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1一.晶片封裝目的二.IC後段流程三.IC各部份名稱四.產品加工流程五.入出料機構2IC構裝係屬半導體產業的後段加工製程,主要是將前製程加工完成(即晶圓廠所生產)之晶圓上IC予以分割,黏晶、並加上外接引腳及包覆。而其成品(封裝體)主要是提供一個引接的介面,內部電性訊號亦可透過封裝材料(引腳)將之連接到系統,並提供矽晶片免於受外力與水、濕氣、化學物之破壞與腐蝕等。晶片封裝的目的WaferInWaferGrinding(WG研磨)WaferSaw(WS切割)DieAttach(DA黏晶)EpoxyCuring(EC銀膠烘烤)WireBond(WB銲線)DieCoating(DC晶粒封膠)Molding(MD封膠)PostMoldCure(PMC封膠後烘烤)Dejunk/Trim(DT去膠去緯)SolderPlating(SP錫鉛電鍍)TopMark(TM正面印碼)Forming/Singular(FS去框/成型)LeadScan(LS檢測)Packing(PK包裝)ProductionTechnologyCenter傳統IC封裝流程去膠/去緯(Dejunk/Trimming)去膠/去緯前去膠/去緯後海鷗型插入引腳型J型成型前傳統IC成型FormingFormingpunchForminganvilProductionTechnologyCenterBGA封裝流程TE-BGAProcessFlow(ThermalEnhanced-BGA)DieBondWireBondPlasmaHeatSlugAttachMoldingBallPlacementPlasmaEpoxyDispensingMD(封膠)(Molding)BM(背印)(BackMark)D/T(去膠/去緯)(Dejunk/Trim)SP(電鍍)(SolderPanting)F/S(成型/去框)(Form/Singulation)F/T(功能測試)(Function/Test)PK(包裝)(Packing)PMC(烘烤)(PostMoldCure)MC(烘烤)(MarkCure)TM(正印)(TopMark)LS(檢測)(leadScan)WIREBOND(WB)MOLDING(MD)POST-MOLD-CURE(PMC)DEJUNK/TRIM(DT)PREMOLD-BAKE(PB)若以封裝材料分類可分為:1.陶瓷封裝2.塑膠封裝1.陶瓷封裝(CERAMICPACKAGE):適於特殊用途之IC(例:高頻用、軍事通訊用)。黑膠-IC透明膠-IC2.塑膠封裝(PLASTICPACKAGE):適於大量生產、為目前主流(市佔率大約90%)。IC封裝製程是採用轉移成型(TRANSFERMOLDING)之方法,以熱固性環氧樹脂(EPOXYMOLDINGCOMPOUND:EMC)將黏晶(DA)、銲線(W/B)後之導線架(L/F)包覆起來。封膠製程類似塑膠射出成形(PLASTICINJECTIONMOLDING),是利用一立式射出機(TRANSFERPRESS)將溶化的環氧樹脂(EPOXY)壓入中間置放著L/F的模穴(CAVITY)內,待其固化後取出。MaterialLeadFrameEpoxyMoldingCompoundIC塑膠封裝材料為熱固性環氧樹脂(EMC)其作用為填充模穴(Cavity)將導線架(L/F)完全包覆,使銲線好的晶片有所保護。LeadFrame稱為導線架或釘架,其目的是在承載晶片及銲金線用,使信號得以順利傳遞,而達到系統的需求。空模合模放入L/F灌膠開模離模所謂IC封裝(ICPACKAGE)就是將IC晶片(ICCHIP)包裝起來,其主要的功能與目的有:一、保護晶片避免受到外界機械或化學力量的破壞與污染。二、增加機械性質與可攜帶性。熱固性環氧樹脂(EMC)金線(WIRE)L/F外引腳(OUTERLEAD)L/F內引腳(INNERLEAD)晶片(CHIP)晶片托盤(DIEPAD)IC封裝成品構造圖產品尾端產品表面產品邊綠產品前端產品轉角Pin1釘腳腳尖釘架肩部Ejectorpinmark1.去膠(Dejunk)的目的:所謂去膠,是指利用機械模具將大腳間的廢膠去除;亦即利用沖壓的刀具(Punch)去除掉介於膠體(Package)與障礙槓(DamBar)之間的多餘膠體。DamBar去膠位置2.去緯(Trimming)的目的:去緯是指利用機械模具將大腳間金屬連接桿切除。由於導線架(LeadFrame)內腳(InnerLead)已被膠餅(Compound)固定於Package裡,利用Punch將DamBar切斷,使外腳(OutLead)與內部線路導通,成為單一通路而非相互連接。去緯位置外腳位置3.去框(Singulation)的目的:將已完成蓋(Mark)製程的LeadFrame,以沖模的方式將聯結桿(TieBar)切除,使Package與LeadFrame分開,方便下一個製程。TieBar4.成型(Forming)的目的:將已去框(Singulation)Package之OutLead以連續沖模的方式,將產品腳彎曲成所要求之形狀。海鷗型引腳插入型J型成型前25F/S產品之分別,在傳統IC加工中,依照腳的型狀來區分有以下幾種:1.引腳插入型:以P-DIP(P1)為主。2.海鷗型:以QFP、TSOP、TSSOP、SOP、LQFP等產品為主。3.J型腳:以PLCC、SOJ等產品為主。入出料主要是將導線架(LeadFrame)由物料盤(Magazine)送上輸送架(BarorBridge)進入模具內做沖切;在機檯中,入出料機構的夾具動作大多以氣壓作動。magazineF/S入料機構和D/T的入料機構大致相同,均以magazine作為入料盒,至於出料方式,D/T為magazine,而F/S工作行程最後均將IC從導線架上取出所以,出料機構總共分為二個部份:1.Tray盤2.Tube管
本文标题:86封装流程介绍
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