AE(Advanced-Energy)直流电源

AE(AdvancedEnergy)直流电源Pinnacle系列产品业界公认的Pinnacle直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。优势:●最低的运行和安装成本●业界最快的弧反应时间●可配置的弧反应参数●最大的工艺效率●精确的工艺控制特点:●最低的存储能量——每千瓦输出不到1mJ●无需调节输出变压器●4:1的阻抗范围●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间●±0.1%的输出重复性●Joule模式——最优化的能量传送.规格：●输入电压：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz●功率因素：负荷＞90%●输出电压：低Z、标准Z或高Z●输出极性：浮动默认值，具有正和负功能●输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS●输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。●负荷调整：±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的负荷变化●温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃●模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字●串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K）AEBus协议ASCⅡ协议（MDX和仿真）Profibus（可选波特1.5或12MB）AEBus协议具有DeviceNet?选项●输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环●输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）●重量：29.5kgPinnacle?6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KWPinnaclePlus+系列AdvancedEnergy(AE)的PinnaclePlus+电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，PinnaclePlus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:●更高的沉积率与产品率●薄膜均匀性和品质一流●成弧造成的基材损坏减少●成本更低●系统整合容易●极佳的工艺灵活性和宽容度●重复性能●在过度曲线上运行稳定●吞吐量更高●便于监控●无与伦比的系统灵活性特点:●一个紧凑型封装●频率调节范围为5-350kHz●占空比高达45%●电压范围宽——单输出宽阻抗范围●大功率运行●基材温度低●单输出（5kW和10kW型号）●用于双阴极生产的双输出（双路5kW型号）●绝佳的弧控制●反应性溅射闭环控制规格：●输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出●电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）●输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：＃6AWG●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头●最大电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC●频率：5到350KHz，可变●反向电压：工作电压的10%●点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC●调节模式：功率、电压或电流●交流线电压：200/208、400或480VAC●电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ400VAC：标称值8.5A/Φ480VAC：标称值7.5A/Φ5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/Φ400VAC：标称值17A/Φ480VAC：标称值15A/Φ●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）●重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kgPinnaclePlus+5KW、5/5KW、10KWPinnacle3000系列AdvancedEnergy的Pinnacle3000直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。优势:●经过证明的Pinnacle性能和可靠性●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本●通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色●快速、可配置的弧反应——弧损伤少●精确的工艺控制●多种显示/控制选择●符合安全/辐射标准特点:●业界最高的效率和功率因素●紧凑——在一个2-U、1/2支架封装中，功率达3000W●单输出抽头，疲惫范围广泛●Profibus和RS-232串行通信●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间●仅400VAC输入●存储能量低——每千瓦输出不到6mJ●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%●Joule模式——最优化的能量传送●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制●储存设定自动保存●有CE标志规格：●输入电压：400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz●输入电流：5A/Φ●过流保护：10ADC●输出功率：3KW●输出电压：370-1000VDC满功率输出●尺寸：87×216×517mm（高×宽×长）●重量：9.1kgPinnacle3000WPinnacleDiamond系列在工艺和偏压应用中，PinnacleDiamond直流电源都能提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提高了产量。