Alicat质量流量控制器操作手册

气体质量流量控制器操作手册10/26/2005Rev.4DOC-ALIMAN16C保护你的权益和延长你的产品使用寿命设备应用的注意事项请不要随意拆卸，替换部件，或者执行未经认可的修正。这样会使产品失去保修。本设备无用户可维护部件，并且只能由厂家授权方维护或维修。不要在易爆，潮湿或腐蚀的环境下使用此产品。不要用于任何腐蚀性的气体，例如：氨，丙烯，HCI，SO2，H2S，NO2，NO，硅烷，氯，等等不要在流动气体，当水蒸汽凝结成水，并堵塞产品内部的条件下使用此产品，这样会造成压力传感器的破坏不要使用一个量程范围超出实际测量值很多的流量计，例如，不要把1000升的量程用在100升的应用上，这样会导致流量计达不到理想的精度。判断你的流量计量程，确定工况流量是流量计满量程的70%左右。设备安装的注意事项不要快速的切断/开启阀，那样会致使流量计处在瞬时的高压下－（尤其重要的是低流量（50SCCM和更低）和小流量的流量线路），因为那样能造成差压传感器的损坏。在固定或移动配件时，不要让控制器的阀门处于受力状态——阀门是一个精密设备，任何阀径的扭曲都会影响产品的控制性能。不要让流量控制器的外壳置于任何液体中，因为本产品不具有防水的电气外壳。保证电源具有正确的正负极，电压和电流确保在使用一个DC61或其他钝切电缆时，在通电之前请仔细检查你的接线线路。如果可能的话，请确保在设备的前端使用一个20-50微米）过滤系统（设备操作的建议确保质量和体积流量计的标定介质与测量介质一致。确保考虑到了当改变测量气体或测混合气体时，会减小质量和体积流量计的精度，和出现无法预测的结果。请查看手册中关于校正附备气体粘度的指示。确保设备不要使用在高压，或高背压的环境中。通常使用在10~15PSIG（0.66~1bar）的压力下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，并且还会给仪表造成损害。确保设备经常复位，在复位的时候，应该确保此时绝对没有流量通过。（控制器将在设定点为零的时候自动复位）确保产品使用在150PSIG压力下。对于压力表和压力控制器，产品的压力应该在其满量程之内。产品特别指定，在低压使用时可能会减小耐压极限。确保产品在最佳性能下运行确保可以调节你的控制器P和D阀参数设置，以便适应您的系统要求，注意调节前的最初设置永远不要在没有压力的情况下，来设置控制器的非零的设定点。这样的话，控制器会给阀门提供一个满电压，来达到这个设定点。这样会使阀门变得非常热而永久损坏确保根据你的重新校准表来使用产品如果您有问题请联系我们。我们乐意为您提供帮助！北京颇特仪器有限公司联系电话：[phone]、转28分机技术部目录页数安装5管道设备5装配5应用5电源和信号连接6输入信号7模拟输入信号7RS-232数字输入信号7输出信号7RS-232数字输出信号7标准（0-5Vdc）电压输出信号8选项0-10Vdc电压输出信号8选项（4-20mA）电流输出信号8选项第2路模拟输出信号8气体质量流量控制器操作说明10主模式10设定点10气体绝对压力10气体温度10体积流量11质量流量11闪烁报警信息11选择菜单模式11控制设定点模式12输入12回路13选择回路13气体选择模式14通信选择模式15部件ID15波特率15数据速率15厂家数据模式16目录页数气体体积流量控制器操作说明17主模式17体积流量17设定点17闪烁报错信息17选择菜单模式18控制设定点模式18输入18选择回路19气体选择模式20通信选择模式20厂家数据模式20RS232输出和输入20超级终端的使用和设置20切换流模式到轮循模式20通过RS232发送设定点21通过RS232线缆调节比例和导数条款22选择一种气体23数据格式24RS232通讯协议基本结构25Alicat质量流量控制器的设定点输入方式切换26操作原理27常见问题及技术支持28标准气体数据表30气体质量流量控制器和体积流量控制器性能指标32气体质量流量控制器和体积流量控制器尺寸图36选项：累计模式39选项：9V电池包40选项：本地设定点模块42选项：高温选项43附件：FlowVision软件44附件说明45感谢您购买ALICAT气体流量控制器。