工艺技术集成电路可靠性

集成电路可靠性（一）可靠性概念和表征方法（二）失效规律－浴盆曲线（三）硅片级可靠性设计和测试（四）老化筛选和可靠性试验（五）失效模式和失效分析（一）可靠性概念和表征方法可靠性概念和表征方法•集成电路的可靠性是指集成电路在预期寿命内，在规定的条件下正常工作的概率．即集成电路能正常使用多长时间．•UnreliabilityF(t)=r/nn总样品数r失效数•ReliabilityR(t)=(n-r)/n•FailureDensityf(t)=f(t,t+t)=r/n•FailureRate(t)=(t,t+t)=r/(n-r)可靠性概念和表征方法平均失效率(Failurerate)（用于常数失效区）Fr=Nf/NdtNf失效数Ndt器件数和试验小时数乘积FIT(FailureInTime)=Fr*1091小时内每109个(10亿)器件中有一个器件失效时，称为1FIT(ppb),或1000小时内每106个(100万)器件中有一个器件失效时，称为1FIT平均失效时间MTTF(MeanTimetoFailure)=1/Fr与失效速率有关的函数在给定时间间隔dt中失效的总数分数可用函数f(t)dt表示，f(t)为失效速率，累积失效数目是该函数对时间的积分，即为累积失效函数可靠性函数定义为在时间为t时仍未失效的总数分数失效函数的描述•正态分布f(t)=[1/(2)-0.5]Exp{-1/2[(t-)/]2}F(t)=[1/(2)-0.5]tExp{-0.5[(t-)/]2}dt•Webull分布F(t)=1-e-(t/)为器件的特征寿命为形状函数塑封器件现场统计失效率例(FIT)器件类型应用环境地面民用飞机汽车线性IC35.432数字SSI/MSI0.971011存储器，微处理器2.31413美国可靠性分析中心（90年代）器件失效对系统性能的影响Dataset:150to225ICsfailurerate(FIT)meantimetofailure(year)percentofsetsfailingpermonth10510.1610051.610000.516（二）失效规律－浴盆曲线浴盆曲线EarlyLifeFailure早期失效期UsefulLife偶然失效期Wearout耗损失效期时间失效速率早期失效期器件的早期失效速率很快，且随时间迅速变小，早期失效原因主要是由于设计和制造工艺上的缺陷引起．例如：氧化物针孔引起栅击穿，压焊不牢引起开路．通过加强制造过程质量管理来减少早期失效．老化筛选可以帮助剔除这些早期失效产品。有用寿命期（随机失效期）浴盆曲线中第二个区域特点是失效速率低且稳定，几乎是常数，该区域的长短则决定了器件的使用寿命。影响此寿命的因素有温度，湿度，电场等．最大因素是芯片温度．失效机理有如：潮气渗入钝化层引起金属锈蚀；金属间化合物生长引起的疲劳失效；潮气沿界面渗入引起封装开裂等。该段时间也是产品在客户手中使用和系统的预期寿命，在该范围内的失效速率与系统失效紧密相关．耗损失效期在曲线的最后区域，失效速率急剧上升，意味着封装器件达到了预期寿命，诸如开裂和过度的应力不可能对该区域有重大影响，因为这些问题造成的失效应更早出现。引起该失效的最典型的原因是较慢锈蚀过程的累积效应。失效速率开始快速上升的时间应该超过系统的预期寿命，以保证消费者的质量要求。（三）硅片级可靠性设计和测试硅片级可靠性（工艺可靠性）•产品可靠性取决于设计，工艺和封装•相同设计规则，相同工艺和封装的不同产品应有相同的可靠性水平•可靠性要从源头－设计抓起•可靠性是内在质量，是靠‘做’出来的，不是靠‘测’出来的可靠性设计•电路设计的可靠性考虑•器件和版图结构设计的可靠性考虑•工艺设计的可靠性考虑可靠性设计－电路设计时的考虑•尽量减少接触点数目和芯片面积•尽量减少电流和功耗，pn结温•提高电路冗余度．