优势:●经过证明的Pinnacle性能和可靠性●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本●通用性——在工艺和偏压应用上均表现出色●快速、可配置的弧反应——弧损伤少●众多显示/控制选项●精确的工艺控制●符合安全/辐射标准特点:●业界最高的效率和功率因素●紧凑——在一个3-U、1/2支架封装中，功率高达15kW●单输出抽头，匹配范围广泛●Profibus和RS-232串行通信●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间●水冷式●仅400VAC输入●存储能量低——每千瓦输出不到6mJ●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%●Joule模式——最优化的能量传送●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制●储存设定自动保存●有CE标志规格：●输入电压：400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz●输入电流：5A/Φ●过流保护：30ADC●输出功率：8KW、10KW和15KW●输出电压：400-800VDC满功率输出（500-1000VDC可选）●尺寸：8KW/10KW：499.7×132.3×215.9mm（长×宽×高）15KW：575.9×132.3×215.9mm（长×宽×高）●重量：8KW/10KW：38KG15KW：20KGPinnacleDiamond8KW、10KW、15KWMDX系列500WMDX系列500W在真空环境中经久耐用，能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。优势:●超载内置保护●可靠性和耐用性●快速反应时间●兼容性认证特点:●多级弧抑制及灭弧●用户I/O接入●功率、电流或电压调节功能规格：●输入电压：90-132VAC（50-60HZ），1Φ180-265VAC（50-60HZ），1Φ●输入电流：10A@120VAC@500W6.3A@230VAC@500W●输出电压/电流：0-600V@0-1A，500W0-1200V@0-0.5A，2000W●输出功率：0-500W●尺寸：（单）86.63×215.9×406.4mm（高×宽×长）（双）86.63×482.6×406.4mm（高×宽×长）●重量：（单）5.57KG（双）11.14KGMDX500W1kW和1.5kWMDX系列1kW和1.5kW电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。优势:●针对标准Z和低Z应用的两种配置●高频开关电路从线路到负载的效率超过90%●Arc-Out?抑制电路●常用作直流磁控溅射电源特点:●尺寸小●输出纹波很低●可调节抑弧时间规格：●输出功率：MDX1KW：1000W，MDX1.5KW：1500W●输出电压：1000V，1300V；500V，750V●点火电压：1500V；900V，1200V●输入电压/电流：MDX1KW：115VAC，50/60HZ±10%，16Amax；208/220VAC50/60HZ±10%，8.9A●MDX1.5KW：208/220VAC50/60HZ±10%，13.4A●尺寸：175.3×266.7×400mm●重量：8.6KGMDX1KW、1.5KWE'Wave双极脉冲直流电系列AdvancedEnergy的E'Wave双极脉冲直流电源改善了表面均匀性，减少了DDPF工艺流程(dual-damasceneprocessflow,DDPF)应用的镀铜阶段之附加消耗，包括在生产环境和铜工艺开发中的晶圆电镀。E'Wave电源提供多达三个通道，每个都有一个独立驱动的双极电源，能够生成、存储和运行多达15个由电流控制或由电压控制的波形。优势:●绝佳的填隙●一流的表面均匀性●降低了附加消耗●强有力的监控●减少了无尘室空间要求●广泛的配置选择特点:●通用波形形成●多达三个独立控制的通道●双极脉冲直流电输出，0-5kHz●高电流能力●四终端控制和晶圆的电压测量●主机接口●紧凑型封装规格：●输入电压：180-230VAC3Φ●频率：47-63HZ●输出功率：2400W最大，2000W●尺寸：127×432×660mm（高×宽×长）●重量：30KGE'Wave?2400WAE(AdvancedEnergy)低频/中频电源PDX中频电源系列PDX系列小功率（1250和1400W）及大功率（5000和8000W）中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性，提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制，确保较高的工艺重复性，并提高了吞吐量。PDX1250规格：●输出功率：18-1250W●频率：325-450KHz●反向功率：250Wmax●输入电压：180-253VAC，50/60HZ，1Φ●输入电流：15ARMSmax●最大输出电压：300V●最大输出电流：6A●冷却方式：强制风冷●尺寸：89×483×483mm（高×宽×长）●重量：＜14KGPDX1400规格：●输出功率：25-1400W●频率：235-305KHz●反向功率：280Wmax●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ●输入电流：15ARMSmax●最大输出电压：300V●最大输出电流：6A●冷却方式：强制风冷●尺寸：89×483×483mm（高×宽×长）●重量：＜14KGPDX5000规格：●输出功率：100-5000W●频率：330-460kHz●反向功率：1500W●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ●输入电流：18A●最大输出电压：735V●最大输出电流：14.9A●运行环境：5-30℃●冷却方式：水冷2gpm@0-30℃●尺寸：178×483×508（高×宽×长）●重量：41KGPDX8000规格：●输出功率：100-8000W●频率：340-440kHz●反向功率：1500W●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ●输入电流：29A●最大输出电压：735V●最大输出电流：14.9A●运行环境：5-30