请仔细查找和阅读该操作手册。这样会帮助您更好地使用ALICAT产品。该手册介绍了以下Alicat的产品：16位气体质量流量控制器16位气体体积流量控制器安装管道设备所有ALICAT气体流量控制器，进口和出口都是内螺纹连接。由于流量计在流量主体中安装了一个层流元件，因此流量计的前端或后端无须是直管道。进口和出口尺寸相同，并且是同轴对称。通常说来，端口大小和尺寸根据量程的不同而变化。配有10-32端口的控制器，有“O”型环面密封，无须其他的密封剂和胶带。注意不要在端口上面使用密封剂或粘稠物，因为当这些化合物进入流量计时，会致使流量计永久性的损害。当使用螺纹密封时，通常采用特伏龙密封胶带，来防止螺纹周边的泄漏。当使用密封胶带时，避免残留在第一个牙或第二个牙上，这样降低密封带碎片进入气流的可能性（它会使流量计损坏）。当更换配件时，一定要先清除螺纹外部的任何密封带，否则它们可能会松落，并进入气流中。此外，推荐在满量程为1（S）LPM，或者低于1（S）LPM的控制器前端管路中，安装一个20微米过滤器，或者在满量程为1（S）LPM以上的控制器的前端管路，安装一个50微米的过滤器。装配所有ALICAT气体流量控制器，都带有方便安装在平坦的面板上的装配孔。在手册的36到38页说明了这些孔的尺寸大小。小阀门控制器对位置通常是不敏感的。大阀门控制器对于位置有些敏感，因为由于阀门是由相当厚重的柱体装置而成的。推荐阀门柱体要竖直安装。如果大阀门安装的位置与推荐位置不同，这时给控制器一个零设定值，当弹簧力关闭阀门的时候，容易会产生泄漏。应用允许最大的在线操作压力为150PSIG（1000kPa）。注意：超过165PSIA在线压力时，会导致固态差压传感器永久性的损坏。如果在线压力高于125PSIG（862kPa）,应当在流量控制器的前端管路中，安装一个压力调节器，使压力降低到125PSIG（862kPa），或更低压力。我们控制器的许多类型都是根据广泛咨询顾客的特殊应用才设计出来的。根据应用的不同，两个控制器会有相同量程，但是型号会有所不同。控制器从一个应用领域到另一个时，应该仔细测试它在新应用中的适应性。注意体积流量计和控制器不适合应用在高压或高背压的环境中。通常都应用在10~15PSIG（0.66~1bar）的压力条件下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，而且还会给仪表造成损害。电源和信号连接如图1所示，ALICAT控制器通过电源插座，或者的8针Mini-DIN连接器来供应电源。如下面的注释，用一个适配器来使交流转换为直流电压和电流。电源插座配有正极为2.1mm的凹槽电压插头。电缆和直流/交流适配器可从制造厂家购买（看45页配件），或者由当地的制造商制造。通过Mini-DIN连接器供应电源，如下面所示：小型阀门：如果你的控制器使用小阀门（大约是你的拇指大小），则需要一个12-18Vdc（标准的68欧姆阀门线圈）或19-28Vdc（选项为136欧姆阀门线圈）带有2.1mm正极凹槽插头，同时须配有300mA电流的电源供应。注意：4-20mA输出模式时，电源要求至少15Vdc。大型阀门：如果你的控制器使用一个大型阀门（大约你拳头的大小），需要一个24-30VDC带有2.1mm正极凹槽插头，配有750mA的供应电流的电源供应。针数功能Mini-DIN线缆颜色14-20mA输出信号或无用黑色25.12Vdc或第二路模拟输出（4-20mA,5Vdc,10Vdc）或报警褐色3RS-232输入信号红色4模拟设定点输入信号橙色5RS-232输出信号黄色60-5Vdc（或0-10Vdc）输出信号绿色7电源正极输入（如上所述）兰色8地线（公共端）紫色注解：上面的针输出说明，应用在所有的使用Mini-DIN连接器的流量计和控制器上。