分子束外延设备液氮冷却系统选型手册

DDeMaCoo液氮氮冷冷却系20中国总代北京宇丰2011‐3‐22系统011理： 凯电子有限2 统 1 限公司 北京宇丰凯电子有限公司   DeMaCo 公司简介   荷兰DeMaCo公司是一家专门从事冷却系统的设计、制造和服务的国际知名公司，已有近半个世纪的历史。DeMaCo从创立的伊始就专心致力于各种冷却系统的研究和生产，无论是从工程解决方案，还是其产品的设计、制造，都形成了自己独特的风格，其独到的见解，优秀的产品质量，高效的服务在全球范围内受到了广大用户的青睐，为DeMaCo赢得了国际声誉。现在，DeMaCo早已成为全球同行业中的佼佼者，在全球占有较大的市场份额，其客户群体分布在世界各大洲和主要国家，涵盖多个领域，从大型的系统工程到每一个微小部件，DeMaCo都力求完美地为客户寻求最佳解决方案，其完美的产品品质和完善的服务体系为用户提供了坚实的保障。其产品应用包括航空航天领域、电子领域、汽车制造领域、冶金领域、石化领域、医药领域、生物领域、食品领域等多种关系到国计民生和高尖端科技领域。DeMaCo先后获得了世界多个认证体系的质量认证证书，已成为用户心目中代表高品质产品的标准。 DeMaCo 资质 ISO 9001 (Bureau Veritas); ISO 3834­2 Nederlands Instituut voor Lastechniek (NIL); PED H/ H1 (Lloyd`s register); VCA** (Bureau Veritas);   液氮（M行在却，泵取做为以向用户液氮真空离气（数液氮和分器;液氮液氮氮冷却系统对于超高真MBE）系统）在超高真空环冷屏的容积取速度并在真为欧洲最大的向用户提供标户的生产能力氮冷却系统一个液氮供空状态分离器气氮和液氮的数量取决于冷氮从状态分离分接点，从冷然后通过一氮冷却系液氮罐或制氮设备北统概述真空半导体设）是工艺很复环境下。系统积要足够大，真空腔室内达的低温工艺制标准组件的用力最优化，液统组成供应系统由如器之间，真空的状态分离器冷屏和分接点离器经软管供屏出来的气氮个真空管路将系统示意真空绝热输北京宇丰凯电子设备（例如分复杂的系统，统的冷屏需要这有助于提达到更好的真制造商之一D用于相关系统液氮的供应完如下部分组成绝热良好的输器；一个或多点的数量）与供应给半导体氮再通过软管将气体排放到意图输液管道子有限公司  ww分子束外延它需要运要液氮来冷提高真空的真空水平。DeMaCo可统的液氮供给完全自动化。：从液氮存储输液管路；用多个真空绝热与状态分离器体设备系统的管返回到状态到空气中。状态分器气态液送管道ww.harvest.net给系统。液氮储罐到用于分热软管器相连;的冷屏态分离分离真空绝真液氮输道t.cn 氮供给系统的绝热输液软管真空绝热回气的特别设计可管气软管用氮设备大气以使用氮设备真空传输热传的高管设VIP真空PipDNDNDNDN12介空隔离绝热管DeMaCo的输液态气体，传导率，同时高真空条件，设计可补偿“热P-Lines详细空隔离绝热管esizeProc(N10Ø12xN15Ø18xN20Ø23xN25Ø28x1Ø331½Ø482Ø602½Ø763Ø884Ø1146Ø16介质北管道（VIP-Va的VIP-Lines真外层的不锈钢保证内层管道内管采用25热胀冷缩”造细参数：管道规格cessline(mm)jx1.0Ø6x1.OØ6x1.5Ø6x1.0Ø6.7x1.6Ø7.3x1.6Ø8.3x1.6Ø.1x2.0Ø.9x2.0Ø4.3x2.0Ø8.3x2.0Ø22K(-271°C北京宇丰凯电子acuumInsul真空隔离绝热钢管道形成真道准确地固定5层玻璃/铝箔成的尺寸变化Vacuumjacket(mm)63.5x1.563.5x1.563.5x1.563.5x1.576.1x2.088.9x2.0114.3x2.0139.7x2.0154x2.0168.3x3.0219.1x3.0C)to195K(-子有限公司  wwatedPipeline热管道主要由真空隔离管套定在外层管套箔包围防护，化。Max.Capindication3005001002003004506001150160027006000-78°C)suchww.harvest.nete）由内外两层管套。特殊的内套的中心。层可最大限度pacityn(L/h)in000000000000000hasHe,H2,Nt.cn 管道构成，内内部构造设计层间分子吸收度防止热辐射Heatinleakndication(W/m0.400.450.550.650.750.851.01.31.92.03.3N2,Ar,O2,K内层的不锈钢计使其具有极收材料保证管射影响。内部km)Weigh2233468811726Kr,XeandLN管道极低的道间波纹htkg/m2.72.93.23.14.16.58.48.71.57.46.5NG.DesiDesiDesiDesiCouBellVacuCleaMatProcVacuSpacMulSealSuppStanDimPresNDEHeliVacuReteOptColdExteAddAddignconditionign:igncodes:ignPressure:uplings:ows:uumLevel:anlinessproceterials:cessPipe:uumJacket:cers:tiLayerInsulsforcouplinportingclampndardtestingmensionalchessuretest:E:iumleaktest:uumtest:entiontest:ionalTestingdshocktestinendedretentioditionalpressuditionalNDE北nsAEStJoADAesspipe:Pr1.1.Glation:Ggs:Stps:Ggck:AAAAPr24gngontesturetest北京宇丰凯电子AccordingtoPNorAD200tandarduptoohnstonBayoAccordingEJMDeMaCostandAfterretentionrocessclean(.4301/1.4306.4301/1.4306Glass–EpoxyGlassandalumtandardBunaGalvanizedwiAllspoolsAccordingtoPAccordingtoPAllspoolswithriortoretenti4hours子有限公司  