制造部常用英文单词词

MFG常用英文单字Semiconductor半导体导体、绝缘体和半导体主要依据导电系数的大小，决定了电子的移动速度。导体：金、银、铜、铁、人、水……导电系数大，传导容易绝缘体：塑胶、木头、皮革、纸……导电系数小、传导不容易半导体硅中加锗、砷、镓、磷……平时不导电加特定电压后导电CleanRoom：洁净室在半导体厂引申为从事生产活动的地方，也就是我们所说的FAB。Wafer芯片或晶圆原意为法国的松饼，饼干上有格子状的饰纹，与FAB内生产的芯片图形类似。Lot批一批芯片中最多可以有25片，最少可以只有一片。ID：Identification的缩写用以辨识各个独立的个体，就像公司内每一个人有自己的识别证。WaferID：每一片芯片有自己的芯片刻号，叫WaferID。LotID：每一批芯片有自己的批号，叫LotID。PartID：各个独立的批号可以共享一个型号，叫PartID。WIP：WorkInProcess，在制品从芯片投入到芯片产品，FAB内各站积存了相当数量的芯片，统称为FAB内的WIP。一整个制程又可细分为数百个Stage和Step，每一个Stage所堆积的芯片，称为StageWIP。PM：PreventionMaintenance预防保养：机器经过一段时间连续生产，必须更换部分零件或耗材，而中止生产交由设备工程师维修，便叫PM，异常状况下当机而中止生产不同。PM的间隔依机台特性而各有不同，有的算片数或RUN数，有的固定每周每月。想象汽车每隔5000/10000公里要换机油、检查各部位的零件，道理一样。LotPriority：每一批产品在加工的过程中在WIP中被选择进机台的优先顺序。BulletLot/SuperHotLot(SHL)优先顺序为1，视为等级最高，必要时当Lot在上一站加工时，本站便要空着机台等待。HotLot(HL)优先顺序为2，紧急程度比BulletLot/SuperHotLot(SHL)次一级。DelayLot优先顺序为3。NormalLot优先顺序为4，视为正常的等级，按正常的派货C/DWafer优先顺序为5。Cycletime：生产周期FABCycleTime定义为：从芯片投入到芯片产生的这一段时间。StageCycleTime：Lot从进站等候开始到当站加工后出货时间点截止。Spec.：规格Specification的缩写。产品在机台加工过程中，每一站均设定规格。机台加工后，产品或控片经由量测机台量测，该产品加工后，是否在规格内。若超出规格﹝OutofSPEC﹞，必须通知组长将产品Hold，并同时通知制程工程师前来处理，必要时机台要停工，重新monitor，确定量测规格，借以提升制程能力。SPC：StatisticsProcessControl统计制程管制透过统计的手法，收集分析资料，然后调整机台参数设备改善机台状况或请让机台再处理每一批产品时，都能接近规定的规格，借以提升制程能力。OI：OperationInstruction操作指导手册每同一型号的机台都有一份OI。可以共享一份OI。OI含括制程参数、机台程序、机器简介、操作步骤与注意事项。其中操作步骤与注意事项是我们该熟记的部分。TECN：TemporaryEngineeringChangeNotice临时工程变更通知。因应客户需求或制程规格短期变更而与O.I.所订定的规格有所冲突时，由制程工程师发出TECN到线上，通知线上的操作人员规格变更。所以上班交接之后，第一件事应先阅读TECN并熟记，阅读后并要在表单上签名。TECN既为短暂，就必须设定期限，过期的TECN必须交由组长，转交Key-in回收！Q：当O.I.与TECN有冲突时，以哪一个为标准？ECN：EngineeringChangeNotice工程变更通知。没有时间期限，可以更新，需要签名。PN：ProductionNotice制造通报。凡OI未规定之范围，或已规定但需再强调所及的临时性通知最长为期一个月，需经制造部副理签核过。PN也是每天一上班交接后必读的资料，需签名，列入Audit项目。Logsheet记录纸：记录机台数据供工程师查询，一般作为OI附件，要使用最新版本。Yield良率=当月出货片数/当月出货片数+当月报废片数良率越高，成本越低。当月出货片数良率=当月出货片数+当月报废片数AMHS(AutomaticMaterialHandlingSystem)：自动化物料传输系统。FAB内工作面积越来越大，且放8寸芯片的POD重达5.8公斤左右，利用人力运送的情况要尽量避免，再则考虑FABWIP的增加，要有效追踪管理每个LOT，让FAB的储存空间向上发展，而不至对FAB内的AirFlow影响太大，所以发展AMHS。有人称呼AMHS为Interbay或是OverheadTransportation。广义的AMHS，应包含Interbay和Intrabay。ProcessandEquipmentProcess：以化工反应加工、处理。FAB内芯片加工包含了物理和化学反应。ProcessEngineering叫做制程工程师，简称为P.E.简单称为制程。Equipment：机器设备的统称，泛指FAB内所有的生产机台与辅助机台。EquipmentEngineering叫做设备工程师，简称为E.E.简单称为设备。EAP+MFG+P.E+E.E.构成FAB内基础Operation。O.I.是四者共同的语言，最高指导原则。Bay：由走道两旁机器区隔出来的区域。FAB内的Bay排列在中央走道两旁，与中央走道构成一个「非」字型，多条Bay可以拼成一个Area。Area区域：某一特定的地方。在FAB内又可区分为以下的几个工作区域，每一个区域在制程上均有特定的目的。PHOTOAREA–黄光区ETCHAREA–蚀刻区WAFERSTARTAREA–芯片下线区WATAREA–芯片允收测试区SPUTAREA–金属溅镀区Recipe：程序：当wafer进入机台加工时，机台所提供的一定步骤，与每个步骤具备的条件。