CIGS薄膜太阳能电池工艺流程

序号设备名称数量（套）工艺步骤作用1基板玻璃上料机2将玻璃从卡架中取出放到指定位置作为基板玻璃2璃清洗机12中压高温DI水冲淋、滚刷和烘干清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕3Sputter1通过DCSputter将钼金属均匀地溅射到玻璃基板上，通过测试表面电阻的动作检测质量，控制溅射。金属薄膜层Mo在CIGS薄膜太阳能电池中起金属背电极作用4P1激光划线机1P1采用激光划刻Mo层，激光为532nm波长的绿光金属Mo膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元，提高电池性能5清洗机21滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干清洗掉玻璃表面由于P1划刻后留有的金属Mo颗粒残渣以及P1划刻线凹槽内残留的金属Mo颗粒6检测设备1探针通过弹簧式多级接触方式检测主要对划线不完整的、划线瑕疵的、以及划线宽度和距离，并检测是否有短路现象7PECVD蒸镀机3采用铜，铟，镓的线性蒸发源在硒的环境中沉积形成CIGS电池吸收层。在真空腔室内需要通过在线的X射线荧光光谱分析仪来监控CIGS膜层成分，根据检测结果调整沉蒸镀电池吸收层（CIGS)8化学水浴设备4当化学浴中的溶液（Cd呈离子状态）漫过CIGS膜层表面时，玻璃基板被开始加热，同时玻璃做三维震荡，以利于CdS膜层的均匀沉积Cds的作用主要是保护CIGS膜层免受ZnO薄膜高能量溅镀时界面受到创伤9清洗机31中高压DI水喷淋、滚刷（毛刷不接触玻璃镀膜面）、风刀高温烘干.清洗掉化学浴后玻璃表面残留的化学药品10Sputter1采用脉冲直流将ZnO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上薄膜i-ZnO(纯ZnO本征层)镀在CIGS/CdS异质结上的一层缓冲层，一般厚度为50nm，可有效提高电池组件整体效率，同时起到前电极AZO层与CIGS/CdS异质结层之间良好的紧密衔接11P2机械划线机1机械划刻方式CIGS/CdS/i-ZnO膜层作为电池的光吸收层，需要在被划刻为多个小单元12Sputter1采用直流将AZO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上薄膜ZnO:Al（AZO）层在CIGS薄膜太阳能电池中起金属氧化物前电极作用13P3机械划线机1采用激光划刻ZnO:Al金属氧化物膜层，激光为532nm波长的绿光ZnO:Al金属氧化物膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元14清边机2去除玻璃板四边从Mo层至AZO层的所有膜层清边可以将电池有效区域与玻璃边缘分开,保证电池板良好的边缘绝缘效果，同时防止封装膜浸水后漏电流的产生。15低照度检测机构1在低照度下检测所有子电池的开路电压用于判断是否存在并联电阻16激光钻孔机1激光钻孔孔洞为汇流条与接线盒之间连接所需的穿插孔17清洗机41滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干去除清边后残留的金属膜和玻璃渣18导线连接1铜带分别粘贴在CIGS电池板的两侧正负极电池上在于将CIGS薄膜电池板产生的电流引出至接线盒正19前玻璃上料机2将玻璃从卡架中取出放到指定位置增加电池强度20清洗机51中压高温DI水冲淋、滚刷和烘干清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕21合片机1将超白玻璃准确的放置基板上超白玻璃放置在电池基板上，层压后增加组件的强22层压机1将已叠层好的电池组件传送到层压机中，然后将组件密闭，抽真空施加压力的同时加热使夹层中的PVB胶层熔合，将前电池基板与背玻璃板紧紧的粘贴在一起对已进行完前段工程的电池片进行封装工作23接线盒组装1将接线盒粘接在超白玻璃上，并将接线盒与汇流导电条焊接起来用接线盒将电池组件连接起来60MWCIGS薄膜太阳能电池生产工艺