MEMS压阻式加速度传感器的研究进展

MEMS压阻式加速度传感器的研究进展作者：范树新，耿振亚，聂丽梅作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001刊名：采矿技术英文刊名：MININGTECHNOLOGY年，卷(期)：2008,8(4)被引用次数：2次参考文献(5条)1.WeiZhang;YanfengZhangANovelPiezoresistiveAccelerometerforHighAccuracyandOverloadAbility2004(03)2.RMukhiya;AAdamiFEMBasedDesignandSimulationofBulkmicromachinedMEMSAccelerometerswithLowCrossAxisSensitivity2006(04)3.QiangZou;WeiTanImplantableBiaxialPiezoresistiveAccelerometerforSensormotorControl20044.RanjithAmarasinghe1;DzungVietDaoDesign&FabricationofPiezoresistiveSixDegreeofFreedomAccelerometerforBiomechanicalApplications20045.AChaehoi;L.LatorreAMonolithicCMOS3-axisAccelerometerCombiningPiezoresistiveandHeatTransferEffects2005(01)本文读者也读过(9条)1.迟晓珠.金鸿章.王劲松压阻式复合惯性加速度传感器的研究[会议论文]-20032.范树新.耿振亚.聂丽梅MEMS压阻式加速度传感器的研究进展[会议论文]-20083.李薇.林干.胡庆云.LIWei.LINGan.HUQing-yun基于HLA的分布式传感器管理系统仿真[期刊论文]-微计算机信息2008,24(19)4.倪卫其.郑丹.李晨忱.郭强.董瑾不同结构的自呼吸式μPEMFC及其性能[会议论文]-20065.迟晓珠.金鸿章.崔宏敏.王劲松压阻式复合加速度传感器的研究[期刊论文]-传感器技术2004,23(6)6.黄树森.郭南翔.黄晖.宋朝辉.李欣昕.王跃林一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化[会议论文]-20037.朱利锋.姜哲.ZHU-Li-feng.JIANG-Zhe基于压电传感器获取任意边界板结构体积速度[期刊论文]-噪声与振动控制2007,27(6)8.沈雪瑾.侯利程.SHENXue-jin.HOULi-chengMEMS动平板的切向静电阻力[期刊论文]-摩擦学学报2008,28(6)9.张轶铭.舒琼.赵刚.田尧.李文.陈兢基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺[会议论文]-2009引证文献(2条)1.魏长征.周伟.李昕欣基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器[期刊论文]-仪表技术与传感器2011(11)2.陈瑛.宋俊磊地震仪的发展历史及现状综述[期刊论文]-地球物理学进展2013(3)本文链接：