ESD防静电控制规范

ESD防静电控制规范1/12南京美均电子科技有限公司受控状态：ESD防静电控制规范文件编号：QD4.4.1-2018文件版本：A修改号：0编制审核批准ESD防静电控制规范2/121、目的：规定公司内部的ESD规范，为公司产品在设计、生产、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2、适用范围：适用于本公司的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。3、职责:3.1.各部门主管负责本部门工作区域静电防护措施的执行。3.2.生产部负责生产过程中的静电防护措施的执行。3.3.质量部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。4、概要：本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制,穿插介绍了防静电设施的技术要求，检测方法和作业指导等内容。5、目录：4.1.静电敏感区域的界定。4.2.静电敏感区域的工程环境防静电规范。4.3.静电敏感区域的人员防静电规范。4.4.静电敏感区域的防静电操作方法规范。4.5.静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。4.6.常用的检测方法。4.7.静电防护作业管理指导。4.8.附录A-------ESD相关术语。4.9.附录B-------常用的防静电标志。4.10.附录C-------部分静电敏感器件的静电敏感电压。4.11.附录D------引用的标准及参考文献。4.12.附录E------相关记录。4.13.附录F------版本修订历史记录。5、静电敏感区域的界定：5.1.静电敏感区域确定：5.1.1.ESD敏感器件的生产区域------生产线等。5.1.2.ESD敏感器件的前加工区域------前加工房。5.1.3.ESD敏感器件的贮存区域------库房和在线库。5.1.4.ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。5.1.5.ESD敏感器件的老化区域------老化房。ESD防静电控制规范3/12图A图C黄黑相间的斜条纹静电敏感区域警示标志图B防静电标志5.2.公司的静电敏感器件：5.2.1.MOS器件、MOS管及MOS集成电路。5.2.2.FET器件、包括场效应管和集成电路。5.2.3.TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。5.2.4.AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。5.2.5.X-ROM存储体器件和记忆体器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。5.2.6.CPU微处理器及各种BGA器件。5.2.7.各种二极管、三极管。5.2.8.各种半导体开关元件。5.2.9.各种厚膜和薄膜电阻。5.2.10.钽电解电容。5.2.11.SAW—声表面波器件。5.2.12.石英、晶振体器件。5.2.13.以上元器件组装的PCBA板。5.3.静电敏感区域的标识：5.3.1.静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。5.3.2.从静电敏感区域的入口处开始,在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。如图A:5.3.3.防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运输车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:5.3.4.经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:5.3.5.含有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。5.3.6.设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。5.3.7.整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。5.3.8.交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。6、静电敏感区域的工程环境防静电规范6.1.防静电工程环境的设计原则：ESD防静电控制规范4/12设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:6.1.1.抑制静电荷的积累和静电压的产生6.1.2.安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷6.1.3.防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。6.1.4.防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。6.1.5.在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:表一类别电荷源工作台表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等6.2.防静电工程环境的要求：6.2.1.环境的温度和湿度要求：温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:6.2.1.1.对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。6.2.1.2.有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。6.2.1.3.遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。6.2.1.4.发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。6.2.1.5.每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。6.2.2.地表二6.3.静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:6.3.1.接地线：也称为地线母线，防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用，不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。6.3.2.接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于6mm2，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷朔导线，并以黄绿色为宜。6.3.3.防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，ESD防静电控制规范5/12如鳄鱼夹，插头座等。6.3.4.接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω。6.3.5.地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。6.3.6.接地线的定期检查：6.3.6.1.检查对象：所有的接地线及接地端口。6.3.6.2.检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。6.3.6.3.检查参数：泄漏电阻(接地电阻)。6.3.6.4.检查频率：6.3.6.4.1.每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。6.3.6.4.2.ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。6.3.6.4.3.每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。6.3.6.5.检查标准：6.3.6.5.1.每周检查的标准：小于4欧。6.3.6.5.2.每月检查的标准：0.9×106Ω~1.1×106Ω。6.3.6.5.3.每6个月的检查标准：小于4欧。6.3.7.接地线的定期维护：6.3.7.1.对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。6.3.7.2.确保接地线有效接地。6.3.7.3.对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。6.3.7.4.对于松动的接地线要重新连接。6.3.7.5.按接地线相关规定进行维护。6.4.人体静电防护系统：6.4.1.防静电工作鞋：6.4.1.1.在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配间等对防静电要求较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,经过测试合格后,方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下:6.4.1.1.1.将转换开关拔到左边“FOOTWEAR”档,双脚站在白色不锈钢脚板区域,如下图一。按住“PRESSTOTEST”键,此时,左边(LEFT)指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻,如下图二。如绿灯亮则表示电阻合格。图一图二ESD防静电控制规范6/126.4.1.2.防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用,更换新的。6.4.1.3.检测指标：体积电阻率和摩擦静电压。6.4.1.4.检测标准：0.5*105—1*108Ω和0.10kv。6.4.1.5.检测仪器：体积电阻率—兆欧表,摩擦静电压—静电电压表。6.4.1.6.防静电鞋的使用要求：6.4.1.6.1.为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。6.4.1.6.2.穿防静电鞋时不得穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料。6.4.2.防静电手套或指套：6.4.2.1.在对静电敏感的工位，如MOS管等敏感器件的装配工位，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。6.4.2.2.在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。6.4.2.3.定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。6.4.2.4.防静电手套或指套的防静电特性检查请参照防静电服的部分检查方法。6.4.3.防静电腕带：6.4.3.1.防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率≤100Ωcm接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放,使皮肤上的静电压小于100V，一般该电阻阻值取为106Ω。6.4.3.2.因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带建议使用在线报警防静电腕带，因为它可以实时监控防静电腕带与人体皮肤是否实时导通，从而保证人体皮肤静电能及时释放掉。6.4.3.3.每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作，测试步骤如下:6.4.3.3.1.各分厂将静电环测试仪放在厂房入口处，员工每天上班进入车间时自行测试及做记录，各分厂指定责任人监督、检查测试结果并在测试表的检查人项目栏签名确认。品质部QA检查员的静电环测试及记录在相应分厂完成，仓库及IQC员工的静电环测试及记录在仓库完成。6.4.3.3.2.员工进入车间前应首先佩戴好静电环，然后将静电环上的锷鱼夹夹住静电测试仪的测试端，用手按下测试仪上的PUSHON开关,如静电环正常，则OK指示灯亮(中间的LED亮)如静电环阻值太低，则LO指示灯亮(左边的LEDESD防静电控制规范7/12亮)，如静电环阻值太高，则HI指示灯亮(右边的LED亮)。测试合格者，由佩戴者在静电环测试记录表上当日的编号处画“”反之，画“”。严禁在测试时，将静电环拿在手上进行测试。各部门的责任人应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。6.4.3.3.3.如有测试不良的静电环，值班责任人必须对此静电环重新确认如经过确认后再合格的可正常使用，仍不合格的必须收回更换。记录表上有不合格的记录必须有改善行为。测试记录由测试部保存。6.4.3.3.4.各线领班和生产主任应确保本线