OLED工艺流程&原材料&设备

OLED主要原料&工艺流程&设备一、主要设备项目的主要生产设备如下表1。表1项目主要生产设备表No.进口设备名称型号规格台（套）No.进口设备名称型号规格台（套）第一部分：1蒸镀封装一体机Z650137基板储存盒Original、专用102蒸镀封装一体机ELVESS472CV138液晶检查用信号发生器CM4093封装缺陷自动检验装置Original/专用139液晶检查用信号发生器CM4044掩膜板清洁机15G-5001140脱泡器Original/专用15膜厚测量椭偏仪SE-5141洁净台车Original、专用36显示屏寿命测量机Original/专用142热处理箱盒Original、专用27基板清洁装置Original/专用143自动划片机AMUMD-I-EE18有机EL发光检查机DOEL-001144台式涂敷机器人Shotmini19基板干燥设备Original/专用345彩色信号分析装置CA-210110UV照射修补装置APC-2101346液晶检查用信号发生器CM40PB111基板干燥设备RO-24CL-AS247基板储存盒Original、专用1012条纹不均解析装置EYESCALE3148液晶检查用信号发生器AFG320113UV照射装置APC-2101149波型信号发生器AGF320114特性评价装置4460150台式涂敷机器人415显示屏驱动评价机OEL-10151氮气氛围保管库Original、专用616液晶检查用信号发生器ULD05252UV树脂涂敷装置217基板切割装置HLC-2100FT353空气采样机MX-10118掩膜保管库Original/专用454UV树脂涂敷装置EXECURE3000119九点测量仪Original/专用155台式涂敷机器人220基板检验夹具Original/专用156彩色色差计Original/专用121灰度测试装置RISA-COLOR/CD7157液晶检查用信号发生器CM40322检验自动判定装置Original/专用158液晶检查用信号发生器CM403No.进口设备名称型号规格台（套）No.进口设备名称型号规格台（套）23彩色分析仪CA210159液晶检查用信号发生器CM40924荧光光度仪F-4500160图形发生器LT436125大型显微镜OPTIPHOT300161玻璃端面研磨装置Original/专用126掩膜保管库Original、专用462台式机器人SHOTMASTERⅢ127数字信号发生器TS-1000163出厂印刷装置MR410e-2128有机EL评价装置SWM-9650164液晶检查用信号发生器VG845229彩色分析仪CA216165氮气氛围保管库NB-GIF-6501130彩色分析仪CA-210266氮气氛围保管库Original/专用131彩色分析仪CA-210167UV树脂涂敷装置132彩色分析仪Original/专用168氮气氛围保管库NB-GIF-6404133彩色分析仪CA-210369彩色色差计Original/专用134箱盒搬运机Original、专用670UV光自由固定台Original/专用135掩模板储存盒Original、专用571小型蒸镀试验机Minilabo/试验136升降机Original/专用1第二部分：1清洗线18剥膜设备12干燥炉SHB-81640-5V49外观检查23高精度曝光机310玻璃片上架传输机14显影机211玻璃片下架传输机15酸蚀机112清洁烘箱26光刻胶涂布机313玻璃表面检査装置GI473017紫外辐照炉1项目主要原料及其消耗见表2。表2主要原料及其年消耗量序号项目年使用量最大贮存量规格性质1ITO玻璃10000片1000片335mm550mm2OLED专用芯片1200万片120万片3偏振片1200万片120万片4感光材料560kg15kg5UV固化胶5600kg150kg6光刻胶730L80L7玻璃盖板1200万片120万片8蚀刻液5475L（10%盐酸：10%硝酸：水=50：5：50）9剥离液36500L2000L一乙醇胺10异丙醇7300L，约5767kg150L，约120kg11光刻胶3650L（酚醛树脂、丙二醇醚脂）12HC石油溶剂730L20LC6H14烷烃13HFE-7100730L20L氢氟醚14Al铝150kg5kg蒸发材料15LiF氟化锂150kg5kg蒸发材料16NPB150kg5kg蒸发材料17CuPc酞菁铜150kg5kg蒸发材料18AlQ3八羟基喹啉铝150kg5kg蒸发材料PMOLED生产工艺流程及产污环节如下图1。