电子元器件行业半导体设备国产化系列跟踪上海微电子对接市场补国产光刻缺口砥砺前行促企业创新发展

请务必阅读正文之后的免责条款部分[Table_MainInfo][Table_Title]2019.04.11半导体设备国产化系列跟踪：上海微电子—对接市场补国产光刻缺口，砥砺前行促企业创新发展补国产光刻缺口，砥砺前行促企业创新发展王聪（分析师）张天闻（研究助理）[e-mail]@gtjas.com证书编号S0880517010002S0880118090094本报告导读：上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商。公司目前在中低端光刻机领域技术先进，并在国内拥有较高市场份额，发展潜力巨大。摘要：[Table_Summary]上海微电子是国产光刻设备龙头企业。公司主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售，其中光刻设备是公司的主营业务。公司在光刻设备领域拥有全国最先进的技术，产品目应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试，以及平板显示、高亮度LED等领域。光刻设备市场空间广阔，行业龙头集中。晶圆尺寸变大和制程缩小将使产线所需的设备数量加大，性能要求变高。随着产业转移和建厂潮的推动和边际需求改善，光刻设备市场将不断增长。光刻机设备市场龙头集中，全球光刻机出货量99%集中在ASML，尼康和佳能，最先进的EUV光刻机被ASML垄断。Nikon和Canon目前在高端市场技术与ASML相差甚远，几乎完全退出市场，Canon也退出了ArF光源光刻机研发与销售，将其业务重点集中于中低端光刻机市场，包括封装光刻机、LED光刻机以及面板光刻机。公司的IC前道光刻机逐渐取得阶段性成果，积极布局FPD光刻机产品线，继续扩大在中低端光刻机市场的优势。目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显，但是不断取得阶段性的成果，已经实现90nm制程。公司已经实现从低端切入市场，在中低端市场中具有高国内市场占有率。公司拥有先进的封装光刻机技术，目前已成为封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达80%，全球市场占有率达40%。公司LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED光刻机市占率第一。目前公司积极进行FPD光刻机研发，实现首台4.5代TFT投影光刻机进入用户生产线，公司6代以下机型全球领先，并逐步布局研发6代及6代以上的产品，努力切入主流厂商供应，未来有望打破长期被尼康和佳能所垄断的FPD光刻机市场格局。投资建议。通过跟踪上海微电子成长历史，我们认为随着本轮半导体晶圆建厂热潮，像上海微电子这种具有自主知识产权的半导体设备企业将会深度受益产业发展，同时利用资本平台快速崛起，上市标的推荐北方华创（002371）、盛美半导体（ACMR.O），中微公司（科创板拟上市）受益。风险提示。公司晶圆、面板等市场开拓不及预期。[Table_Invest]评级：增持上次评级：增持[Table_subIndustry]细分行业评级半导体增持[Table_Report]相关报告电子元器件：《半导体设备国产化系列跟踪：中微半导体—刻蚀、MOCVD》2019.03.25电子元器件：《下一个时代：5G+AI》2019.02.18电子元器件：《多轮驱动刻蚀市场，大陆厂商崛起可期》2018.09.27电子元器件：《5G基建脚步临近，PCB板大有可为》2018.08.14印刷电路板：《国内产业集中度提升，内资大厂加速崛起》2018.07.10行业专题研究电子元器件股票研究证券研究报告股票报告网整理光刻设备中国龙头，各方扶持蓄力发展.............................................31.1.上海微电子技术先进，是中国光刻设备龙头厂商......................31.2.公司在大陆市场份额高，业绩逐渐向好......................................41.3.公司国有股份占比高......................................................................62.光刻机：高壁垒资本密集核心设备，市场广阔龙头集中.................62.1.光刻技术是实现先进制程的关键设备..........................................62.2.光刻机市场空间广阔，高低端市场格局迥异..............................92.2.1.光刻机市场龙头集中，中低端市场广阔竞争激烈...............92.2.2.半导体产线升级为光刻设备带来更大需求.........................133.对接多元光刻机市场需求，积极开拓封装、LED和平板显示光刻机业务..............................................................................................................133.1.公司前道光刻机差距较大，后道封装光刻机优势明显............133.1.1.公司前道光刻机与国际先进水平差距较大.........................133.1.2.公司封装光刻机技术先进，未来将依托于广阔市场不断发展143.2.国内LED市场需求快速增长，公司LED光刻机性能指标领先153.3.国内FPD产业高速发展，公司积极开拓FPD光刻机市场......164.投资建议...............................................................................................195.