如增加放大级数，减少每级的增益，对逻辑电路，要使噪声容限和扇出数留有余量•采用输入保护措施可靠性设计－器件和版图结构设计时的考虑•沟道长度设计要考虑热电子问题•铝布线的电流密度应在106A/cm2以下，以防止断线和电迁移•元件布局，应将容易受温度影响的元件，远离发热元件•在必须匹配的电路中，应将相关元件并排或对称排列•版图上防止Latchup的措施•芯片边缘和划片道的设计可靠性设计－工艺设计时的考虑•氧化膜中的可动离子•氧化膜TDDB水平•选择表面钝化膜，防止灰尘和水汽等原因造成的退化(SiO2,PSG,Si3N4,Polymide)硅片级可靠性测试•TDDB测试•电迁移测试•热载流子测试TDDB•直接评估介质电学特性，硅片级预测器件寿命•测试样品为MOS电容或MOSFET•四种方式：恒电压，恒电流，斜坡电压，斜坡电流•测试参数：Ebd，tbd,QbdQbd＝tdbJ(t)dtTDDB测试TDDBTDDB电迁移现象MTF=AJ-nexp[-EA/kT]MTF=20年Jmax=105A/cm2电迁移测试6101004001000MTF(hr)PureAlAl-4%CuJ=4E6A/cm2T=175℃积累失效9070503010%热电子效应VgsN+N+VdVsVbIsubIg热电子效应测试•NMOS0.5um5Vdesign•测试方法Vds=6.7V，7.0V,7.3VVssandVbs=0VVgssettomaxIbs失效判据：Gm偏移10%时所需时间T0.1(--timeto0.1failure)•作Ibs/Ids－T0.1图•根据Berkeleymodel预测寿命ttfIds=Cx-m(ttf是失效0.1%的时间,C是Ibs/Ids－T0.1图截距，m是斜率）（四）老化和可靠性试验老化筛选(Burnin)•老化筛选－从对环境的适应性，存放特性，电学性能稳定性等方面去排除器件的潜在缺陷和故障，为使产品稳定化所进行的处理•估计早期失效率(PPM),可及早发现并改善失效模式•试验时间短(168hr)，随机抽样•对要求高可靠产品，可对全部产品老化•老化筛选适应种类和条件条件必须选择适当，否则不但浪费时间，还会降低可靠性老化筛选(例）试验名称所排除的故障筛选方法高温存放表面沾污，氧化层针孔125-150C24-168hr温度循环表面沾污，键合不良，芯片黏结不良(-65C)/150C)250cycle振动键合不良，芯片开裂，引线开／短路数十g,50Hz振动10-60s偏压试验金属颗粒，沾污，针孔10-150C,24-250V可靠性试试验(1)可靠性评价不可能等待器件自然失效后再进行测试和分析，而是通过一系列模拟环境和加速试验，使器件在较短的时间内失效，然后再进行失效机理的分析。加速因子包括潮气、温度、一般的环境应力和剩余应力等。设计合理的加速试验，可以达到检测器件可靠性的目的。选择合适的样本数也是可靠性试验的关键参数之一，因为样本数少了，不能真实反映器件的可靠性，样本数太大的话，又会造成资源的浪费，需用数理统计方法，合理选择样本数。可靠性试试验(2)对于使用寿命很长、可靠性很高的产品来讲，在60％的置信度(confidencelevel)下，以每千小时0.1％的失效速率(即103FIT)测试产品，则无失效时间长达915,000小时，即若器件样本数为915，则要测试1,000小时才会有一个器件失效；若器件的样本数为92，则要测试10,000小时才会有一个器件失效，这样的测试即不经济又费时，因此，必须在加速使用条件下进行测试。由于失效分析是按照抽样的方法进行分析，所以，在分析失效速度时要用到许多统计的方法，包括根据可靠性要求设计的置信度和样本数，按照实验结果进行数学模型的建立和分析，然后推导出器件的预期寿命。加速测试(1)加速试验的目的是在于让确实存在的缺陷提前暴露出来，而不是为了诱导产生新的缺陷或让存在的缺陷逃脱加速力选择要与器件可靠性要求紧密关联，否则可能对改进设计、材料选择、工艺参数确定等方面产生误导作用。