静电放电防护(ESD)-行政要求

1ESD管制方案－行政要求ESD管制方案－行政要求2＊此方案的主要目標是提供連續的ESD防護。＊應把人員安全列入主要考量。＊應包含行政要求(7)及技術要求(8)。＊應依方案對所要處理的物件“最敏感程度”予以文件化。＊組織應建立／文件化／實施／維持／查證此方案的符合性。＊組織應指派一位ESD管制方案經理或協調員。＊若S20.20有不適用條文，通過評估後，可增加／修改／刪除不適用處於方案內（並說明理由）說明31.ESD管制方案：ESDCONTROLPROGRAM2.ESD防護不能違反或取代人員安全的任何要求3.只要人員會與電源相接觸的地方，應採用接地斷線器（GFCI）和其他安全保護措施有效建立ESD管制方案的原則4一、指派ESD經理(協調員)與建立ESD團隊。二、評鑑組織、設施、流程及損失。三、建立和寫下ESD管制方案計畫。四、訂出排除理由並獲高階管理階層支持。五、訂出訓練計畫。六、發展並落實符合性查證計劃。說明51.指派ESD經理(協調員)與建立ESD團隊ESD經理(協調員)的職當為發展／預算管制／管理ESD管制方案ESD團隊包含各部門／功能或供應商2.評鑑組織，設施，流程及損失了解在ESD上，工作環境及其衝擊由損失及敏感性資料來評估ESD設施寫下流程，觀察人物動線及地區進行完整的設施調查或稽核量測人／設備／物料，鑑別靜電場決定ESD造成損失的程序並紀錄DOA/RMA/FQC…失效的實際與潛在ESD損失由外部資源或PILOTRUN獲得資料預估實施ESD方案節省成本鑑別ESDS說明63.建立和寫下ESD管制方案計畫包含方案的範圍，作業／活動／流程／程序準備與分發所寫的程序與規範4.訂出排除理由並獲高階管理階層支持承諾與ESD政策定期重新確認5.訂出訓練計畫訓練與再訓練6.發展並落實符合性查證計畫(持續地審查/稽核/分析/回饋及改善)有效確保ESD管制方案的成功-稽核持續鑑別從方案調查後的回收資料技術提升可以改善及修改ESD方案回饋給相關人員及高階主管強化管理承諾並向管理階層報告定期評估方案並稽核ESD管制方案計劃(REF.S20.207.1)7＊包含對S20.20所有要求都列出。＊與組織的ISO9001QMS結合成為其中之一部分。＊要隨技術／工藝／流程的進展改變此計畫。＊發展“計畫”的步驟1)決定零組件/設備/流程的敏感度2)導入ESD管制方案衝擊流程/組織的初步評鑑3)文件化ESD管制方案並界定其範圍4)建立之後，確保計畫內的ESD管制物料/流程/程序符合現況，並確保組織及ESDS物料供應廠商已落實方案說明8所謂在ESD管制方案計畫中包含對S20.20所有要求都列出，這些要求包括：1)訓練2)符合性查證3)技術要求(接地/等電位接線系統，人員接地，EPA要求，包裝系統，標示)說明9描述“ESD管制方案計畫”要有：a)方案範圍b)保護ESD敏感件所需的工作/作業/程序c)鑑別組織中對保護ESD敏感件所需的工作/作業的責任d)列出方案所用到的指導或參考文件e)特定形式的ESD保護材料及設備f)零組件/設備ESD敏感度的評鑑但其他項目也可以列入，如：g)ESD敏感度的零組件/設備h)組織職掌i)組織與供應商/委外加工廠的角色與責任j)ESD方案的有效性k)運用方案資料與文件的方式l)核可的ESD管制產品及物料名冊m)失效分析流程n)監視產品良率及流程的策略，用以決定ESD管制措施的有效性O)處置靜電失效元件方式……………說明101.方案等文件與紀錄管制-4.2.3/4.2.4ESD稽核-8.2.2ESD審查-5.6靜電壓表，表面阻抗計…監視與量測裝置管制-7.6ESD設施維護與作業環境-6.3/6.4SMT/治工具ESD檢測確認-6.3/6.4IC倉管理…-7.5.5ESD採購與查證-7.4因ESD造成的不良品-8.3ESD資料分析-8.4ESD訓練-6.2ESD改善與目標提昇-5.4/8.5訓練計畫(REF.S20.207.2)11＊訓練應包含：初訓及複訓＊科目應包含：ESD認知及預防訓練＊對象應包含：處理或接觸任何ESDS件的所有人員＊人員接觸處理ESDS物件前應接受過初訓＊應訂出訓練頻率及形式＊應規定人員訓練紀錄的存放場所並維持該紀錄＊組織自訂使用的訓練方法，但對其訓練的評估應客觀符合性查證計畫(REF.S20.207.3)12＊建立此計畫以滿足ESD管制方案計畫的技術要求＊應依此計畫規定頻率與量測規格界限進行流程監控（量測）＊計畫應寫下流程監控（量測）所用方法及設備＊若方法與ESDS20.20所列參考標準不同，應於計畫內說明＊維持查證紀錄＊所選定的測試設備應有足夠能力進行計畫內的查證作業說明131.依據此計畫進行正式稽核或查證，可以有A)方案管理稽核B)作業流程/活動每日點檢C)工作場所定期檢測D)新購ESD物品檢測2.一旦訂好技術要求，為了ESD稽核的一致性，稽核查檢表亦要建立3.建立定性或定量歷史資料，以利於趨勢分析，並可作為建立稽核頻率及矯正措施計畫如：程序修正，人員再次訓練，現有設施修改；必要時對ESDS硬體的潛在衝擊採取預防措施說明144.稽核後，落實稽核不符合的矯正措施（可以ISO90018.2.2/8.5.2內部稽核整合）5.有必要於組織內指派一組人員，負責符合性查證計畫，這些有，如：a)新流程/新產品正式於生產線啟用前，首次ESD驗證b)依據ESD方案計畫的技術要求，建立欲被稽核之項目c)對每一個技術要求決定稽核檢查頻率d)執行流程稽核e)記錄下ESD方案不符合事項/矯正措施報告(CAR)及後續查證f)準備稽核報告並分送相關單位g)分析稽核結果(趨勢分析)，與目標比較展現改善方案績效6.ESD查證的環境溫溼度範圍以工作環境涵蓋為主，依照ESD相關標準，溫度為23±3℃，溼度12±3%RH及50±5%RH，並於檢測前放置一段時間（EX.靜電椅約48小時(seeESDSTM12.1）有效的ESD稽核/驗證要素15＊文件化且已經界定好的SOP，CHECKLIST，PLAN……＊資源及特定檢測設備備妥，如：表面電阻計，靜電壓計，高阻計……＊範圍：所有地區／人／流程／物料／程序（見ESD方案）＊稽核頻率＊維持稽核結果的趨勢分析圖表／CAR／報告……＊有效落實CAR說明161.建議最少進行1次／年ESD稽核/查證，依據不同的稽核／查證活動訂出其頻率。2.查證活動的頻率規定如：（REF.JESD625ASECTION6.1）每日：靜電防護手環，ESD保護鞋，個人ESD防護衣物（目視檢查)每週：ESD防護工作站，靜電地板，ESD接地（目視檢查）每月：EPA區工作站靜電壓量測（≦1000VOLT/12“）每季：工作桌面，靜電地板，手環檢視器，ESD連續監視器量測半年：離子風扇一年：ESD系統稽核