RENA设备SOP操作流程-更换隔膜泵

RENA设备SOP操作流程更换隔膜泵1制作:刘国柱杨辉审核:2009.08.17---2009.08.22首先设备停止进料，点击STOP键停止设备运行2以更换HNO3供液隔膜泵为例点击MODEMANUAL进入手动模式3以更换HNO3供液隔膜泵为例点击MANUAL进入手动操作界面4以更换HNO3供液隔膜泵为例5以更换HNO3供液隔膜泵为例点击etchbath，选择MODEMAN,然后按按钮”systemdraining把etchbath的化学品排空以更换HNO3供液隔膜泵为例●刻蚀槽以及tank冲洗，按下”systemrinsing“冲洗（荧幕的左边）.刻蚀槽以及tank将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数》第二参数，第三档位，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和tank将是空的（建议冲洗两次，每次循环10分钟）。6以更换HNO3供液隔膜泵为例7冲洗结束后来到外围酸房并防护用品穿好以更换HNO3供液隔膜泵为例8●先关闭药罐压缩空气总进气阀以更换HNO3供液隔膜泵为例9●然后关闭隔膜泵进药端阀门和隔膜泵出药端阀门，拆下隔膜泵与各阀门处的接头，压缩空气管接头出药控制阀进药控制阀CDA接头泵接口泵接口以更换HNO3供液隔膜泵为例10●在拆下各零接头以后应该使用水枪对隔膜泵的外面和管道周边进行清洗，以免药液的残留造成危险，更换新的隔膜泵，打开接头阀门及总压缩空气控制阀，并手动加液测试是否正常。更换过程总结11●因更换隔膜泵是危险工作，必须两人作业，全部穿戴防护用品，更换过程不可野蛮操作，拆开接头必须横向推离，不可上下晃动拔出，避免药液飞溅伤到自己及他人。清洗拆下的隔膜泵时也必须穿戴好防护用品，清洗过后，必须用事先准备好的防化袋包装好。●此泵更换过程是根据泵使用寿命提前更换，如泵未到使用寿命而出现故障，必须先判是否为断隔膜泵本身问题，再进行处理，是否需要更换。●判断过程：●1.首先确认外围药房是否有药液。●2.手动加液检查控制泵的电磁阀及气动阀是否工作。●3.检查控制控制压控是否正常。●4.检查外围控制液位SENSOR显示是否正常。ThankYou谢谢