中科科仪扫描电镜-介绍

中科科仪扫描电镜介绍何达应用工程师/销售经理186114553321扫描电镜的原理3应用图例2中科科仪扫描电镜创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理宏观人类认知事物的两个方向微观创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业苹果奶酪灵芝电镜是微观物质研究必不可少的工具扫描电镜的原理创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业人们想象中的扫描电镜现代扫描电镜（北京中科科仪）扫描电镜的原理创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜（SEM）基本工作原理电子枪发射出稳定电子束；电子束经电磁透镜系统在样品表面形成极细的聚焦斑；入射电子与样品发生相互作用，可激发二次电子、背散射电子、X射线等信号；电子束在扫描磁场的控制下，对样品表面进行逐点逐行扫描；利用探测器接受上述信号，放大、采集后即可形成样品表面像，从而反应样品表面形貌、成分等信息。扫描电镜的原理创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理入射电子束在样品中激发出的各种信号创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子。通常来自样品表面5-50nm，反映表面形貌信息。原子核背向散射回的入射电子，来自于样品表面0.1-1μm，产额与原子序数正相关，反映样品的形貌和成分分布创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理光学显微镜图像扫描电镜二次电子图像扫描电镜对比光镜优势有：放大倍数高，且连续可变图像清晰景深大向下兼容光镜创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理2万倍下，微米级氧化铝粉末5万倍下，纳米级镍粉金属粉末是工业科研中重要原料，添加前需用电镜检测微观形貌，避免错误创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理二次电子图像来自于样品表面5-50nm深度范围内主要反映样品的表面形貌背散射电子图像来自于样品表面0.1-1μm深度范围内，产额与原子序数正相关，反映样品的表面形貌和成分分布创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业扫描电镜的原理iPhone7失效样品测试（使用用中科科仪扫描电镜）*案例由中科科仪扫描电镜用户深圳莱尔德提供（APPLE供应商）试样：•试样：客户提供的iPhone7失效金属零件试样制备方法：•将客户提供的金属零件切开，使用导电胶带粘在截面样品杯上，放到电镜里观测。用到的KYKY电镜型号：•KYKY-EM6200用到的样品杯：•标准样品杯中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例750倍图片此图为750倍下的样品截面，左图为二次电子图片，右图为背散射电子图片（二次电子表面形貌细节丰富，背散射图片通过衬度表现样本成份，亮度越亮，原子序数越大；建议选取亮区域进行能谱分析）中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例1000倍图片此图为1000倍下的样品截面，左图为二次电子图片，右图为背散射电子图片（二次电子表面形貌细节丰富，背散射图片通过衬度表现样本成份）中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例从背散射图片中选取呈白色的区域，进行能谱成份分析（EDS）中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例获得感兴趣区域的能谱谱图中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例该区域成份及含量表中科科仪扫描电镜SE+BSE+EDS分析联用案例创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业2中科科仪扫描电镜3应用图例1扫描电镜的原理创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业中科科仪简介始建于1958年，主要从事科研装备的加工重建于1970年，从事科学仪器的研究制造曾成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台商品化质谱仪、第一台涡轮分子泵曾在“两弹一星”、“正负粒子对撞机”的研制和核工业，航天事业发展中做出卓著贡献，获多项科学院重大科技成果奖中科科仪:中国科学院科学仪器KYKY:中国科学院科学仪器创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业1958年成立，原名中科院科学仪器厂，主要从事科研装备的加工制造2000年12月28日，中科院第一家事业单位整体转改制，成立北京中科科仪技术发展有限责任公司2011年12月16日，完成股份制改造，整体变更为北京中科科仪股份有限公司中科科仪是一家具有五十余年历史的科学仪器设备制造商195820002011中科院科学仪器厂北京中科科仪股份有限公司中科科仪技术发展有限责任公司中科科仪简介▲时任中科院院长路甬祥题词创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业注册资本：12860万元中关村总部：占地面积33,100㎡昌平信息园分部：建筑面积12,000㎡公司人数：360人昌平生产基地中关村总部中科科仪简介创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业中科科仪简介-业务领域扫描电子显微镜苦苣苔科花粉氧化锌方便面断面金属材料粉末冶金纳米薄膜材料科学生命科学石油化工刑侦鉴定地矿研究功能陶瓷纺织纤维……硅胶整体柱扫描电子显微镜是唯一国产品牌创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业LOW-E生产线柔性薄膜生产线真空获得类—分子泵等LED分析仪器科研LED磁性材料分子泵的国内市场占有率40%，全国排名第一太阳能电池装饰镀膜生产线车灯镀膜生产线中科科仪简介-业务领域创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业真空检测类—检漏仪、充回设备低温化工真空装备航空航天电子元器件换热系统仪器仪表汽车空调压缩机氦检漏家用空调检漏系统金属氧化物避雷器检漏氦质谱检漏仪的国内市场占有率30%，全国排名第一中科科仪简介-业务领域创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业真空应用设备太阳能集热管镀膜设备国家大科学工程神光III项