JEM-2100F2200FS操作说明

JEM-2100F/2200FS操作说明制作：北京东方捷欧技术服务站马宁一，开机（此步只能由实验室管理员操作）。1.合上配电柜中电镜主机的单相电源，同时合上循环水的三相电源。2.合上主机的稳压电源开关。3.合上主机电源柜上的电源开关。4.确认电子枪的模式转换器在COND模式（见图一）。（图一）5.按压主机控制台上的I键2、3秒钟后松开，RP开始动作，主机启动。6.打开TEM控制PC，首先等待PC显示器右下角的图标由未建立通讯状态转变为已建立通讯状态，这通常要等待5分钟，再等操作控制台上按键指示灯变亮后双击桌面上的打开TEM控制软件，确认StatusMonitor-System中各项显示都为Running状态（如图二）。（图二）未建立通讯状态（图三）：如果发生这种情况，关闭软件确认通信建立后再打开。如果还不行，关闭计算机，然后再VMERESET，等1分钟再将PC打开，通信建立后打开软件。（图三）7.确认电源柜上的60L，20LSIP真空档位选择器在X10-6Pa的位置，并且指针基本上是在左端基本到底的位置，如指针指示超过0.5X10-6Pa,请立即通知服务中心。（图四）8.确认真空符合要求后加高压（在COND模式，从100KV起加，参照长假期处理）备注：如无法正常开机，请检查下列各项：1，检查电源，包括电源柜中的主闸及电镜分开关是否正常，稳压电源是否在开启状态，以及主机电源柜的空开是否在开启状态。2，打开StatusMonitor-Alarm，察看是否有变红的报警提示(一般会自动弹出此报警窗口，如图五)，如有请与服务中心联系。（图五）3，打开TEMCON软件后弹出下列窗口（图六）是由于过早打开软件造成，关闭软件后再次开启此问题就会解决（图六）二，插拔样品杆1，放入样品杆前，如当时EMSN是ON的状态不要关掉灯丝（热场的灯丝一般总保持在发射状态，所以无须关灯丝，这是与普通电镜的区别之处），同时更换不同的样品杆要在计算机里选择相应的型号。2，如果柱体是通过SIP抽的，请将150LSIP真空指示表放在KV档。3，样品杆抽真空时，如绿灯很快就亮不要马上将样品杆插入，最好总的抽气时间不要少于5分钟，但也不要超过10分钟（注：有时绿灯很长时间不亮，可能是由于工作点漂移造成，并不是由于真空真的没有达到，此时需要电路上的调节，但电位的漂移通常是一个渐变的过程），长时间的通过油扩散泵给样品杆抽气会对样品造成污染，有条件的用户最好配备样品予抽室，不用的样品杆平时可放在里面长时间的抽。4，200KV电镜ACD是标准配置，强烈建议早上工作前先将液氮加好，这样有利于镜筒的真空卫生，对灯丝寿命、样品污染以及离子泵的寿命都有好处。5，样品杆刚插入COL时不要马上将V1打开，因为在插入样品杆的过程中多少会有一些泄露，即使插入后真空看上去很好，最好在插入后再等1~2分钟开V1阀。6，到真空度达到低于4x10-5PA时，打开V1阀。（最好低于2x10-5PA）7，样品观察。8，拔出样品杆之前，首先要关掉V1阀，但决不要关灯丝（热场的灯丝一般总保持在发射状态，所以无须关灯丝）。9，样品杆回零-点击HolderExchange。（如果不回零就拔会损坏样品杆，尤其是双倾台）（图七）直到出现下面的对话框，才可进行下步操作。（图八）10，如果柱体是通过SIP抽的，请将SIP真空指示表放在KV档。11，拔出样品杆到放气位置，放气后，拔出样品杆。备注：1)测角台是整个设备中机械部分最精密的部分，所以在插拔过程中一定不要使蛮力，否则会损坏测角台。在整个运动过程中它应始终保持在轻松灵活的状态，如感吃力，决不可硬转，硬拔，要马上通知管理员或服务中心。2)样品杆在插入柱体的过程中，由于里面是负压，样品杆应是被吸入的，所以要拉住直到完全进入后才可松手。如此时感到涩，不是很顺利的被吸入，那么就要在样品杆的两个橡皮圈上涂抹白色的FOMBLIN真空脂（可用牙签挑上一些涂抹在橡皮圈上，不宜太多）。