个蓝色指示灯会亮起，按下即可消除。一般出现在重启PLC或机台开机时或是转动了lockout处的钥匙021H2Detector（HW）氢气泄露022ToxicGasDetector（HW）毒气泄漏023CabinetVentilationSIDEA（HW）排风报警024CabinetVentilationSIDEB（HW）排风报警025SDADoutPowerStatus（HW）SDA数字信号输出电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）026ReactorA/BDoutPowerStatus（HW）反应室数字信号输出电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）028ReactorA/BLockout-Tagout（HW）反应室自锁080ReactorOverpressure(HW)反应室过压气体压力报警030CDAPressureLowSDAChamberSDA处的SG30压力表压力低确认外围气压是否正常，异常通知动力，如正常手动调节机台调压阀（硅烷压力低，请查看对应气柜压力是否正常。1#硅烷供C4-5和UPQSZ炉；2#硅烷供C4-1/2和RTX炉；3#硅烷供C4-3/4，1#和2#硅烷连通阀在U炉旁边的VMB，2#和3#硅烷连通阀在L炉后面的VMB033ReactorA/BLFN2PressureLow低流量氮气管道压力低SG33压力表036BubblerN2PressureLow源氮气压力低SG36压力表037BubblerMainfoildPressureLow源载气压力低SG37压力表（如果SG36压力表正常，请确认AV-10是否开启）038ReactorA/BH2PressureLow氢气压力低SG38压力表042CenterPurgeNH3PressureLowCP氨气压力低，SG42压力表043ReactorA/BNH3HFPressureLow大流量氨气管压力低SG43压力表045SiH4PressureLow硅烷压力低SG45压力表032ReactorA/BHFN2PressureLow大流量氮气压力低SG32压力表RCA位置水流量报警052HeaterBaseCoil#2H2OFlow#2Alarm加热基板冷却水流量低报警PCW水流量异常1：确认常务循环水压正常，大于4.2mpa，如果水压低，通知厂务，调节水压2：当水流值低于报警值时，通过调节水流量计的旋钮可以增加水的流量。如果调节不了大小，拆下流量计清理，查看是否有堵3：查看管道是否有漏有堵053HeaterBaseCoil#1H2OFlowAlarm转轴冷却水水流量低报警054Baseplate/BottomFlange/Pyroport底座/法兰/RT探测窗口冷却水流量低报警055ExhaustH2OFlowAlarm反应室尾气排放端口冷却水低报警056(Ferro)SpindleMotorH2OFlowAlarmSpindle马达水流量低报警057CoolingBandH2OFlowAlarm反应室冷却带水流量低报警058ElectrodesFlowAlarm电极冷却水水流量低报警059SpindleH2OFlowAlarm转轴冷却水水流量低报警060Coldeplate3-4FlowAlarm冷板水流量低报警Chiller水流量异常1：确认chiller水箱水位是否满足要求，水位应高于low刻度线。2:确认水流量计是否有堵：如果水流量低于报警值，而无法调节水流量计大小，拆下流量计查看是否有堵061Coldeplate1-2FlowAlarm冷板水流量低报警062ShutterFlowAlarmShutter水流量低报警075ConfinedInletFlowAlarmCIF水流量低报警其他051PLCShutdown(PushButtonSwitch)PLC宕机091ProcessPumpExhaustOverpressure尾气出口过压（检查负压抽风是否正常，以及尾气管道是否有堵）092ProcessPump#1StoppedEbara泵停掉098HN2PressureLowRARemoteEbara泵氮气压力低（house氮气）113FlowFlangeCoolingFault反应室顶盖法兰冷却出错（检查chiller信号线接头）114PSSpillsensor电源箱处漏水118InnerPIDCtrlAlarmPID控制错误报警（检查电极电阻、电极螺丝是否松动）119MiddlePIDCtrlAlarm120OuterPIDCtrlAlarm121RealTempAlarm(Future:Use)RT电脑报警193SystemActiveAlarmPLC报警194ReactorA/BActiveAlarm196SystemInShutdown197ReactorA/BInShutdown199ReactorA/BWatchdog200ReactorA/BCoolingOk(PLCDin)（一般chiller开启后就能消掉）221SpindleMotorFaultReactorA/B反应室转轴马达异常222PyroDifferentialTempReactorA/BPyro温差报警223BaratronReactorA/BOverpressure反应室过压225RTDControllerInnerOvertempRTD控制器过温报警（检查电极铜块是否异常，电极螺丝是否松动，电阻是否正常）226RTDControllerMiddleOvertemp227RTDControllerOuterOvertemp228ReactorA/BInnerPIDControllerCommFault加热丝PID控制器通讯出错229ReactorA/BMiddlePIDControllerCommFault230ReactorA/BOuterPIDControllerCommFault244PyroInnerOvertempReactorA/BPYRO里圈过温报警253ProcessDeviation–AlarmRA/B过程偏差报警254ReactorPIDCommFault(comp)反应室PID通讯出错255ReactorA/BPyro/SekidenkoCommfault反应室Pyro控制器通讯出错256ReactorA/BRealTempCommFault反应室RT电脑通讯出错261ReactorDifferentialSealOverpressureDOR过压（C4机台299torr）262PLCCommunicationFaultPLC通讯出错叉子常见异常TMAUTOMODESWITCHINTERLOCKROBOT控制模式开关互锁，伴有蜂鸣将robotswitch转至off，然后再转至AUTO，然后在界面上restedmoudleARMAutoseqrobotpick/place,robottimeout,abortingSequence机械手信号掉线确认叉子是否在VTS内，然后退出CTC和TM软件，重启TM电脑，完成后resetmoudle并消除“？”sequencearmsequencematchchamberpressurepick/placehasbeenabort传盘时压力不平衡报警将报警消掉（将红色的按钮点成灰色），然后将需要互相传盘的两个腔体间的压力抽冲至平衡状态，再手动传盘Cannotopeniso，duetoPressureareimbalance传盘时压力不平衡报警在准备传盘时，瞬间压力有波动，导致叉子异常，一般压力稳定后，又能继续传盘无报警，传盘时，TM界面一直停留在平衡压力的时候，而压力也无变化（C4-5出现多次）。将当前的传盘动作结束掉，手动平衡腔体间压力，再传盘cannotplacetoprocessmoudle1/2/3/4-unsafetoopenisolationvalve开门阀不安全，不允许传盘确认是否处在IDLE状态PM1/2/3/4notinitialized未完成初始化确认shutter升降是否正常生长完机台回不了idle1：确认RT里、中、外三圈温度是否低于4502：确认shutter是否有降下或低位sensor是否亮起3：确认反应室压力是否低于15torr无法runrecipe1：确认系统处在idle状态2：确认MO源无报警3：确认reactorcooling水温正常4：确认石墨盘颜色正常5：确认程序编写正确其他cannotrunrecipesincesourceweightofthebubblerareinalarmlevel（MO源低于报警值）除镁源外，其他需要两个腔体停下修改净重ConfigurableTCtemperatureismorethan85C（反应室循环水温度过高）检查热偶是否旋紧，PCW或chiller水温是否异常（chiller供给顶盖50循环水，PCW在18-20度）