UA3P-说明资料01

取取取取りりりり扱扱扱扱いいいい注意注意注意注意取取取取りりりり扱扱扱扱いいいい注意注意注意注意AACAAC様様様様様様様様超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰのごのごのごのご提案提案提案提案ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰのごのごのごのご提案提案提案提案20122012年年年年年年年年22月月月月月月月月88日日日日日日日日パナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズ株式会社株式会社株式会社株式会社パナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズパナソニックファクトリーソリューションズ株式会社株式会社株式会社株式会社超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰミラーマイクロスライダースタイラススタイラス位置検出用レーザ（Z2軸）マイクロスプリングフォーカス誤差検出用レーザ測定力はスプリングの微小歪量で決まる（0.15～0.33mN）エアースライダー本体部リニアモータZ軸駆動部原子間力プローブZ軸駆動部構成模式図最大ストローク90mmフォーカス誤差信号リニアモータによりZ軸駆動部を移動１１１１．．．．１１１１．．．．接触式接触式接触式接触式プローブプローブプローブプローブ接触式接触式接触式接触式プローブプローブプローブプローブ超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ２２２２．．．．２２２２．．．．ルビースタイラスルビースタイラスルビースタイラスルビースタイラス商品説明商品説明商品説明商品説明ルビースタイラスルビースタイラスルビースタイラスルビースタイラス商品説明商品説明商品説明商品説明0.5μm-0.5μm0.5μm-0.5μm0.3μm-0.3μm傾斜面角度60°R500μmルビー球による基準球の測定結果面上測定（形状誤差）断面測定（形状誤差）Y断面X断面基準球（φ11mm）AFP真球度が高く、断面測定面上測定とも高傾斜面まで高精度に測定可能。半径500μmスタイラス先端形状超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ３３３３．．．．３３３３．．．．ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスのののの特徴特徴特徴特徴ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスのののの特徴特徴特徴特徴６０６０６０６０°°°°曲率半径曲率半径曲率半径曲率半径：：：：２２２２μμμμｍｍｍｍ45454545°°°°曲率半径曲率半径曲率半径曲率半径：：：：２２２２μμμμｍ（ｍ（ｍ（ｍ（校正必要校正必要校正必要校正必要））））標準標準標準標準ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラス新型新型新型新型ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラス（（（（オプションオプションオプションオプション））））30度以下:～0.1μｍ（＊）（＊）実績値30度以下:0.01～0.05μｍ45度以下:～0.1μｍ60度以下:～0.3μｍ参考測定対象物参考測定対象物参考測定対象物参考測定対象物粗粗粗粗さをさをさをさを測定測定測定測定、、、、あるいはあるいはあるいはあるいは３０３０３０３０度以下度以下度以下度以下のののの測定物測定物測定物測定物参考測定対象物参考測定対象物参考測定対象物参考測定対象物携帯携帯携帯携帯レンズレンズレンズレンズ、、、、小径高傾斜小径高傾斜小径高傾斜小径高傾斜レンズレンズレンズレンズ粗さ測定に使用小径レンズの形状測定に使用＊校正用ルビー球必要超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ４４４４．．．．４４４４．．．．新型新型新型新型ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスのののの商品説明商品説明商品説明商品説明新型新型新型新型ダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスダイヤスタイラスのののの商品説明商品説明商品説明商品説明45°R2μm新型ダイヤスタイラスによる校正用ルビー球の測定結果面上測定（形状誤差）断面測定（形状誤差）校正用ルビー球（φ1mm）AFPダイヤの結晶方位のため形状に個体差がある。断面形状はソフトによる補正可能。傾斜面角度60°Y断面X断面半径2μm先端部SEM画像スタイラス先端形状超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ新型ダイヤスタイラス補正ソフトR2μm新型ダイヤスタイラスによる校正用ルビー球の測定結果面上測定（形状誤差）断面測定（形状誤差）45°校正用ルビー球（φ1mm）AFPダイヤの結晶方位のため形状に個体差がある。