（图九）3)如样品杆长时间不能抽到绿灯亮，请检查橡皮圈是否有损伤，样品杆是否放置正确，橡皮圈上的真空脂是否干了，样品杆是否长期放在外面受潮，样品是否受潮。（如还不行请与服务中心联系）4)如有样品杆予抽机的最好将样品杆插在上面予抽，没有的用户在观察完样品后，最好将样品取下再将样品杆插入到COL中以保持干燥。5)带有ACD装置的请在早上一上班就将液氮加好，但它加满后只能维持7~8个小时，所以最好在中午下班前再将它不充满，这样就可完全保证整个下午的工作了。用液氮后，下班前一定要用加热棒将ACD中的残余液氮烘烤出来，否则会由于液氮挥发完后原来吸附在冷阱上的脏东西快速挥发出来造成SIP的停机。三，日常加高压在EMSNON的状态（通常EMSN都是ON的状态）1，高压通常保持为160KV，点击DIALOGUE中的HIGHVOLTAGECONTROL检查高压暗流值以及EMSN束流值是否正常（160KV=77μA，200KV=96μA）。（如不正常请与服务中心联系）2，检查各SIP真空度是否正常（如不正常请与服务中心联系）。3，点击HIGHVOLTAGECONTROL中的Normal后按确认，将自动由160KV升到200KV。（图十）4，加高压到200KV后再等待2分钟，确认暗流正常后点击BEAMVALVE中的OPEN打开V1阀（如不正常请与服务中心联系）5，样品观察四，日常退高压（EMSNON的状态）1，直接点击StandBy后系统会自动从200KV降到160KV，并维持到第二天。五，长假期间的处理（此步只能由实验室管理员操作）（一），将OPERATION模式换为COND模式-降场1，点击（图十）中右下角的More后弹出HighVoltageControl中的第一级隐藏菜单。（图十一）2，直接点击AutoHT&Emission中的Turnoff来直接关闭灯丝。它的过程是：先从现在的电压降为100KV后EMSNOFF，然后高压再降为0KV，在此过程中会依次显示下面的提示信息。（图十二）3，等提示结束后，将OPERATION模式换为COND模式，通过点击（图十一）最下面的向下箭头来打开HighVoltageControl中的第二级隐藏窗口，确认右下角CondKnobPosition中显示为COND。如果显示为NotReady则是由于ConditioningHandle位置不正确所致，重新调整到（图一）的正确位置。（图十三）4，点击（图十三）HT中的ON，然后从AutoHT中的Target设置160KV，Step选择1KV，Time/Step选择3sec，然后点击Start，高压将自动加到160KV，确认暗电流正常后就一直保持160KV到假期结束。（二）假期后将COND模式换为OPERATION模式-升场1，在COND模式将高压从160KV退到100KV，点击HTConditioning中ManualConditioning中的ON。（确认暗流正常）2，每5秒1kv加到140KV，等5分钟。（确认暗流正常）3，每15秒1kv加到160KV，等10分钟。（确认暗流正常）4，每6秒0.1KV加到180KV，等30分钟。（确认暗流正常）5，每60秒1KV，加到190KV，等15分钟。（确认暗流正常）此时高压实际为210kv,不要超过30分钟.6，每60秒1KV，加到200KV，等15分钟。（确认暗流正常）此时高压实际为220kv,不要超过30分钟.7，从AutoHT中的Target设置100KV，Step选择1KV，Time/Step选择1sec，然后点击Start，高压将自动降到100KV，点击HTConditioning中ManualConditioning中的OFF，点击HTOFF，8，待（图十二）对话框消失后，将COND模式换为OPERATION模式，如（图十四）（图十四）9，转换成功后，HighVoltageControl窗口的右下角将显示OPERATE。