wwPEDo16bar(g)onet;WeldedMAlatestrevdard1000cycntest(std.24h(suitableforO6/1.43076/1.4307yminiumfoilaNithrubberinlaPED/designPED/designhleakratelesiontestlessthww.harvest.netVacuuminsuvisionclesat100%hr)lessthan2Oxygenuse)25layers(staycodecodessthan1x10-han1x10-5mt.cn ulatedstroke2×10-4mbartandard)-9mbarl/secmbarr真空是用真空配备射最真空隔PipesDN10DN10DN15DN2511½2介质空隔离绝热软DeMaCo的用于低温液化真空隔离绝空夹层。内外夹层材料由备可以吸收分最小化。隔离绝热软管izeDimenngproOD(mØ12Ø12Ø15Ø25Ø32Ø50Ø652K北软管（VIflex的真空隔离绝化气的传输。绝热软管的内外软管由不锈由玻璃布和玻分子保持恒定管规格nsioniocessmm)VacuOD(m2Ø42Ø65Ø65Ø62Ø80Ø105Ø12K(-271°C)t北京宇丰凯电子xible-Vacuu热软管是专部和外部都锈钢线编织，玻璃丝制成，可定的真空度。在uummm)Bradi44666666840127to195K(-78子有限公司  wwmInsulated门用于极端温是由不锈钢软可以提高强度可以确保内部在内部软管的Bendius(mm)340440440440550650800°C)suchasww.harvest.netFlexible）温度液体的柔软管制成，用度和耐用性。部软管固定在的表面缠有2CapacityIndication(L0-1750-175100-300600-12001200-1801800-2602300-350He,H2,N2,t.cn 柔性传输系统用于传输低温。在整个管线的25层玻璃-铝yL/h)Weig(kg/h2.230404.4005.3006.1007.9Ar,O2,Kr,X统，最通常的温液化气，中的中心。分子铝箔，可以使hth)HeatindicatXe,LNGand应用间是筛的热辐tinleaktion(W/m)1.11.01.21.61.71.92.1dCO2.北京宇丰凯电子有限公司   DesignconditionsDesigncodes:EN,AD200DesignPressure:16bar(g)Couplings:JohnstonBayonet/UnionsVacuumLevel:Afterretentiontest(std.24hr)lessthan2×10-4mbarCleanling:Processclean(suitableforOxygenuse)Materials:Process(inner)flex:1.4301/1.4541/1.4571Vacuum(outer)flex:1.4541/1.4571Braiding:1.4301RigidPiping:1.4301/1.4306/1.4307MultiLayerInsulation:Glassandaluminiumfoil25layersSealsforcouplings:StandardBunaNStandardtestingDimensionalcheck:AllspoolsPressuretest:AccordingtoPED/designcodeNDE:AccordingtoPED/designcodeHeliumleaktest:Allspoolswithleakratelessthan1x10-9mbarl/secVacuumtest:Priortoretentiontestlessthan1x10-5mbarRetentiontest:24hoursOptionalTestingColdshocktestingExtendedretentiontestAdditionalpressuretestAdditionalNDE真空出气氮罐分离突然能够良影容器已经完全DeM¾¾¾¾¾¾¾¾空绝热状态状态分离器气氮。状态分罐的液氮压力离器可以避免然断流现象，够消除液氮罐影响。经过液化的器中，然后通经被液化的气全分离以提供MaCo状态分全不锈钢结输入压力可输出压力0容量分为1集成了高可thephasese垂直或水平真空隔离腔外表面抛光北态分离器（V器的首要作用分离器还有一力降低到使用免由于压力骤状态分离器罐输出流量波的气体通常被通过管道输送气体，同时也存供纯液化状态分离器特征：结构Fullstain可承受高达6b到2barOutl5升，25升和可靠性的液位eparator平构造Vertic腔体Vacuum-光处理Grinde北京宇丰凯电子VacuumIns用是从液氮中一个作用就是用压力。同时骤降而造成的器的分级存储波动起伏带来被储存在大体送。管道中不存在其气体状态的气体。nlesssteelcobarInletpresletpressureb和50升Con位控制系统Ralbodyconst-insulatedves