3.4电容式传感器

3.4电容式传感器传感器工作原理及其特点检测电路应用由运算放大器工作原理可知ujCjCuCCuxx011/()/()()/xCSd0uCudS结论：从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性假设放大器开环放大倍数A=，输入阻抗Zi=因此仍然存在一定的非线性误差，但一般A和Zi足够大，所以这种误差很小。(5)差动脉冲调宽电路利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号差动脉冲调宽电路原理图uAB经低通滤波后，就可得到一直流电压U0为12121121212110UTTTTUTTTUTTTUUUBA式中UA、UB──A点和B点的矩形脉冲的直流分量；T1、T2──分别为C1和C2的充电时间；U1──触发器输出的高电位。C1、C2的充电时间TRCUUUr11111lnTRCUUUr22211ln式中Ur──触发器的参考电压设R1=R2=R，则得UCCCCUr01212结论：输出的直流电压与传感器两电容差值成正比设电容C1和C2的极间距离和面积分别为d1、d2和S1、S2差动变极距型差动变面积型21021EddUUddEUSSSSU12210特性：差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器并具有理论上的线性特性6二极管双T型电路电源为正半周D1短路D2开路，电容C1被充电电容式位移传感器应用P2玻璃盘镀金层金属膜片C2电极引线p1C1结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms)能测微小压差(0～0.75Pa)、真空或微小绝对压力需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可电容式压力传感器应用