雷尼绍干涉仪使用方法ML-80

-1-一、本次我们主要研究：如何检测机床的螺距误差。因此我们主要的任务在于：1.应该使用什么仪器进行测量2.怎么使用测量仪器3.怎么进行数据分析4.怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统二、根据第一点的要求，我们选择的仪器为：Renishaw激光器测量系统，此仪器检测的范围包括：1.线性测量2.角度测量3.平面度测量4.直线度测量5.垂直度测量6.平行度测量线性测量：是激光器最常见的一种测量。激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激光器系统测量的实际位置，以测量线性定位精度及重复性。三、根据第二点的解释，线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。因此，我们此次使用的检测方法——线性测量。总结以上我们的核心在于：如何操作Renishaw激光器测量系统结合线性测量的方法进行检测，之后将检测得到的数据进行分析，最后将分析得到的数据存放到数控系统中。这样做的目的在于——提高机床的精度。-2-第二章、基础知识2.1什么是螺距误差？开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一定螺距误差，因此在加工过程中会造成零件的外形轮廓偏差。由上面的原因可以得知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。2.2为什么要检测螺距误差？根据2.1节，检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差，即提高机床的精度。2.3怎么检测螺距误差？（1）安装高精度位移检测装置。（2）编制简单的程序，在整个行程中顺序定位于一些位置点上。所选点的数目及距离则受数控系统的限制。（3）记录运动到这些点的实际精确位置。（4）将各点处的误差标出，形成不同指令位置处的误差表。（5）多次测量，取平均值。（6）将该表输入数控系统，数控系统将按此表进行补偿。2.4什么是增量型误差、绝对型误差？①增量型误差增量型误差是指：以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿②绝对型误差绝对型是误差是指：以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿2.5螺距误差补偿的原理是什么？螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较，计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将误差以表格的形式输入数控系统中。这样数控系统在控制该轴的运动时，会自动考虑到误差值，并加以补偿。采用螺距误差补偿功能应注意：螺距误差补偿功能的实现方法又有增量型和绝对型之分。所谓补偿就是指通过特定方法对机床的控制参数进行调整，其参数调整方法也依各数控系统不同而各有差异。第三章、认识激光干涉仪-3-本次试验我们使用的仪器为：Renishaw激光器测量系统3.1激光干涉仪是由什么硬件组成3.1.1什么是硬件？硬件：硬件就是我们看到的一堆由金属、塑料等材料堆成的被称之为“Renishaw激光干涉仪”的东西(事实上，它是由一些机壳和电路板等物构成)。因为是一些看得见、摸得着的东西,又因为都是“硬”的，所以被人们形象地称为“硬件”。3.1.2具体硬件名称以及各自的用途是什么？一、本次使用激光检测仪主要检测螺距误差，因此我们主要使用到以下的仪器：（1）ML10激光器RenishawML10GoldStandard激光器-4--5-以上四个图案为激光罩在不同的状态下的作用A)无光束射出B)缩小横截面光束及目标C）最答光束及目标D）标准测量位置射出最大光来的横截面以及反射光束的探测器孔RenishawML10GoldStandard激光器：ML10是一种单频HeNe激光器，内含对输出激光束稳频的电子线路及对由测量光学镜产生的干涉条纹进行细分和计数处理。