04宋春艳――降低PECVD工序产生的不良

降低PECVD工序产生的不良部门：生产制造部组长：孟小龙小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗日期：2010.07.05目录1、小组信息2、问题定义/改善主题和目标设定3、现状分析4、真因分析及验证5、对策拟定与实施6、效果确认7、持续改善及效果评估8、防止再发、标准化与认知9、残余及潜在问题1、小组信息组名：PE之星组长：孟小龙小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗。小组目标：将PE碎片率降低到0.13%以内，PE崩边降低到0.02%。部门：生产制造部起止日期：2010.4.14-2010.6.252.问题定义/改善主题和目标设定问题描述及目标：分类描述问题描述PE会产成大量碎片和隐裂，到丝印第一道就会形成碎片导致丝印碎片率升高，后检测同样产生大量的PE崩边影响整体合格率。现状三月份碎片率0.35%，崩边率0.14%，与目标碎片率0.13%、崩边率0.02%差距很大。目标六月份结束要达到碎片率降到0.13%，PE崩边降低到0.02%。差距达到理想碎片还需要降低0.22%，崩边率降低0.11%2.问题定义/改善主题和目标设定问题定义：5W2H分析所要改善主题的描述（5W2H）What？降低PECVD工序产生的不良Who？组长：孟小龙。组员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、高东岗When？2010.04-2010.06Where？PE工序Why？改善效益、提升品质How？制定标准作业流程，改善设备状况Howmuch？0.13%3.现状分析数据分析：PE碎片率0.35%（2.25-3.25）0.00%0.10%0.20%0.30%0.40%0.50%0.60%2-252-273-13-33-53-73-93-113-133-153-173-193-213-233-25碎片率0.00%0.05%0.10%0.15%0.20%0.25%0.30%3.253.263.293.303.314.014.044.054.064.074.104.114.124.13崩边率PE崩边率0.16%（3.25-4.13）PE崩边0.00%0.10%0.20%0.30%0.40%0.50%0.60%0.70%0.80%0.90%1.00%碎片率丝印碎片率0.60%（3.25-4.14）数据分析：3.现状分析丝印上料台3.现状分析现状分析：5W2H分析PE产生不良高（5W2H）When？PE工序生产时，包括插片、卸片Where？PE工序What？PE工序生产时造成的碎片，PE崩边Why？动作不规范、石墨舟清洗不及时卡点换的不合格。Which？观察员工动作、收集数据How？从规范PE工序内工的动作着手，制定石墨舟的合理清洗流程Howmuch？三月碎片率0.35%，崩边率0.14%4.真因分析及验证碎片种类定义产生原因吸片掉片插片、卸片及其他需要吸笔移动硅片的过程中，操作不当导致的掉片人工碎片插片碎片插片时动作不稳定，用力不当或碰撞导致碎片卸片碎片卸片时动作不稳定，用力不当或碰撞导致碎片卸片隐裂运行工艺之前，有损伤的硅片，经炉内高温后，成为隐裂或碎片，直到卸片时被发现测试膜厚碎片测试过程中，动作不稳定，导致碎片上/下料掉片由于人为原因，未将硅片固定于卡槽内，导致上、下料时硅片被设备净化风和热排风吹落花片无法返工的镀膜不良设备碎片吸笔掉片吸笔故障，吸力不足导致掉片卡点掉片石墨舟卡点安装不标准或卡点松动，硅片无法在石墨舟内固定卡点碎片石墨舟卡点磨损变深（表现为卡点过大），导致插片或卸片时，硅片与卡点之间摩擦力过大而导致碎片舟硅片出炉后发现的碎片（硅片尚未受到卸片操作的外力作用）按碎片原因分类：碎片分类按碎片原因分类数量比例总计所占比例来料隐裂8424.56%8424.56%人为吸片掉片19657.31%73.57%插片7236.73%卸片9950.51%测试膜厚52.55%上/下料掉片73.57%花片63.06%设备吸笔掉片6218.13%34.83%卡点掉片2219.35%卡点碎片2829.03%舟946.77%4.真因分析及验证碎片统计（4.21-5.04）：PE碎片构成4.真因分析及验证卡点未及时更换或者更换不合格设备碎片高员工动作不标准人为碎片高不标准动作4.真因分析及验证PE不良人法物.料机动作不标准厚薄不均石墨舟卡点更换不标准隐裂多速度过快没有标准作业流程石墨舟使用次数过多地面不平安排不合理吸笔吸力不足疲劳原因分析人动作不标准观察动作，确定合理动作速度过快实行标准工时插片时间不得低于10min/批，卸片不得低于4min/批，严格执行疲劳合理安排，杜绝浪费机吸笔吸力不足建立吸笔磨损笔记，定时更换卡点更换不合格跟踪卡点磨损程度，2月更换石墨舟清洗不及时100次清洗地面不平推车小心，地面磨平物、料隐裂多追查原因，严抓等刻厚薄不均前检投入严格控制法没有SOP建立SOP安排不合理确定工作顺序，杜绝工作时快时慢。4.真因分析及验证5.对策拟定与实施实施计划及方案：第一步：观察工序内工作时的动作，确定最科学合理的工作动作。统一操作工的操作动作，编写成SOP，作为以后培训员工的标准。第二步：确定标准工时，规定插片时间不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批，并严格执行。