纳米钛酸钡薄膜的制备及介电性能-杨东洁

1，2（1.，611731；2.）：，。、，：-75g/L，50V，5min。。。：；；：TQ132.35：A：1006-4990（2014）08-0044-03Preparationanddielectricpropertiesofnano-sizedbariumtitanatefilmsYangDongjie1，TanWuhong2（1.ChengduTextileCollege，Chengdu611731，China；2.ChinaTextileAcademy）Abstract：ThinBaTiO3filmswerepreparedbyelectrophoreticdepositionmethodwithnano-sizedBaTiO3powderasrawma-terial.Theinfluencesofvoltage，depositiontime，andsuspensionconcentrationontheBaTiO3filmformingeffectwereinvesti-gated，andtheoptimumfilmformingconditionswereconfirmedasfollows:themassconcentrationofmixedsolutionofacety-acetoneandethanolwas75g/L，DCvoltagewas50V，andelectrophoresistimewas5min.Researchfoundtherepeatedelec-trophoreticdeposing&sinteringmethodcouldeffectivelyavoidcrackfilms.ExperimentalresultsalsofoundthatthedielectricconstantofthepreparedBaTiO3thinfilmsshowedthesimilartemperaturepropertieswiththeBaTiO3ceramics.Keywords：BaTiO3；thinfilm；dielectricconstant（BaTiO3），1618℃。、、，［1］。，BaTiO3。、、、，、BaTiO3［2］。、、，BaTiO3BaTiO3。，，BaTiO3。1BaTiO3，-，100V，。BaTiO3。，，。，800、900、1000℃。：HP-4278ACapacitanceMeterCp，ε，1kHz，HM［3］；：；：、S-4300。22.11a~b0.5cm、5min，SEM。1a~b，第46卷第8期2014年8月无机盐工业INORGANICCHEMICALSINDUSTRY44，。BaTiO3，（1a），，；，，BaTiO3，（1b）；1c50V10minSEM，1b，，，，。，，。a—40V+5min；b—50V+5min；c—50V+10min1SEM2。a—30V+5min；b—50V+5min；c—70V+5min；d—30V+10min；e—50V+10min；f—70V+10min22，，；，，，；，；，。，，（2c），，，BaTiO3（2f）。，，［4］。350V、。3，，，；，75g/L。，，，1。350V、2.2450V、5min，SEM。4a，，；800℃，，（4b）；900℃，，。，，，、［5］。5SEM。50V5min，1000℃，30min；50V2014年8月杨东洁等：纳米钛酸钡薄膜的制备及介电性能45a—；b—800℃；c—900℃4SEM3min，1000℃，1.5h。5，，。，、。5SEM6，1kHz，-55~155℃。6，BaTiO3，98℃，590，-55~75℃260。，BaTiO3BaTiO3。，，，，BaTiO3，［6］。631），。2），，，；，；，。3）。：［1］，.［J］.，2008，40（12）：1-3.［2］，，，.TiO2［J］.，2007，44（8）：57-61.［3］LeeJK，HongKS，JangJW.RolesofBa/TiratiosinthedielectricpropertiesofBaTiO3ceramics［J］.J.Am.Ceram.Soc.，2001，84（9）：2001-2006.［4］，，，.［J］.，2009，41（8）：24-26.［5］WuYJ，LiJ，TanakaH，etal.Preparationofnano-structuredBaTiO3thinfilmbyelectrophoreticdepositionanditscharacterization［J］.JournaloftheEuropeanCeramicSociety，2005，25：2041-2044.［6］LiTao,LiLongtu，ZhaoJianqiang，etal.ModulationeffectofMn2+ondielectricpropertiesofBaTiO3-basedX7Rmaterials［J］.MaterialsLetters，2000,44(1)：1-5.———————————：2014-03-18：（1963—），，，，。：[e-mail]无机盐工业第46卷第8期46