中国半导体工厂高纯气体的应用状况

中国半导体工厂高纯气体的应用状况作者：陈霖新作者单位：中国电子工程设计院本文读者也读过(10条)1.李东升.LiDen-sin电子级高纯气体输送系统[期刊论文]-电子工业专用设备2005,34(2)2.刘炜炜.蔡体杰简谈浦江特气在高纯气和超纯气生产的规模化、国产化初探[会议论文]-20103.牛丽红.于世林.NIULi-hong.YUShi-lin国内高纯气体应用现状[期刊论文]-低温与特气2010,28(3)4.杨湧源.邓文同存共荣的钢铁与气体[会议论文]-20055.董红军高纯氮气纯化工艺及组分分析技术探讨[期刊论文]-化学工程与装备2010(8)6.陈平.周志刚909工程超大规模集成电路厂房高纯气体管道的应用[期刊论文]-洁净与空调技术2004(1)7.田现德.沈荣氩产量不达标的原因分析及调整方法[会议论文]-20098.林培川超纯硅烷的产业化发展之路[会议论文]-20089.王少楠.WANGShao-nan电子工业用气体标准化第三届发展规划[期刊论文]-低温与特气2006,24(2)10.陈晓惠国内外工业气体市场概况[会议论文]-2004本文链接：