ITO基板酸蚀刻涂感光材料紫外光曝光胺蚀刻蒸镀空穴传输层蒸镀RGB发光层基板转移蒸镀电子传输层贴合封装玻璃检查裂片第一次检查（色彩不均、暗点、短线、TFT不良等）显示特性检查（辉度、色度）贴合偏光板老炼贴合FPC显示特性检查（辉度、色度）外壳安装出货最终检查（色彩不均、暗点、短线、TFT不良等）风干Q2W2冲洗冲洗Q1W1Q1——有机废气Q2——酸性废气Q3——碱性废气W1——清洗废水W2——含铬清洗废水Q3制备纯水纯水定期清洗镀槽、基板有机溶剂显影W1冲洗异丙醇清洗Q1W1图1PMOLED生产工艺流程及产污环节示意图项目的污染物产生与排放“三本帐”汇总表见表3。表3项目污染物产生与排放“三本帐”汇总表类型项目处理前工程处理后削减量削减百分比排放标准排放去向产生量产生浓度排放量排放浓度废气有组织排放的有机废气废气量（万m3/a）744607446大气TVOC（kg/a）680691.4mg/m3102513.71mg/m3-578185%0.6kg/h酸性废气废气量（万m3/a）262802628HCL（kg/a）73628mg/m3371.4mg/m3-69995%100mg/m3废水废水量（万m3/a）18.2518.25含铬清洗废水离子交换处理，其他清洗废水混凝沉淀、中和，生活污水三级化粪，全部废水经排放口统一排放至工业园污水处理厂处理。污染物CODCr（t/a）146800mg/L91.25500mg/L-54.7537.5%500mg/LSS（t/a）91.25500mg/L73400mg/L-18.2520%400mg/LNH3-N（t/a）9.12550mg/L9.12550mg/L00--固废一般固废办公生活垃圾、离子交换树脂、普通包装物等（t/a）57.25000-57.25100%0可资源化的废物交由废品回收站回收利用，生活垃圾收集，树脂卫生填埋，普通包装回收危险废物报废背光材料中的灯管，活性炭废物（t/a）8.5000-8.5100%委托处理二、建设项目对环境可能造成影响的概述1、地表水环境影响分析：本项目建成投产后，生产废水主要为：铬蚀刻清洗废水、ITO蚀刻清洗废水、显影/剥膜清洗废水、玻璃基板清洗废水、酸/碱废气洗涤塔排水、纯水站酸碱再生废水。经公司废水处理站达到广东省地方标准《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，公司废水总排口进入五沙工业园污水处理厂处理，最终纳入内河通过四村水闸进入容桂水道，各污染物指标均能达到不会影响水体功能现状。2、大气环境影响分析：项目生产废气主要分为酸性废气、有机废气。分别经项目自建的酸/碱洗涤塔及活性炭吸附装置处理后达到《广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准排放，对项目所在区域大气环境影响甚微；3、声环境影响分析：本项目主要产噪设备有冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵以及应急发电机组等辅助动力设备，通过合理布置声源，采取相应的隔声、减振、消声、吸声等降噪措施，厂界可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准，对周围环境的影响很小。4、固体废弃物影响分析：生产过程中产生的一般废物由专业废品回收商回收；办公生活垃圾由环卫部门统一清运；产生的危险废物由具有危险废物处置资质的单位统一处置。综上所述，项目各类废物均去向明确，均能得到妥善处置，去向明确，不会产生二次污染。5、风险分析：公司对于生产中使用的危险化学物品，有一系列的管理制度，拟采取一系列控制污染的防治措施，可有效地控制其使用风险和对周围环境的影响。三、环境影响对策和措施要点1、废气：对于光刻过程中产生的酸性废气和碱性废气，分别采取酸性废气洗涤塔和碱性废气洗涤塔进行处理；光刻工序产生的少量有机废气拟采用活性碳纤维吸附法进行处理，均能达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297—1996）中二级标准。2、废水：对项目产生的含铬废水，在生产车间采用离子交换法处理；其他废水，拟建一座生产废水处理站，采用化学混凝处理系统和最终中和处理系统进行；生活污水主要有厂区盥洗间污水和餐厅废水，经化粪池和隔油池处理达标后排放。3、噪声：项目噪声主要来源于生产设备及动力设备等运行，主要采取的措施为合理布置噪声源；对产噪设备采取隔声、吸声、消声、加装防振垫圈等降噪措施后，厂界可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准。4、固体废弃物：项目产生的一般废物由专业废品回收商回收；办公生活垃圾由环卫部门统一清运。项目产生的危险废物由具有危险废物处置资质的单位处置，各类固体废物均能得到妥善处置，去向明确，不会对环境造成影响。