用于微电容检测的CV电路设计与研究

用于微电容检测的C/V电路设计与研究作者：柴旭朝，苏小波，顾晓峰，于宗光，CHAIXuzhao，SUXiaobo，GUXiaofeng，YUZongguang作者单位：柴旭朝,苏小波,顾晓峰,CHAIXuzhao,SUXiaobo,GUXiaofeng(江南大学,信息工程学院,江苏,无锡,214122)，于宗光,YUZongguang(江南大学,信息工程学院,江苏,无锡,214122;中国电子科技集团公司,第58研究所,江苏,无锡,214035)刊名：微电子学英文刊名：MICROELECTRONICS年，卷(期)：2010，40(1)被引用次数：0次参考文献(11条)1.BRYZEKJ.ROUNDS.BIRCUMSHAWBMarvelousMEMS2006(2)2.YINT.YANGHGAlow-noisereadoutcircuitforMEMSvibratorygyroscope20083.MARIOLID.SARDINIE.TARONIAMeasurementofsmallcapacitancevariations1991(2)4.JOSSELINV.TOUBOULP.KIELBASARCapacitivedetectionschemeforspaceaccelerometersapplication1999(2-3)5.曹新平.张大成.黄如.张兴.王阳元一种新的不受寄生电容影响的电容式传感器接口电路[期刊论文]-半导体学报2002(7)6.MARLOWBK.GREAGERDC.KEMPRHighlysensitivecapacitancemeasurementforsensors1993(21)7.SEIJIKAsimplestray-freecapacitancemeterbyusinganoperationalamplifier1983(4)8.何峥嵘运算放大器电路的噪声分析和设计[期刊论文]-微电子学2006(2)9.TSIVIDISYOperationandmodelingoftheMOStransistor200310.ASENOVA.BROWNAR.DAVIESJHSimulationofintrinsicparameterfluctuationsindecananometerandnanometer-scaleMOSFETs2003(9)11.NINGZQ.SCHEPPERLD.DELECOURTHXAsimpleandaccuratecapacitanceratiomeasurementtechniqueforintegratedcircuitcapacitorarrays2005本文链接：授权使用：武汉大学(whdx)，授权号：b9160e62-2fd7-4507-8873-9dc400bfcfd0下载时间：2010年7月31日