（图十五）10，放入样品杆（否则无法打开V1）11，在0KV下HTON。12，打开V1阀，观察20LSIP的真空指示5分钟看是否下降很多。同时确认60LSIP真空指示不动。13，关闭V1,再次将V1打开5分钟，观察20LSIP真空后小于0.5X10-6Pa，60LSIP小于0.5X10-6Pa，将V1关闭。（如有问题请联系服务中心）14，点击（图十五）AutoHT&Emission中的Startup开始自动加高压升场，大约要2小时。（此过程是HT先加到100KV，然后升场，最后加到200KV。注意待升场完后确认EMSN电流和高压暗流值是否正常，通常升场刚结束时EMSN电流值要较假期前低一些，此为正常，过两天后升至稳定值）（注意高压箱带有HS标签的要在转为OPERATE模式后等一小时再升场）15，放入样品，确认柱体真空小于4x10-5Pa后打开V1（最好低于2x10-5Pa）16，合轴，观察样品.。六，BAKEOUT（柱体真空变坏，柱体放气后，长时间使用后都需要烘烤，建议每月做一次，但最少3个月做一次）1，退出所有光阑。2，关闭V1阀。3，不要放入样品杆。4，点击AutoHT&Emission中的Turnoff来直接关闭灯丝和高压。5，转换提示消失后，并确认高压为0KV后将OPERATION模式换为COND模式。6，从MAINTENANCE中的ACD&BAKE中设定BAKEOUT时间以及冷却时间。（建议周末烘烤60小时以上，冷却时间不少于4小时）7，将V1保护盖扣上。8，确认LENS开关ON（在左手门中）。9，点击BAKEOUT中的Start10，LENSWATER进水阀关闭（红色的阀门）。11，BAKEOUT结束后打开LENSWATER进水阀门。12，先关LENS后再开LENS.13，HTON在100KV14，HTCONDON.15，每5秒1kv加到140KV，等5分钟。（确认暗流正常）16，每15秒1kv加到160KV，等10分钟。（确认暗流正常）17，每6秒0.11KV加到180KV，等30分钟。（确认暗流正常）18，每6秒0.1KV，加到190KV，等15分钟。（确认暗流正常）19，每6秒0.1KV，加到200KV，等15分钟。（确认暗流正常20，退到100KV，HTCONDOFF,HTOFF.21，待图十二的提示框消失后将COND模式换为OPERATION模式22，HTON在0KV。23，将予抽好的样品杆放入镜筒（否则无法打开V1阀）。24，打开V1保护盖。25，确认COL真空低于4X10-5，打开V1阀，观察20LSIP的真空指示5分钟看是否下降很多。同时确认60LSIP真空指示不动。26，关闭V1,再次将V1打开2-3分钟，观察20LSIP真空后，将V1关闭。（如有问题请联系服务中心）27，点击（图十五）AutoHT&Emission中的Startup开始自动加高压升场，大约要2小时加到。（注意高压箱带有HS标签的要在转为OPERATE模式等一小时后再升场）28，确认EMSN电流值正常后打开V129，观察七：HTDARKCURRENT（下面的值仅供参考）HT(KV)TANKONLY(μA)WITHGUNCONDMODE(μA)WITHEMSNOPEMODE(μA)501423601728702033802337902642100294749110325254120355659130386164140416668150447173160467577170498082180528587190558991200589497210619922064104MONITOR与DATA值MONITORDATAA1(KV)A2(KV)BIAS(KV)FIL(A)八：做COND的频率1，对于新枪，要在头3个月里每月做1到2次COND（到220KV）2，此后每3个月最少做一次3，由于做BAKEOUT也是1~3个月，所以最好与BAKEOUT同步。九：UPS充电电池UPS充电电池需要3年更换一次。