加速因子加速因子：常规条件下的失效时间加速试验条件下的失效时间加速因子不但与加速试验条件有关，还与失效机理、失效位置等因素有关加速因子•At=t1/t2=Exp[-Ea/k(1/TTEST-TUSE)]t1MTTFatTTESTt2MTTFatTUSE•Ea热激活能(eV)（和失效机理有关）Oxide0.8eVContamination1.4eVSiJunctionDefect0.8eV加速因子（例）TestTempNoofDeviceHrAtTTESTUseTemp加速因子AtEpqivalentDeviceHr@55C135C43475055C12855648000125C21100055C7716247000可靠性试验种类•环境试验高温储存，温度循环/冲击，高压蒸煮，潮湿偏压，盐雾，耐焊接热•寿命试验偏压高温寿命试验，动态寿命试验，动态高温寿命试验•机械试验振动/冲击、加速度、可焊性、键合强度•ESD测试高温工作寿命（HTOL)条件：125oC或150oC，Vccmax，frequencymax,至少1000devices-hrs目的：发现热/电加速失效机理，预估长期工作的失效率失效机理：高温下芯片表面和内部的缺陷进一步生长，可动离子富集导致的表面沟道漏电，使结特性退化.电场加速介质击穿，高温加速电迁移等(对大功率器件，可采用常温功率负荷的方式使结温达到额定值)高温反偏试验(HRB)•适用高压MOSFET功率管(例如600V/4A)•条件：125oCor150oC，•Vgs=0V,Vds=80%ofmaxBVdss•Duration:(168,500),1000hr•目的：加速耐高压性能退化•失效机理：高温，高电压作用下离子沾污活动改变电场分布高温反偏试验数据例TotalLotsTested71TotalDevicesTested2031TotalEquiv.DevicesHours@125oC1959430NumberofFailure0FailureRate(FIT)125oC60%UCL470FailureRate(FIT)90oC60%UCL28MTTF(Years)125oC60%UCL243MTTF(Years)90oC60%UCL4060温度循环（T/C）条件：500cycles,-65℃to+150℃ataramprateof25℃/minandwith20mindwellateachtemperatureextreme目的：模拟环境温度变化,考核温度交替变化对产品机械/电性能的影响，暴露粘片/键合/塑封等封装工艺/材料缺陷，及金属化/钝化等圆片工艺问题失效机理：不同材料间热膨胀系数差异造成界面热匹配问题，造成金线断裂、键合脱落致使开路，塑封开裂使密封性失效、界面分层使热阻增大、钝化层开裂、硅铝接触开路、芯片开裂高压蒸煮（PCT/Autoclave）•条件：121oC/100%RH，205kPa（2atm），168hrs•目的：检验器件抵抗水汽侵入及腐蚀的能力。•失效机理：湿气通过塑封体及各界面被吸入并到达芯片表面,在键合区形成原电池而加速铝的腐蚀。另外，水汽带入的杂质在器件表面形成漏电通道。高温高湿电加速（THB/HAST）•条件：THB85oC/85%RH，Vccmaxstaticbias，1000hrsHAST130oC/85%RH/2atm，Vccmaxbias，100hrs（24hrsHAST≈1000hrsTHB）•目的：模拟非密封器件在高温高湿环境下工作，检验塑封产品抗水汽侵入并腐蚀的能力•失效机理：相对高压蒸煮，偏置电压在潮湿的芯片表面加速了铝线及键合区的电化学腐蚀。同时，水汽或塑封体内的杂质在电应力作用下富集在键合区和塑封体内引脚之间而形成漏电通道。常用可靠性试验汇总表(1)TestTestconditionSimulatedenvironmentApplicablestandardsLow-temperatureoperatinglife低温工作寿命-10℃