双面高效电池生产工艺过程(HIT)

2010.03.30异质结(Heterojunction)定义硅异质结太阳电池种类硅异质结太阳电池优点硅异质结太阳电池生产工艺过程硅异质结太阳电池光伏系统主要内容异质结:由两种不同材料构成的结同型异质结:相同导电类型异型异质结:导电类型不同异质结种类:硅异质结其他材料异质结硅异质结太阳能电池(SHJ)通常是指在单晶硅衬底上沉积硅薄膜构成非晶硅(a-Si:H)高Voc,低Jsc微晶硅（纳米晶硅）(nc-Si:H)高Jsc,新的特性外延硅(epi-Si:H)重要研究方向,低温外延生长问题非晶硅碳(a-SiC:H)带隙宽,窗口层,有待进一步研究Polymorphous硅(Pm-Si)过渡区材料,新特性,有待进一步研究界面重要—钝化本征i-a-Si:HSanyoHITi-Epi-Sii-nc-Si:Hi-pm-Si:H原子H(Hatomic)离子H(Hplasma)HIT太阳电池November2008•高转换效率,低生产成本•温度系数小•适用于更薄的硅片结合第一代单晶硅电池和第二代薄膜电池的优势HIT电池制备工艺过程双面高效异质结电池电池效率19.6%尺寸:156X156mm2硅片:CZn-typeC-Si双面高效电池生产线相关设备清洗和制绒过程SDR&texturing前薄膜沉积过程FrontPECVDsystem前透明导电膜沉积过程Sputteringsystem硅片反转过程flippersystem硅片反转过程movie后薄膜沉积过程BackPECVDsystem后透明导电膜沉积过程MOCVDsystem丝网印刷栅线电极ScreenprinterandDryersystem边缘刻画过程EdgeIsolationsystem组件功率276.4W尺寸:1.00X1.67m2电池片数:6X10wafers硅异质结太阳电池光伏系统日本三洋公司在Gifu建立的630kWHIT太阳电池示范电站三洋公司在美国加利福尼亚SantaMonica建立的5个1.95kWHIT电站三洋公司在LasVegas建立的2.85kWHIT电池电站