不同输出信号的实用性，决定于流量控制器的选项预定。表中带下划线的选项，为仪表标准单上注明的可选配置图1通用8针Mini-DIN连接器针口注意：禁止连接电源到1~6针上以免造成永久的损坏！输入信号模拟输入信号如图1，4针连接模拟输入信号标准信号0-5Vdc：标准模拟输入信号是0-5Vdc，除非订购其它输入方式。在4针上接0-5Vdc的输入信号，8针上接其公共地线端。在2针上有一个5.12VDC的电压输出，然后通过一个50K欧姆的电位计，将转换的模拟输入信号再返回到4针，这样就构成一个可调节的0-5Vdc输入信号源。如图所示：图2.对控制器设定的简单方法可选信号0-10Vdc：如果订购时选用此模式，则把0-10Vdc输入信号接到4针上，公共地线端接到8针上。可选信号4~20mA：如果订购时选用此模式，则把4-20mA输入信号将接到4针上，公共地线接到8针上。注意：4-20mA的输出模式要求至少由15Vdc的电源供应。RS-232数字输入信号如果你使用RS-232输入信号，按图2所示，必须把RS-232输出信号（5针），RS-232输入信号（3针），和地线（8针）接到你的计算机串行口上。连接电缆可以使用厂家制造的，或采用本地制造商制造。在图3中，注意图表显示的连接“端口”界面图，连接器在流量计的上部，DB-9型端口在计算机的背部。电缆终端和图3成镜象显示（见20页的RS-232输出和输入的详细说明）输出信号**注意**回顾图1的针输出类型表格（page6）。通常容易误将2针（5.12Vdc输出参考电压）作为标准的0-5Vdc的模拟输出信号！实际上2针只是普通的恒定的5.12Vdc电压，它反映的是系统总电压，也可以作为输入信号的电源。允许用户通过一个50K欧姆电位计控制输出，然后返回模拟设定点针口，这样就构成一个0-5Vdc的设定电源。RS-232数字输出信号如果你使用RS-232输出信号，按图2所示，必须把RS-232输出信号（5针），RS-232输入信号（3针），和地线（8针）接到你的计算机串行口上。连接电缆可以使用厂家制造的，或根据采用本地制造商制造。在图3中，注意图表显示的连接“端口”界面图，连接器在流量计的上部，DB-9型端口在计算机的背部。电缆终端和图3成镜象显示（见20页的RS-232输出和输入的详细说明）标准（0-5Vdc）电压输出信号所有的ALICAT流量控制器的6针上都具有0-5Vdc的（选项0-10Vdc）输出信号。这个通常也是其他的订购命令的输出选项，电压对应量程范围：零流量时对应0.010Vdc，满量程时对应5.0Vdc。输出电压在整个量程过程中呈线性的。接地端为信号的公共端8针。选项0-10Vdc电压输出信号如果你的流量计订购的是0-10Vdc输出信号，它将会连接在6针上。（根据随流量计一起的校准数据表，确定您订货时所选择的输出信号。）此电压对应量程为：零流量时对应0.010Vdc，和满量程时对应10.0Vdc。输出电压在整个量程过程中是呈线性的。此信号的地线公共端在8针上。选项（4-20mA）电流输出信号如果你的流量计订购的是4-20mA电流输出信号，它将会连接在1针上。（根据随流量计一起的校准数据表，确定您订货时所选择的输出信号）。电流信号为零流量时对应4mA，满量程时对应20mA。输出电流在整个过程中都是线性的。信号的地线在公共端8针上。（电流输出要求由15－30Vdc电源供应）。注意：这是电流源设备，不要把此设备连接到“电压回路”（looppowered）中去。选项第2路模拟输出信号您可以在订购的同时在2针上指定第2路输出选项。（根据随流量计一起的校准数据表，来确定您订货时所选择的输出信号）。此输出可能是0-5Vdc，0-10Vdc，或4-20mA模拟输出信号，并且输出信号可以表示任何测量参数。通过这个选项输出，体积流量计能够输出0-5Vdc（在6针上）和4-20mA（在2针上）的体积流量，或者质量流量计可以输出质量流量（0-5Vdc在6针上）和绝压（0-5Vdc在2针上）。注意：这是电流源设备。