机台的Recipe则记录Wafer进机台后要先经过那一个Chamber(反应室)，再进入那一个Chamber。每一个Chamber反应时要通过那些气体、流量各多少？当时Chamber内的温度压力、反应时间应该控制在那一个范围。Discipline：简单称之为『纪律』泛指经由训练与思考，对群体的价值观产生认同而自我约束使群体能在既定的规范内达成目标，与一般的盲从不同。制造部整体纪律的表现，可以由FAB执行6S够不够彻底和操作错误多少作为衡量标准！FAB内整体的纪律表现，可以反应在Yield上。ProductionWafer产品:客户需要的产品Controlwafer：控片控片进机台加工后，要经过量测机台量测，测量后的值可以判定机台是否处在稳定的，可以从事生产或RUN出来的产品是否在制程规格内，才决定产品是不是可以送到下一站，还是要停下来，待制程工程师检查。控片使用一次就要进入回收流程。DummyWafer：挡片挡片的用途有2种：﹝1﹞暖机﹝2﹞补足机台内应摆芯片而未摆的空位置。挡片可重复使用到限定的时间﹝RUN数、厚度…﹞后，再送去回收。ENGWafer:工程师做实验用的芯片Alarm：警讯机台经常会送出一些AlarmMessage，告诉操作人员当时机台不正常的地方。透过设备工程师的处理，将机台恢复正常可以生产的状态。部分Alarm并不影响生产，只是一个警告讯号，严重的Alarm，会将机台停下来。不论是哪一种Alarm制造部操作人员都应将讯息转告工程部人员，不能私自处理。Move：产量FAB以芯片的MOVE作当天生产结果的MOVE有Stagemove、stepmove、locationmove或layermove，大致上我们会以Stagemove加上stepmove去计算各区的表一个Lot，如果有25pcs，当天移动3个stage的话，则该Lot当天的MOVE量为75pcs。如果这三个Stage内有12Steps再加上第四个Stage﹝已过了2个step，尚有1个stepmove未过﹞，则该Lot当天stepmove为25*﹝12+2﹞=350pcsMSR：生产报表从MSR的MOVE量，可以比较出当天生产状况的好坏。TurnRatio：周转率(T/R)周转率可以判断FABCycleTime的长短，在制品（WIP）的多少。如果一批货一天平均过三个Stage，该批或从下线到出货一共要过120个stage，则该批货的平均周转率﹝T/R﹞为3，CycleTime为40天。将FAB所有的Lot加起来，就等于FAB现有在制品WIP数目。统计这些现有在制品当天的移动量就可以得到当天FAB所有的MOVE量。该FAB当天所有产品的turnratio=FAB当天的MOVE量/FAB当天的WIP水准Q：一批货有100个stage，该批每天平均T/R为4，若该批货12/30要出线，理论上要在什幺时候下线？WPH：WaferPerHour每小时机台产出芯片数量:WPH=MOVE/UPTime。机台也有MOVE，指的是该机台在某段时间，所加工的芯片数量。这段时间，机台实际从事生产的时间即为UPTime。WPH可以用来衡量直接人员的工作绩效。例如：从早上8：00到下午18：00，A机台一天产出的300片Wafer。而该机台从11：00到15：00因维修保养而停止生产。所以A机台从08：00到18：00的平均WPH为300/﹝10-4﹞=50片。PM：PreventionMaintenance预防保养：机器经过一段时间连续生产，必须更换部分零件或耗材，而中止生产交由设备工程师维修，便叫PM，异常状况下当机而中止生产不同。PM的间隔依机台特性而各有不同，有的算片数或RUN数，有的固定每周每月。想象汽车每隔5000/10000公里要换机油、检查各部位的零件，道理一样。Monitor：测机O.I规定周期性之制程规格测机A:每日换班时之dailymonitorB:累计特定RUN数/片数时之monitorC:超过某一特定时间后欲执行run货时所必须加做之monitorD:累计特定厚度时之monitorParticle含尘量/微尘粒子Tag电子显示器Pod晶盒Cassette晶舟Rack货架（摆放POD的地方，固定不动）PushCar推车Stage站Step步Split/Merge：Split：分批Merge：合并一批货跑到某一点，因为某些原因而需要作分批﹝Split﹞。Leader/MA除了要将实际的Wafer分成两批放在不同的POD内外，还要在MES帐上将原批号分帐。这个时候原批号被要求将部分芯片的帐转出来，变成另一批，即产生子批，原批号便成为母批。举例说明：LotID：B00001.1有25片，芯片刻号#1~#25其中#13~#25(共13pcs)，各被客户要求分批出来做其它加工程序，则产生：B00001.1#1~#12(母批)、B00001.2#13~#25(子批)，子批的批号由MES自动产生分批的原因不外乎下列机种：1.客户要求2.制程工程师调整Recipe参数，提升良率3.Rework重做重工4.控片使用前……5..报废芯片6.验机（新机台）7.到其它厂区Backup(比较异同)Productivity(StageMove/MA*Hr)英文:StageMove/ManufacturingAssistant*Hour中文:每人工小时的芯片移动量(生产力)定义:每名MA每工作小时平均所产生之芯片移动量EAP：机台自动化方案MO:MissOperation误操作，错误的操作，没有按照规范的操作，会造成报废Certify/Certification考核认证Audit:稽核，稽查，检查有无违反规定行为，并进行处罚OOS(outofspec)超出规格OOC(outofcontrol)超出控制Follow:听从，服从，遵循Run货：口语，既跑货，生产等Stocker:仓库MFG(Manufacturing)制造部ME(Manufacturin