其主要作用简单概括为：发射红外线以及返收红外线供特定的软件做分析，记录相关的数据（2）三脚架-6--7--8--9-三脚架及云台可用来安装ML10激光器，将ML10激光器设置在不同的高度，并充分控制ML10激光束的准直。对于大多数机床校准设置，建议将ML10激光器安装在三脚架和云台上。三脚架、安装云台和ML10激光器三合一体，可为ML10光束准直提供下列调整：高度调整水平平移调整角度偏转偏转调整角度俯仰调整其中高度调整是由图9上显示的高度曲柄控制的，水平平移是由图2上显示的平移控制旋钮控制，角度偏转偏移是由图2上显示的旋转微调旋钮控制。图2后的两个示意图为水平平移和角度偏移的使用方法。（3）EC10环境补偿装置-10--11-EC10环境补偿装置可以补偿激光器光束波长在气温、气压、及相对湿度影响之下的变化。大多数机床会随着温度变化膨胀或收缩，可能导致校准发生误差，为了避免校准误差，线性测量软件纳入一种称为热膨胀补偿或“归一化”的数学修正，应用在线性激光读数上。软件使用膨胀系数将测量加以归一（膨胀系数需手动输入），并使用EC10来测量平均机床温度。修正的目的是要评估在20°C(68°F)的温度下执行校准时应得的激光器校准结果。（4）线性测量镜组线性测量镜组可用于测量线性定位精度。线性测量镜组组件包括下列要件，如图1所示：①分光镜②两个线性反射镜③两个光靶以助于光学准直-12-注：当您组合一个分光镜和线性反射镜后，便成为一个线性干涉镜。（5）用于将镜组安装到机床机床上的安装组件-13-镜组安装组件是用来将Renishaw测量镜组安装到CMM或机床上。本系统的设计可以轻易地交换不同的测量镜组，无需重新准直激光器。组件包括：三个安装杆（安装杆有M8螺丝钉可拧上底板、标准磁基或其它Renishaw装置）M8适配器（可连接标准磁基或Renishaw的CMM探头）两个底板两个安装块和安装螺钉（可将光学元件连接至安装杆）镜组安装组件不包括任何可将安装的镜组夹上待测机床的元件，要这么做需视不同的机床而异。一种通用的方式是用磁性安装块直接将钢制底板或/和安装杆装上机床。安装组件的安装杆和底板都是磁性不锈钢所制，因此可以用磁性安装块来加以牢固。3.2激光干涉仪是由哪些软件组成3.1.2什么是软件？软件：是人们为了告诉电脑要做什么事而编写的，电脑能够理解的一串指令，有时也叫代码、程序。3.2.2具体的软件名称以及各自的用途是什么？（1）RenishawLaser10是配套Renishaw激光器测量系统的软件，此软件的资源管理器窗口：-14-这里面包括该仪器所有功能的配套软件，其中线性测长是我们本次研究的软件。（2）线性测量软件-15-下列各表列出各种菜单选项的功能：文件选项/次选项功能新建自动设置随机设置手动设置指导用户通过有关数据采集设置程序，显示目标生成，采集初始化和自动数据采集对话框。倘若您已在会话中定义了目标，就可以选择创建新目标或者修改既有的目标。打开会显示打开对话框，容许您在其中为上一次数据采集会话加载参数。另存为会显示另存为对话框，容许您将数据用一个新文件名保存或保存至另一个目录。属性容许您输入或查看当前的数据采集会话的机床标题信息。最近会话容许您从最近的数据采集会话列表内选择并打开数据文件。退出退出数据采集软件。目标选项/次选项功能自动设置随机设置手动设置会显示目标设置对话框。倘若您已在会话中定义了目标，您可以选择创建新目标或者修改已有的目标。编辑会显示编辑目标数值对话框，容许您更改已定义的目标位置。保存会显示另存为对话框，容许您给要保存的目标设置定义一个文件名或目录。采集选项/次选项功能开始在您定义目标并设置自动采集后开始数据采集过程。继续在中断后继续数据采集过程。环境设置会显示环境设置对话框，容许您手动设定环境参数或选择使用EC10装置进行自动补偿。-16-Tpin/out开/关设置会显示TPin-TPout设置对话框，容许您在其中启用/禁用外部触发并设定触发间距。自动采集设置会显示自动数据采集设置对话框，容许您在其中输入数据采集参数，如最小暂停期间以及过速步长尺寸。