风险提示...............................................................................................19股票报告网整理光刻设备中国龙头，各方扶持蓄力发展1.1.上海微电子技术先进，是中国光刻设备龙头厂商上海微电子是在国家科技部和上海市政府共同推动下，由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技企业。公司成立于2002年，主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售，其中光刻设备是公司的主营业务。公司在光刻设备领域拥有全国最先进的技术。目前公司光刻机可以应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试，以及平板显示、高亮度LED等领域。图1：公司历史沿革数据来源：公司官网，国泰君安证券研究表1：公司研发实力广受认可时间奖项2008.12公司被评为“上海市高新技术企业”2010.08公司被评为“上海市创新型企业”2012.06SSB500系列先进封装光刻机产品荣获“上海市专利新产品”2012.11SSB500系列先进封装光刻机荣获“2012年中国国际工业博览会金奖”2012.12研究课题《纳米精度多自由运动系统关键技术及其应用》荣获“国家技术发明二等奖”2013.11被评为第一批国家级知识产权示范企业2014.03先进封装光刻机创新团队入选科技部创新人才推进计划重点领域创新团队2014.10创新研发团队荣获由中组部、中宣部、人社部、科技部获批并颁发的“全国专业技术人才先进集体”奖2016.01技术中心被认定为“国家企业技术中心”2016.11应用于平板显示的SSB245高分辨率投影曝光机荣获“2016年中国国际工业博览会金奖”2017.03“平板显示高精细度图案化工艺和装备关键技术开发及应用”任务被上海市人民政府授予上海市科学技术进步奖一等奖2017.08入选为第一批“上海品质”试点标准创建单位（共7家）2017.11SPA200系列光配向设备喜获第十九届中国国际工业博览会银奖2018.06上海市人民政府、上海市质量监督局、上海品牌国际认证联盟授予的“上海品牌”认证荣誉称号，成为首批获得该认证的企业数据来源：公司官网，国泰君安证券研究股票报告网整理公司在大陆市场份额高，业绩逐渐向好公司是大陆光刻设备龙头企业。目前公司所研发的高端前道光刻机实现90nm制程。在中低端先进封装光刻机和LED光刻机领域，公司技术领先，在中国大陆市场份额已经超过80%。其先进封装光刻机率先实现量产并远销海外市场，获得多项大奖和技术认证广受业内认可。截止目前公司目前已经销售各类投影光刻设备150台以上，年产量已经超过100台。根据芯思想数据，上海微电子2018年出货大概在50-60台之间。根据中国半导体协会，公司在半导体设备商中排名第5，是唯一上榜的专门研究销售光刻机的厂商。表2：公司在半导体设备厂商中排名靠前序号企业名称是否主攻光刻机业务1中电科电子装备否2北方华创否3中微半导体否4沈阳拓荆科技否5上海微电子是数据来源：中国半导体行业协会，国泰君安证券研究备注：未填报季度统计报表的企业不在统计范围内表3：公司光刻机技术情况光刻机类别公司技术情况公司产品IC前道制造90nm实现工程化,尚未完全产业化IC后道先进封装领先LED、MEMS、PowerDevices制造用光刻机领先股票报告网整理面板光刻机进入市场数据来源：公司官网，国泰君安证券研究公司具有强大的研发团队，自主创新能力不断提升。公司拥有约1150名研发人员，占据总员工数的76.7%。在公司努力和国家的大力支持下，公司不断通过引进优秀的人才壮大核心团队以进一步提升公司的竞争力和产品研发效率。根据企查查数据，公司近年来专利发布数量呈增长态势，这也显示出上微自主创新能力不断提升。截至2018年12月，SMEE直接持有各类专利及专利申请超过2400项，同时公司通过建设并参与产业知识产权联盟，进一步整合共享了大量联盟成员知识产权资源，涉及光刻设备、激光应用、检测类、特殊应用类等各大产品技术领域，全面覆盖产品的主要销售地域，使得公司竞争实力不断提升。公司是国家重点扶持企业。上海微电子在国家02专项的支持下积极布局光刻机制造。图2：公司发布的专利数量呈增长态势（单位：件）数据来源：企查查，国泰君安证券研究上海微电子积极为IPO做准备。根据证监会公布的《上海微电子装备（集团）股份有限公司辅导备案基本情况表》，公司已经在2017年12月27日与中信建投证券股份有限公司签署辅导协议并进行辅导备案。股票报告网整理公司实控人是上海国资委公司最大股东为上海电气，股本占比达到32.09%。上海市国资委是公司的实际控制人，其通过电气集团、上海科投、泰力投资等股东合计持有公司53.49%的股权。公司拥有4家全资子公司以及一家参股子公司。图3：公司股权架构数据来源：企查查，国泰君安证券研究所2.光刻机：高壁垒资本密集核心设备，市场广阔龙头集中2.1.光刻技术是实现先进制程的关键设备光刻机应用广泛，包括IC前道光刻机、用于封装的后道光刻机以及用于LED领域及面板领域的光刻机等等。封装光刻机对于光刻的精度要求低于前道光刻要求，面板光刻机与IC前道光刻机工艺相比技术精度也更低，一般为微米级。IC前道光刻机技术最为复杂，光刻工艺是IC制造的核心环节，利用光刻技术可以将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上。光刻机是一种投影曝光系统，包括光源、光学镜片、对准系统等。在制造过程中，通过投射光束，穿过掩膜板和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶，经过显影后可以将电路图最终转移到硅晶圆上。股票报告网整理htt