FEI(Phenom)飞纳台式扫描电镜产品手册

FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品PHENOMTMG2飞纳台式扫描电子显微镜第二代数秒之内，遍览微观世界飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作，详情请咨询PhenomWorldBV中国公司：复纳科学仪器（上海）有限公司数秒之内，遍览微观世界数秒之内，遍览微观世界现在，Phenom-WorldB.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜：PhenomG2和电镜能谱一体化的PhenomproX。Phenom(飞纳)G2和proX采用全新的硬件及软件架构，在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时，为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品01　　自2007年美国FEI公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来，Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格，成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。　　2009年，为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发，FEI公司与国际知名的NTS-Group公司、Sioux嵌入式系统公司合作，成立Phenom-WorldB.V.公司，专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。　PhenomG2包含两款：　　专业版G2pro　　标准版G2pure主要参数:产品主要特点:◎高质量的图像◎30s快速成像◎操作简便，结合控制旋钮和触摸显示器便可获得高倍SEM图像◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500h)◎自动灯丝对中，自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节◎光学与低倍电子双重导航，想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体，无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计，对放置环境无特殊要求◎丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D粗糙度重建、纤维测量系统......◎多功能样品杯选件：控温样品杯（-25~50℃）、自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯......0220-120x(G2pro)20x(G2pure)80-45,000x(G2pro)70-17,000x(G2pure)25nm(G2pro)30nm(G2pure)5kV30s四分割背散射电子探测器台式电脑大小普通实验室或办公室、厂房光学显微镜：电子显微镜：　　　　　分辨率：加速电压：成像时间：探测器：主机体积：放置环境：新一代电镜能谱一体化PhenomproX台式扫描电子显微镜电镜主要参数光学显微镜：电子显微镜：分辨率：探测器：加速电压：成像时间：主机体积：放置环境：20-120x80-45,000x25nm四分割背散射电子探测器5kV、10kV、15kV30s台式电脑大小普通实验室或办公室能谱仪主要参数探测器类型：硅漂移探测器（SDD）冷却方式：无液氮Peltier效应电制冷探测器晶体活性面积：25mm2能量分辨率：137eV（MnKα）X射线分析模式：15kV元素探测范围：Boron（5）-Uranium（92）FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品数秒之内，遍览微观世界032012年PhenomWordBV公司推出了全世界第一款电镜能谱一体化台式扫描电镜PhenomproX系统。PhenomproX的能谱仪(EDS)完全嵌入在电镜主机中，集成的能谱仪采用半导体制冷技术，无需额外冷却设备。PhenomproX继承了Phenom系列产品简单易用、低维护成本的优点。◎自动可靠的元素识别集成EDS的PhenomproX操作界面，点击您感兴趣的样品位置，即可完成元素的定性定量分析。元素分析软件提供基本分析模式和高级分析模式，用户根据测试需要进行选择。04FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品◎高质量的图像Phenom（飞纳）G2采用低加速电压（5kV）、低真空度（0.1mBar）、高灵敏度背散射电子探测器与长寿命高亮度低色差CeB6灯丝的最优化组合，为您提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像：◎20x-45,000x连续放大，分辨率25nm，令人惊叹的大景深。◎探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。◎低加速电压，电子穿透深度浅，避免样品的破坏，展现更多表面细节。Phenom（飞纳）专利样品杯和低真空设计，装入样品后30秒钟内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右，为您省去了大量抽真空的时间，极大的提高您的工作效率。ZnO（复旦大学）金属锡球图像传统SEM在15kV加速电压下得到的海藻图像，电子穿透效应非常严重。Phenom（飞纳）5kV加速电压下得到的海藻图像。◎30秒快速成像05数秒之内，遍览微观世界◎操作简便，全程导航Phenom独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降低到类似于光学显微镜的水平，使更多用户可以轻松使用。Phenom（飞纳）直观的导航界面，用户经过半小时培训即可得到高质量的图像。◎直接观测不导电样品利用标准样品杯（上图）与降低荷电效应样品杯（下图）得到的头发图像降低荷电效应样品杯利用控制旋钮和触摸屏您可以完成以下操作◎自动/手动聚焦◎自动/手动亮度对比度调节◎自动/手动灯丝对中调节◎自动样品移动Phenom（飞纳）采用马达驱动样品台，点击屏幕上希望观测的区域，即可轻松移动样品。◎全程导航Phenom（飞纳）独有的光学/低倍SEM导航功能，为您全程提供整个/局部样品的导航图像，点击您感兴趣的区域即可准确移动样品，不必再频繁的缩小、放大图像，方便您在不同样品、不同区域之间切换，轻松实现想看哪里点哪里。Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。Phenom独有的光学导航和低倍SEM导航窗口，导航窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的观测区域。Phenom结合控制旋钮和触摸显示屏调节SEM图像06Phenom（飞纳）采用低真空技术，背散射电子成像，可以有效抑制荷电效应的产生，使得直接观测各种不导电样品成为可能，免去了耗时费力的样品预处理过程。利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右。FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品◎成份&表面形貌两种成像模式Phenom（飞纳）选择背散射电子成像。背散射电子的产率、出射角度，与样品成份和表面形貌息息相关，因而可以同时给出样品成份和形貌信息。Phenom（飞纳）采用4分割背散射电子探测器，为您提供两种成像模式：-成份模式（Fullmode）:同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其对比度的不同加以分辨。-形貌模式（Topographicalmode）:在图像中去除了成份不同所造成的差异，强化样品的3D信息，使样品表面的凹凸起伏等微观结构更加明晰。尤其适用于表面粗糙度和缺陷分析。Phenom（飞纳）可以快速的在两种成像模式间任意切换。◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝Phenom（飞纳）采用只有2.5ev逸出功的CeB6灯丝，亮度为钨灯丝的10倍，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像，其使用寿命长达1500小时，为钨灯丝的15-40倍，可正常使用1-3年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。◎环境适应性高，完全防震Phenom（飞纳）可以放置在几乎任意的室内环境当中，无需超净间。各主要部件相互固定，震动不会引起各固件之间的相对运动，使得Phenom成像不受震动影响，可放置在较高楼层。◎终身免费的远程检测功能Phenom（飞纳）拥有远程检测功能，通过网络，专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供全方位的保护，让您的Phenom随时处于最佳工作状态。安全入口FEI远程服务工程师防火墙互联网防火墙防火墙FULL模式成像原理:4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加。TOPO模式成像原理:4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消。成份模式图像形貌模式图像CeB6灯丝07数秒之内，遍览微观世界AACCBBDD◎丰富的拓展功能：PhenomProSuite应用模块PhenomProSuite是专为Phenom（飞纳）台式扫描电子显微镜设计的应用模块，其开发目的是使用户可以从Phenom的SEM图像中提取更多信息，拓展Phenom的应用，满足特定的用户需求。标准组件：-自动全景图像拼合-远程控制界面选配组件：-3D粗糙度重建-纤维测试系统自动全景图像拼合主要特点：　－最大８.07mm的超大视野（FOV），完整呈现样品全貌　－高达近1亿像素的超高分辨率　－自动采集图像，每分钟可采集超过100张1024x1024分辨率的图像　－简明的单页用户界面，操作简便　－可与纤维系统联用利用自动全景图像拼合得到的灯丝图像，分辨率高达8500万像素。远程控制界面PhenomProSuite应用模块中的远程控制界面使得您可以在不同地点对Phenom（飞纳）进行远程操作，您也可以在报告中实时演示Phenom中的图像；也为在不同地点同事之间的合作提供了便利。PhenomProSuite模块用户界面08应用自动全景图像拼合模块可以得到大范围的高分辨图像。用户只需在总览图中定义扫描区域，自动全景图像拼合模块将自动开始以指定的分辨率对该区域进行扫描。所得图像将拼合成一副全景图像加以保存，方便进行进一步的观测。1024x1024像素的照片局部特写，揭示左图方框内样品的表面细节。3D粗糙度重建FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品3D粗糙度重建摸块（3DRoughnessRecon-struction）是Phenom（飞纳）台式扫描电镜所独有的强大图像处理工具。借助3D粗糙度重建模块，Phenom可以产生样品的3D还原图，对其进行任意旋转，并进行亚微米量级的粗糙度测量，帮助用户更加细致的分析样品形貌。钻头表面SEM图像，放大倍数600x。图像中可以看到钻头表面磨损所致的纹理，但由于为2D图像，纹理的起伏不够直观，无法进行较为精确的测量。钻头表面SEM图像，放大倍数2900x左：利用3D粗糙度重建模块得到的钻头表面的3D重建图像，图像可进行任意角度的旋转，使得样品表面的粗糙起伏变得更加明晰。图中包含三条测量曲线，右侧区域内显示了Rz与Ra的测量结果。右：左图中的测量结果的放大图，给出了样品表面起伏高度的定量测量结果：钻头表面最大沟壑深度为1.13um。09数秒之内，遍览微观世界适用领域：◎纹理分析◎缺陷&失效分析◎摩擦学-磨损分析◎机械加工的质量控制◎证物鉴定........主要特点：◎自动创建3D图像-全3D图像-2D或3D图像，通过颜色指示高度-过滤后的3D图像◎3D图像可任意旋转◎自动粗糙度测量-Ra（平均粗糙度）和Rz（粗糙高度）-用户可设定波纹过滤-支持5线同时测量◎远优于光学或机械测量手段-高分辨率高精度-不破坏样品◎无需倾斜样品◎数秒之内完成快速3D重建纤维系统2.0纤维系统使得直接观察和测量微米、纳米纤维变得前所未有的快捷、简单。结合Phenom台式扫描电子显微镜，纤维系统可以使您获得微米、纳米纤维的精确尺寸信息。纤维系统的自动图像表征功能可以在几秒内完成数百次测量，提供更加精确的数据。与以往耗时费力且精确度难以保证的手动测量相比，纤维系统将为您节省大量时间、精力，给您最大的回报。纤维系统用户界面，图中显示了纤维及孔径测量空气过滤网SEM图像左：纤维系统自动进行纤维直径及孔径的测量右：左图中纤维尺寸的分布柱状统计图。用户可以对统计图坐标进行调整。纤维的最小、最大及平均尺寸均显示在图片下方。10适用领域：◎过滤网膜◎织物◎造纸......主要特点：◎自动测量，几秒内完成数百次测量，节省时间◎每张图片测量1-1000组数据自动生成统计数据◎可以观察和测量从纳米到微米量级的纤维◎同Phenom连接，可进行实时测量◎数据可以标准格式导出FEI公司旗下Phenom-WorldBV荣誉出品◎适用于不同领域的样品杯标准