DFG8560-Maintenance-中文版Manual

DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTianDFG8560维护简要手册目录1.清洁机器内部---------------------------------------------------------------------------------------Page22.检查和更换气体滤芯------------------------------------------------------------------------------Page23.清洁Robot-------------------------------------------------------------------------------------------Page34.清洁Spinner部分----------------------------------------------------------------------------------Page35.清洁主轴冷却水管路------------------------------------------------------------------------------Page36.清洁并润滑SpindleZ轴滑轨和丝杆-----------------------------------------------------------Page47.清洁并润滑T-arm的Z轴滑轨和丝杆---------------------------------------------------------Page48.更换调节C/T清洗刷子、油石及Wafer清洗刷子------------------------------------------Page59.更换研磨轮-------------------------------------------------------------------------------------------Page710.SelfGrinding----------------------------------------------------------------------------------------Page1011.手动研磨----------------------------------------------------------------------------------------------Page10DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian1.清洁机器内部（建议周期：1周）1.1准备工具及用品：酒精，无尘布。1.2主要清洁对象：研磨仓。1.3等待机器停止Warmup后，打开机器研磨区域的门及盖子。清洁机器研磨仓。用水枪冲洗;以及用无尘布擦洗。1.4注意：a不要用无尘布在C/T表面擦洗，防止造成C/T堵住。b不要让硬物碰到研磨轮的牙齿，以免损坏。2.检查和更换气体滤芯（建议周期：半年）2.1.打开机器左边的后下方的盖子。2.2.检查滤芯是否变色，或里面是否有杂质。2.3.如果有杂质在里面，请清除。若是有变色或变脏，请更换。2.4.依次拆开调压阀滤芯（均为往左旋出，往右旋入）。abcde2.5.清洁滤芯外壳及更换滤芯（图c中的白色环即是）。DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian3.清洁Robot表面（建议周期：1周）1.1准备工具及用品：纯水，无尘布。1.2等待机器停止Warmup后，打开Robot区域的门。1.3用无尘布沾纯水，拧干后，轻微地擦试Robot表面。1.4用气枪吹Robot表面。1.5注意：a擦试Robot表面时，不能用大力，轻微擦试。以免Robot损坏。4.清洁Spinner部分（建议周期：1周）4.1准备工具及用品：油石，酒精，无尘布。4.2等待机器停止Warmup后，打开Spinner区域的门。4.3清洁Spinner清洗仓。4.4用无尘布沾酒精清洁SpinnerTable周围金属区域。4.5用油石清洁SpinnerTable陶瓷区域。5.清洁Spindle冷却水管路（建议周期：半年）5.1准备工具及用品：酒精，无尘布。5.2等待机器停止Warmup后，打开机器研磨区域的门。5.3拔出WaterIn的水管，用气枪将管路的余水吹出去。5.4从WaterIn这头注入酒精，并用气枪将管路内的酒精吹出去，以作冲洗。反复3~5次。5.5清洁完毕后，将WaterIn的水管装回原处。并试运行。检查是否漏水DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian5.6用无尘布将漏在旁边的水擦干。6.润滑SpindleZ轴滑轨和丝杆（建议周期：半年）6.1准备工具及用品：油枪，润滑油，无尘布，6.2等待机器停止Warmup后，打开机器研磨区域的门。6.3往加油口注入新的润滑油。*红色圈位置为注油口。a.打开门b.往加油口注入新的润滑油6.4直到旧油出来后，上下移动Z轴，用无尘布将旧油擦掉。6.5再加入新的润滑油。6.6上下移动Z轴，以至丝杆和滑轨均匀地受到润滑。7.清洁并润滑T-arm的Z轴滑轨和丝杆（建议周期：半年）7.1准备工具及用品：油枪，润滑油，无尘布，7.2等待机器停止Warmup后，打开机器侧面的盖子。*红色圈位置为加油区域。DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian7.3用无尘布将旧油擦掉。7.4往丝杆和导轨上均匀的抹润滑油。7.5上下移动T-armZ轴，以均匀地润滑丝杆和导轨。8.更换、调节C/T清洗刷子、油石及Wafer清洗刷子8.1准备工具及用品：Handypanel，内六角扳手（M3）。8.2等待机器停止Warmup后，连接HandyPanel.a.按MAINT.键b.按MachineMnt.键c.按Handypanel键d.出现连接提示e.连接Handypanel8.3打开Z1部分的门，拆除刷子部分的外盖。a.打开机器左侧中门b.拆除外盖（4颗M3内六角螺丝）8.4拆除刷子或者油石。8.5装上新的刷子或者油石。8.6将刷子部分移至C/T上方并将其下降至C/T表面。8.7松开4颗固定螺丝。DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTiana.按CT&WAFWASH键b.按N键c.按WASH键d.刷子移至C/T上方e.按↓键f.松开4颗固定螺丝8.8让刷子自然下落在C/T表面。8.9锁紧四颗固定螺丝。8.10上移刷子并移回至初始位置。8.11装回刷子部分的外盖。a.按↑键b.刷子回至C/T上方c.按ESC键d.刷子移至原始位置e.装回外盖DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian9.更换研磨轮.9.1准备工具及用品：Handypanel，内六角扳手（M5），扭力扳手，游标卡尺，研磨板(粗磨磨轮及SelfGrinding磨轮用粗研磨板，细磨磨轮用细研磨板),准备更换的新磨轮。a内六角、扭力扳手b游标卡尺c研磨板d准备更换的研磨轮9.2等待机器Warmup停止。9.3确认Dressing参数。连接HandyPanel.(参照8.2)9.3进入Z1或者Z2Sequence，选择Wheelchange.按步骤走。9.4用游标卡尺量出新磨轮牙齿的长度，也可参照新磨轮的技术资料表。a选择WheelChangeb选择目标C/Tc按OKdWarmup停止，按OKe输入新磨轮牙齿的长度,按EnterDFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian9.4打开研磨区域的门及盖子。拆下旧磨轮。9.5换上新的磨轮。并按ResetWheelWear.a拆下旧磨轮，换上新磨轮b按ResetWheelWear9.6盖上Inner&SideCover,关上门，进行自动测高。a目标C/T移到测高位置b自动测高后，按Memorizec测高完成，按OK9.7测高完成后，选择合适的研磨板(粗磨磨轮及SelfGrinding磨轮用粗研磨板，细磨磨轮用细研磨板)量出研磨板厚度，并将其放在C/T中心。进行Dressing。a吸真空b选择合适的Dressing参数c确认参数后，按OKd输入研磨板的厚度，按Entere盖上盖子f按OK，开始WarmupDFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian9.8Warmup完成后，进行Dressing。a等待Warmup完成b按OK，进行Dressing9.9Dressing完成后，取出研磨板。aDressing完成后，按OKbWarmup停止后，按OKc吹气，取出研磨板并停止吹气9.10进行测高。a目标C/T移到测高位置b自动测高后，按Memorizec测高完成，按OK9.11测高完成后，更换研磨轮完成。DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian10.SelfGrinding.10.1等待机器停止Warmup后，确认SelfGrinding参数.10.2连接Handypanel(参照8.2)。10.3更换SelfGrinding磨轮(参照9.Wheelchange)，完成Dressing和测高。10.4拆走C/T,调节Z2&C/T的倾斜度。装回C/T。10.5进入Z2Sequence.进行自动SelfGrinding。a按AutoSelfGrindingb确认并按OKc选择合适的参数，按OKd确认参数内容后，按OKe按AutoSelf进行SelfGrindingf完成后，按OK10.6SelfGrinding完成后，设备将自动测量出三个C/T的高度，将其它两个C/T与目标C/T的高度差值记入机器参数里。11.手动研磨11.1等待机器停止Warmup后，连接Handypanel(参照8.2)。11.2进入Z1或者Z2Sequence，选择ManualGrinding。a按Z1Sequenceb按Z2Sequencec进入后，按ManualGrind11.3进入相关选择项进行选择。aZ1only或Z1&Z2;Gugue是否使用;选择C/T.bC/T及Wafer清洗是否使用;选择研磨后要停的位置。DFG8560维护简要手册---------DISCOGuangdong-----JevonsTian11.4确认Z1&Z2的研磨程序。a确认参数后，按Nb最后确认按OK，并按P11.5放上Wafer,吸真空并确认。a按OKb选择真空范围并吸真空c按OK确认Gauge的路径11.6关上盖子及门，Warmup。a关上盖子及门b按OK，开始Warmup.CWarmup足够时按OK11.7进行研磨。a按Grind进行研磨b研磨完成后，按OKc按OK结束研磨11.8取出Wafer，结束手动研磨。a释放真空，取出Waferb关上盖子及门c按OK，结束流程