数据选项/次选项功能按运行编辑按目标位置编辑会显示数据编辑对话框，容许您在其中编辑在每一个目标按运行或按目标位置所记录的误差值。分析启动RenishawLaser10分析软件。工具选项/次选项功能附加功能/将角度转换为直线度是一个DOS实用程序，可将角度数据文件转换为直线度数据文件。运行软件时，请参阅'IMPORTANTNOTE'（重要注意事项）一节。附加功能/转换数据文件是一个DOS实用程序，可从采集的数据中去除斜率。它也能够缩放及给所采集的数据添加偏移量。附加功能/将数据文件转换为电子表格一个DOS实用程序，可将数据文件从Renishaw文件格式转换为Lotus123电子表格。该格式也能用MicrosoftExcel读取。附加功能/环境监控软件一个DOS实用程序，可显示材料温度、气温、气压和湿度并以电子数据表格式记录。组件/将数据采集到Lotus123电子数据表文件选中时，会加载一个软件组件，可用于将激光读数、误差、环境数据等数据以电子数据表文件格式保存。每一次数据采集软件内采集到一个数据点时，便会记录该数据。通信/设置RS232会显示Renishaw通信对话框，您便能够按机床所配备的控制器类型设置通信参数。通信/终端会显示Renishaw通信终端窗口，您便能够测试及监控通过RS232接口的文件传送。-17-打印旧机床参数新机床参数坐标轴文件零件程序这些选项容许您选择及打印OMP、NMP、TBL和RPP文件。零件程序生产传送查看编辑复制到软盘接收这些选项显示生成、查看及编辑零件程序，并在计算机和控制器间传送RPP文件所需的对话。配置选项/次选项功能数据文件目录容许您定义保存Renishaw数据文件的默认目录。环境设置会显示环境设置对话框，容许您定义默认的膨胀系数值以及用来显示环境参数的单位。测量单位会显示单位设置对话框，容许您定义单位类型（英制或公制），以及用来显示激光测量值及误差值读数的分辨率。角度因子仅适用于角度测量模式。会显示角度因子对话框，容许您在其中输入有关所用角度镜组的详细信息。工具栏会显示一个对话框，容许您在其中更改工具栏的外观。您可以添加或删除按钮并更改它们的显示顺序。设备选择RenishawPC10或PCM10配ML10PC10/ML10仿真GPIB接口通过串口的Bobe盒FederalGauge/RS232容许您选择计算机上所连接或安装的接口类型。接口地址会显示端口地址选择对话框，容许您给计算机上所配备的接口卡设定端口地址。加载配置文件当开始一个采集会话时，软件会从默认文件CURRENT.RCF内读取配置。该选项会显示打开对话框，容许您在其中从自己先前创建的文件中选择一个配置。保存配置文件该选项会显示另存为对话框，容许您在其中将一个自定义配置保存到与CURRENT.RCF文件相同的目录。-18-语言选择该选项容许您用不同的语言，如德语、英语、法语、意大利语、或西班牙语，来显示菜单、对话框、及状态指示灯中的文字。窗口选项/次选项功能标题层叠排列图标古典这些选项用于控制子窗口的排列方式。您可以将它们并排“平铺”或者是彼此“层叠”。默认的选项是“古典”，可能要算普通情况下最好的用法。环境设置信息属性复选这些选项其中之一，会在右边窗口中显示环境参数、可选的光学设置图表、或机床标题信息。1状态2读数3信号4环境倘若子窗口被平铺或层叠，复选这些选项其中之一会使该窗口成为活动窗口，而且在层叠模式中将选中的窗口带到最前面。帮助选项/次选项功能关于PC10设备关于自动采集关于采集会显示一个小窗口，提供关于接口设备、自动采集或采集软件的简短说明。显示的信息包括软件版本号以及至Renishaw网站的链接。帮助会单独显示一个帮助窗口，其中包含本RenishawLaser10校准系统用户手册的信息库。以下为工具栏功能：自动设置，逐步指导您完成自动目标设置、采集初始化以及自动数据采集设置对话框并自动开始数据采集程序。会显示打开对话框，容许您在其中为先前的数据采集会话加载参数。-19-会显示另存为对话框，容许您保存采集的数据。定标激光器。将一个预置值应用至激光读数。在所显示的激光读数方向之间切换。在毫米及英寸间来回切换显示单位。在角度测量模式中，单位将会在度数、毫弧度及弧秒间来回切换。在毫米及英寸间切换误差单位