汽车传感器论文传感器应用论文

【】doi：10．3969／j．issn．1673－3142．2010．09．001MEMS，，，（，510507）：、，MEMS（）。MEMS，。，MEMS，MEMS。：；MEMS；；：U463.6：A：1673-3142(2010)09-0003-04TheResearchandProspectonApplicationsofMEMSSensorTechnologyinAutomotiveHUANGJun－hui，YANGXu－zhi，CHENShu－guan，LIAOZhong－wen（DepartmentofElectronicsandInformationEngineering，GuangdongAIBPolytechnicCollege，Guangzhou510507，China）Abstract：Inordertomeettheneedsofautomotiveelectronicsandintelligence，anincreasingnumberofMEMS（MicroElectroMechanicalSystem）sensorsareappliedtothecar．Inthispaper，thepresentapplicationandthecurrentresearchofseveralmajorautomotiveMEMSsensorsareintroduced，andthedesignflowofmicropressuresensorandaccelerometerarestudied．Meanwhile，combinethecharacteristicsofMEMSsensorsandtherequirementsofvehiclesensors，afewsuggestionsandprospectsonthedevelopmentoftheautomotiveMEMSsensorsareoffered．Keywords：microelectromechanicalsystem；MEMSsensor；automotive；summarize：2010-06-28：（1969-），，，，。1，、，。，，、、[1-2]。(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS),。MEMS[3]。MEMS，，，，，[4]。NEXUS2009，1/3MEMS,，MEMS[5]。，MEMS、、、、、、。MEMS、、、、。2MEMSMEMSMEMS、MEMS、MEMS。MEMS，；MEMS；MEMS。2.1MEMSMEMS、、、，AGRICULTURALEQUIPMENT&VEHICLEENGINEERING20109（230）No．92010（Totally230）3－－2010920109、、、、、TPMS()。，MEMS、、SSI、、、Bosch、。MEMS1。MEMS，-40～125℃,0.6MPa,1.5%。IC，[7]。MAX1450，，，[8]。、，，0.004%～0.015%FSO/℃,0.0035%～0.024%FSO/℃,[9]。2.2MEMS，MEMS、、、、。,MEMS、,MEMS。MEMS、、。MEMS1。，MEMSST、MEMSIC、ADI、、BOSCH、EG&GICSensorsVTI。MMA2204D，[11]。MEMS，，，[12]。MEMS，GPS/DR，GPS,DR[13]。MEMSADXL330SPCE061A，，，、[14]。、，，，；，[15]。，，db6,heursure[13]。MMA6700/1EG（HARMEMS），、，。2.3MEMS、。1MEMSADIADXL202MMAS40GEG&GICSensors3255MEMSICMXA2500ABS1MEMS＋OUT－IN＋IN－OUT－IN：1×1×0．6mm：0．15×0．15mm4－－2010920109（8），，。GPS、。，MEMSADI、BEI、Amagasaki、。（），。，。，，。。，MEMS，EKF，，,[16]。ADMEMSADIS1635，，MEMS，MEMSAllan[17]。2.4MEMSMEMS，、、。，，，，，。，：、、、。，，,,,；,,。,,,。MEMSTCS208F，、，，COH2[18]。2.5MEMSMEMS，。，MEMS，。、、、、，，、、，。3MEMSMEMS，MEMS。MEMS，、，：1）、MEMS，MEMS，MEMS。，50%，，。，MEMS：，MEMS，；，MEMS。2）MEMSBMW740i70MEMS，，MEMS，MEMS，。：MEMS5－－2010920109，。3UG，，。，，。[1]，.［J］..2009,35(2):11～15.[2],,.［J］.,2001,32(5):59～61[3].［J］.,1989,10(3):26～33.[4]，.ADAMS［D］.：,2002.3.65V／m／s7．06．05．04．03．02．01．00．00．00．10．20．30．40．50．60．00．10．20．30．40．50．6V／m／s25．020．015．010．05．00．0（5），MEMS。3）MEMSMEMS，。MEMS，MEMS，。[1]．[J]．，2007，（8）:48－50．[2].[J].，2007，（8）:48－50．[3]StephenD，Senturia.MicrosystemDesign[M].Boston，USA:KluwerAcademicPublisher，2001.[4]AnsorgeF,WolterJ,RebholzC,etal.Micro-MechatronicsinAu-tomotiveApplication[C].Berlin：Springer,2003：47-57.[5].MEMS[J].，2008，（2）:37－42.[6],.MEMS[J].，2009,28（6）：86-88.[7],.MEMS、[J].,2009,(2):106-108.[8]，.[J].，2008,（11）：33-37.[9],.MEMS[J].()，2009，37(1):70-73.[10].[J].，2003，22（3）：5-8.[11].MMA2204D[J].,2009,11(2):1-2.[12]，，.MEMS[J].,2009,22(5):643-646.[13]，，.MEMS[J].,2009,32(11):51-54.[14]，，.MEMS[J].,2010,23(1):125-126.[15]，.MEMS[J].,2009,27(6):13-18.[16]，.MEMS[J].，2010,17（3）：68-70.[17]，，.MEMS[J].,2009,22(11):1670-1674.[18]，，.MEMS[J].,2009,22(7):1050-1054.8－－