编号实施项目责任人1规范PE插片卸片方法孟小龙、杜延朝、宋春燕、姚立彬2合理的石墨舟清洗杜延朝、宋春燕、姚立彬3规定PE插片速度及卸片速度孟小龙、杜延朝、宋春燕、姚立彬4石墨舟卡点磨损记录杜延朝定时更换卡点时间的确定跟踪石墨舟结果：使用时间卡点最大磨损深度0.5个月（图1）0.531个月（图2）0.741.5个月（图3）1.142个月（图4）1.48结论：为避免卡点过大造成B级片，卡点需每两个月更换一次。图一图四图三图二石墨舟状态代表符号数量石墨舟状态代表符号数量正常使用正常使用16修理（卡点、舟片）待清洗（使用中）0烘干饱和4停用清洗4数量石墨舟状态查检表班次：B02上次时间下次时间上次时间下次时间1正常使用83/127/12正常2003/117/10正常3正常使用84/258/25正常22正常使用74/227/22正常4正常使用413/47/4正常24正常使用393/157/15正常503/56/15正常32574/238/23正常7正常使用284/248/24正常33正常使用744/238/23正常874/258/25正常34正常使用714/28/2正常10正常使用284/88/8正常3573/318/11隐裂12正常使用724/218/21正常37正常使用584/148/14正常14正常使用493/147/14正常38正常使用893/167/7正常15374/78/7正常3903/147/142隐裂16正常使用544/218/21正常42正常使用414/208/20正常1703/207/21正常4119正常使用234/228/21正常30共计：26舟号状态运行次数换卡销时间舟片状况舟号状态运行次数换卡销时间舟片状况石墨舟查检表：合理的清洗程序：时间轴正常使用清洗烘干饱和待饱和0H24000024H20400036H20040042H20002248H20402054H20400060H200400每个舟饱和需要3H下班前饱和刚上班时饱和饱和舟上班3H时后可用舟号12、14、16、42、3、7、19、33、1、35、39、4、应有循环3、班放入清洗机3、20B班上班时放入烘干机3、20B班下班前放入机器完成12、14的饱和3、21C班上班时放入机器饱和16、423、21C班放入清洗机3、21A班上班时放入烘干机3、21A班下班前放入机器完成3、7饱和3、22C班上班时放入机器饱和19、333、22C班放入清洗机3、22A班上班时放入烘干机3、22A班下班前放入机器完成1、35饱和3、23B班上班时放入机器饱和39、4舟号10、15、32、20、22、24、38、8、37、12、14、16应有循环3、23B班放入清洗机3、23C班上班时放入烘干机3、23C班下班前放入机器完成10、15饱和3、24B班上班时放入机器饱和32、203、24B班放入清洗机3、24C班上班时放入烘干机3、24C班下班前放入机器完成22、24饱和3、25A班上班时放入机器饱和38、83、25A班放入清洗机3、25B班上班时放入烘干机3、25B班下班前放入机器完成37、12饱和3、26A班上班时放入机器饱和14、16实施项目4月第一周4月第二周4月第三周4月第四周5月第一周5月第二周5月第三周5月第四周6月第一周6月第二周6月第三周6月第四周规定各班清洗石墨舟的时间和数量确定不良片的返工工艺，并进行返工制作PECVD工序插片SOP做石墨舟6小时和8小时烘干对比实验及8小时和10小时烘干对比实验确定石墨舟清洗，烘干工艺建立石墨舟查检表，并每天检查跟踪新换卡点的石墨舟，确定卡点更换周期时间。维修保养石墨舟及时更换石墨舟卡点优化返工流程，将产生的不良片进行返动作观察及分析通过观察发现车间普遍的几种取片方法:平持法（图一）竖持法1（图二）竖持法2（图三）•平持法动作分解：插进吸片提拉反转放片插进吸片提拉放片竖持法1动作分解：竖持法2动作分解：插进吸片提拉放片动作观察及分析•平持法因其多余动作多，产生过多的崩边片和碎片所以此种取片方法不合理。竖持法，因其优点多是一种科学合理的取片法。•为配合目前生产线上线痕片的产出，需要规范在线员工的取片方法，竖持法1和竖持法2都是科学的，但是两种取片法，取出的线痕方向不一致。如图（7）（8）红线表示线痕方向。目前如图（8）的取片方法的人数多，所以建议规定竖持法2为标准的取片法。图7图8动作观察及分析3月份未统一规范动作时的碎片率0.35%4月份为0.24%，统一取片方法。5月份为推广规范动作的碎片率为0.15%6月份为实行标准工时的碎片率为0.12%6.效果确认丝印碎片率由4月份0.60%，到5月份0.40%，到6月份0.32%6.效果确认7.持续改善及效果评估•三月份PE平均碎片率0.35%，六月份为0.12%，降低了0.23%。PE崩边由三月份的0.14%降低到六月份的0.02%，降低了0.12%。以月产160万，合格率每片A级片25元，B级片10元计算，降低后每月碎片增加成品利润92000元，崩边增加28800元。总共增加120800元，一年增加1449600元（降低碎片后的每一片都是纯利润）。•七月份持续改善，目标降低至0.10%8.防止再发、标准化与认知1、根据分析制定了《PECVD插片标准作业》《PECVD卸片标准作业》《PECVD膜厚与折射率测量标准作业》《PECVD上下料标准作业》《石墨舟清洗流程》《PE返工流程》2、推行标准工时制：插片速度不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批。3、做好员工的员工的培训，保证每员工都按照标准作业工作。9.残余及潜在问题1、标准作业的持续改善。2、因地面而造成大量石墨舟损毁及碎片。3、意外碎片的防止。谢谢达到目标，小组祝贺！！！！