断面形状断面形状断面形状断面形状ははははソフトソフトソフトソフトによるによるによるによる補正可能補正可能補正可能補正可能。傾斜面角度60°半径2μm先端部SEM画像なぜ新型ダイヤの場合、形状補正が必要か？超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ新型ダイヤスタイラス補正ソフト補正が有る場合補正が無い場合実際に測定する測定物の形状誤差からスタイラスの真球度ズレの影響をソフト的に除去するものです。また、軸上測定データの補正しか対応しておりません。（面上測定データの補正はできません。）補正有る、無しでの形状比較超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ光学設計設計値により金型加工成形成型品の形状測定形状誤差より補正パラメータ計算金型再加工形状誤差目標値量産UA3Pから測定データを出力（テキスト、CSV形式）加工機側でひけ量を見込んだ加工を行い精度を追い込むUA3Pによる形状測定金型もUA3Pにて測定フィッティングソフトにより測定データを数式化し、設計式との差をとることで成型品のひけ量を算出することができるレンズが量産されるまでの工程５５５５．．．．５５５５．．．．回転対称回転対称回転対称回転対称フィッティングソフトフィッティングソフトフィッティングソフトフィッティングソフト回転対称回転対称回転対称回転対称フィッティングソフトフィッティングソフトフィッティングソフトフィッティングソフト超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ非球面項4・6・8・10次項使用非球面項偶数項（2～20次）全て使用してフィッティングした結果設計式との差最適非球面係数式との差測定結果より最適非球面係数を算出Z=+∑Air21+{1-(1+k)r2/R2}1/2r2/R回転対称フィッティングソフト測定データを新しい設計式にフィッティングできます。超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ回転対称フィッティングソフトレンズ形状誤差（補正加工前）レンズ形状誤差（補正加工後）フィッティングソフトを用いて算出した補正量により、金型補正加工を行った前後のレンズ形状の違い金型金型金型金型をををを補正加工補正加工補正加工補正加工してしてしてしてレンズレンズレンズレンズをををを再成型再成型再成型再成型超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ×××球面－球面レンズ○※１×○※１球面－非球面レンズ○○○非球面－非球面レンズ中心厚み傾き偏心評価可能なレンズ形状評価量の定義第1面の光軸第2面の光軸偏心中心厚み傾き第2面(回転対称非球面)第1面(回転対称非球面)第1面の光軸第2面の光軸(第1面の光軸に平行)偏心中心厚み第2面(球面)第1面(回転対称非球面)下図は第１面を基準とした定義です。※１：下記定義に示す基準面は非球面に限定されます。非球面－非球面レンズの場合球面－非球面レンズの場合ZYXBA出力される評価量傾き：A,B偏心：X,Y中心厚み：Z（注）測定治具は別オプション（打ち合わせ必要）６６６６．．．．６６６６．．．．傾傾傾傾きききき偏心評価偏心評価偏心評価偏心評価ソフトソフトソフトソフト傾傾傾傾きききき偏心評価偏心評価偏心評価偏心評価ソフトソフトソフトソフト超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰ例１：偏心・傾きが存在しない場合R(+)Z(+)イメージ図第１面第２面設計データ測定データ偏心・傾きによる第2面の形状誤差が小さい例２：偏心・傾きが存在する場合R(+)Z(+)イメージ図第１面第２面設計データ測定データ偏心・傾きによる第2面の形状誤差が大きい例２：偏心・傾きが存在する場合レンズレンズレンズレンズ表裏表裏表裏表裏のののの傾傾傾傾きききき・・・・偏心量偏心量偏心量偏心量をををを分離分離分離分離・・・・解析解析解析解析できできできでき、、、、金型加工金型加工金型加工金型加工へへへへフィードバックフィードバックフィードバックフィードバックすることができるすることができるすることができるすることができる傾き偏心評価ソフト傾き・偏心の有無による出力結果の違い超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機ＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰＵＡＵＡＵＡＵＡ３３３３ＰＰＰＰThelineupofthetiltanddecenterjigΦΦΦΦ3～～～～25mmΦΦΦΦ25～～～～50mmΦΦΦΦ50～～～～100mm・MobileLens・DSCLens・DSC・Projector・DSC・Projectorφ3mmtoφ100mmisavailable超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次元測定機超高精度三次