目滴油系统真空炉陀螺排气台镀膜设备多工位排气空间环境模拟设备中科科仪简介-业务领域创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业中科科仪简介-本地营销售后体系成都办事处西安办事处北京销售公司：京、津、黑、吉、辽、冀、鲁、晋、蒙、新、陕、甘、宁、青、川、藏上海销售公司：沪、渝、江、浙、鄂、豫、皖深圳销售公司：粤、桂、湘、赣、闽、云、贵、琼创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业中科科仪简介-认证及荣誉国家级高新技术企业国家创新型试点企业中关村“十百千工程”第三批重点培育企业中关村科技园创新型试点企业保增长突出贡献企业中关村信用双百工程最具影响力企业纳税信用A级企业质量、信誉双保障示范单位仪器仪表行业十大满意品牌通过质量管理体系认证、欧盟CE认证……创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业中科科仪具有近50年电镜研制历史，是目前国内唯一的电镜生产研制厂家1975年我国第一台扫描电镜DX-31985年KYKY1000B型扫描电镜1989年全数字扫描电镜KYKY20001994年研制成功KYKY-2800B2004年全计算机控制扫描电镜KYKY-EM32002010年锥形极靴扫描电镜KYKY-EM3900M2013年智能化自动化扫描电镜KYKY-EM60001965年第一台透射电镜DX-22014年场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F中科科仪电镜历史创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业实力雄厚创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业屡获殊荣通过ISO质量管理体系认证CE安全认证中国分析仪器发展贡献奖中国仪器仪表行业十大满意品牌分别在1993年、1999年和2015年获得BCEIA金奖创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业现代扫描电镜根据电子发射源一般分为两类通用型-钨灯丝扫描电镜经济适用操作简便适合工业用户及课题组高分辨型-场发射扫描电镜分辨率高适合高新客户及测试中心创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业KYKYEM6200(通用型-灯丝扫描电镜)性能指标•分辨率4.5nm@30kV•放大倍数7x-500.000x•电子枪类型发叉式钨丝电子枪•加速电压0-30kV•自动调整功能一键看像•真空系统1个磁悬浮分子泵、1个机械泵•样品台移动：X≤50mm，Y≤50mm，Z≤25mm旋转：０－360°连续倾斜：-5°～+90°可观察样品：φ60mm，最大样品φ100mm产品特点•成熟稳定的电子光学技术采用钨灯丝电子枪•成分和形貌信息束流大、束斑尺寸大，适宜于长时间各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD•快速成像纯中文操作界面，具有自动调整，自动校正，自动检测及一键看像等功能•服务及时两小时内给出基本反馈，如有必要到现场，工程师会在2个工作日内到达现场。•运行维护成本低适用于工业客户及高校课题组经济可靠创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业KYKYEM6900(通用型-灯丝扫描电镜)性能指标•分辨率3.0nm@30kV15nm@3kv•放大倍数6x-600.000x•电子枪类型K型钨丝电子枪（可选配预对中灯丝）•加速电压0-30kV步进可调•电子光学系统双级可调焦距聚光镜高性能锥型电磁物镜（适用于EBSD等分析环境）•自动调整功能自动亮度、对比度、聚焦、消像散、一键看像•真空系统1个磁悬浮分子泵、1个机械泵全自动真空控制、且具有互锁功能•样品台移动：X≤50mm，Y≤50mm，Z≤25mm旋转：０－360°连续倾斜：-5°～+90°可观察样品：φ60mm，最大样品φ100mm产品特点•成熟稳定的电子光学技术采用钨灯丝电子枪•成分和形貌信息束流大、束斑尺寸大，适宜于长时间各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD•快速成像纯中文操作界面，具有自动调整，自动校正，自动检测及一键看像等功能•服务及时两小时内给出基本反馈，如有必要到现场，工程师会在2个工作日内到达现场。•运行维护成本低适用于工业客户及高校课题组分辨率达到钨灯丝极限KYKYEM8100F(高分辨-场发射扫描电镜)性能指标分辨率1.0nm@30kV3nm@1kV放大倍数15x-800.000x电子枪类型肖特基场发射电子枪加速电压0-30kV自动调整功能一键看像真空系统2个离子泵、1个分子泵、1个机械泵样品台移动：X≤80mm，Y≤60mm，Z≤50mm旋转：０－360°连续倾斜：-5°～+90°可观察样品：φ80mm，最大样品φ110mm产品特点先进的电子光学技术肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小、寿命长成分和形貌信息束流稳定度高、色散小，适宜于长时间各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD快速成像低加速电压呈像，可预看像参数灯丝寿命长灯丝全寿命长达15,000小时正常工况下质保三年服务及时两小时内给出基本反馈，如有必要到现场，工程师会在2个工作日内到达现场。运行维护成本低适用于科研院所及分析测试中心全新控制系统,一键看像功能，提高应用体验自动电子枪加热、自动偏压、自动对中、自动聚焦、自动亮度、自动对比度自动消像散、自动像散记忆等。自动校正、自动故障检测样品室CCD红外监控全系列产品均采用分子泵真空系统KYKY-EM6000系列产品特点自主开发、符合中国人自己的操作习惯创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业产品特点三大特点：稳定可靠控制系统所有元器件均采用一流供应商操作便捷中英文界面经济实惠采购价格低、维护成本低创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业技术指标接近同类设备国际先进水平可靠性高人机交互性及用户体验好性价比高、维护运营成本低售后服务及时、成本低小结创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业应用技术解决方案纳米操纵台8cm10cm高低温台拉伸台含水/液态反应过程应用技术解决方案39解决方案提供商创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业燕山大学：扫描电子显微镜+图形发生器+微纳操作手绵阳九院：扫描电子显微镜+高低温拉伸台+自动进样杆+CVD设备扫描电镜非标定制创新科学仪器发展一流企业创新科学仪器发展一流企业典型用户-科研用户创新科