1.无尘室简介

無塵室簡介前言從第2次世界大戰後對航空儀器及有關精密機器類之生產，為確保所預期之性能，乃用各種方法將裝配區域之空氣保持潔淨，尤其進行電子儀器之微小化，及要增加產品之合格率，更費各種努力使機器與零件盡量不被污染。為提高各機器之信賴性，耐久性與減少維修次數，如何控制污染，其重要性愈增。為達到上述目的，對上述之生產場所裝設無塵無菌室或其他空氣潔淨化設備，以控制空氣之污染。制造業發展趨勢潔淨化---------無塵制造------環境精密化---------納米技朮------精度自動化---------柔性制造------效益無塵室定義無塵室又名潔淨室﹕•是指將室內空氣中塵埃微粒﹐溫度﹐濕度﹐壓力流速﹐氣流的分布形式及其形狀等控制在一定范圍內的房間空氣潔淨度定義:•每ft^3空氣所含≧0.5μm直徑塵埃的個數即為所屬潔淨度等級•洁净度数值越小---等级越高.日常環境中空氣的含塵量場所潔淨度工廠﹐車站﹐學校2,000,000商店﹐辦公室﹐樂房1,000,000住宅600,000室外500,000病房﹐門診部150,000手朮室50,000潔淨度等級-美國聯邦FEDSTD209E等級0.1μｍ0.2μｍ0.3μｍ0.5μｍ5μｍ體積單位體積單位體積單位體積單位體積單位公制英制m³ft³m³ft³m³ft³m³ft³m³ft³M13509.9175.72.1430.90.875100.283——M1.511240352657.5106335.31——M2350099.175721.43098.751002.83——M2.5101240035026507510603035310——M3350009917570214309087.5100028.3——M3.5100——26500750106003003530100——M4——7570021403090087510000283——M4.51,000——————3530010002477M5——————100000283061817.5M5.510,000——————35300010000247070M6——————1000000283006180175M6.5100,000——————353000010000024700700M7——————10000000283000618001750無塵室的構成要素無塵室之構成要素如表-1，有5大項區別。其中空氣(清淨度，溫濕度)之性能為最重要。這種性能降低和維持性能水準是無塵室之基本要求。清淨度在JIS表示等級為3～4，溫度與濕度是23℃；40～45%之中心值作調整之範例最多。建築內部裝修之基本要求是，設計清淨度的性能，維持其性能的基本要求。微振動、靜電氣、電磁場等性能是獲得提升性能且影響生產之要素。無塵室面積方面，以一條生產線計算超過5,000m^2，近年來有增加之傾向。生產方面，主要著眼於提升效率；而施行各種政策，來強化節能節省資源之工作。實用性方面即是負責提升製造停滯之重要工作。最近氣體系單位有顯著增加投資的趨勢。居住方面，儘量採用各種提升生產效率之方法，為了確保安全方面，可以利用無塵室來控制生產。這是今後，務必考慮的工作。表1無塵室構成要素1)空氣、空調除塵（潔淨度、氣流、室內壓力）、冷熱水流體（溫溼度）2)內裝、靜電3)生產性：生產佈置、搬運、自動控制、省能源4)周邊設施：電氣、氣體、排氣處理、冷卻水、純水、排水5)居住性：安全、保安、噪音空氣淨化要求發塵量小﹕1.風淋室2.要短線作業及時排塵﹕使用防靜電材料供給潔淨空氣﹕HEPA&ULPA溫濕度要求-FEDSTD-209B溫度﹕18~23℃推荐值﹕20~21℃濕度﹕60~85%推荐值﹕70~76%說明﹕1.RH30%,材料變脆和易燃﹐有靜電2.RH85%,材料潮濕易吸附塵埃,不能吹掉過濾網(FILTER)1.初級過濾網(PRE-FILTER):目的:為延長HEPA(HIGH-EFFICIENCYPARTICULATEAIR)過濾網之使用壽命為目的,以過濾外氣中之粗塵粒及室內產生之較大塵粒為使命。選用:效率50%以上之初級過濾網。2.終端過濾網(HEPA):目的:按無塵室清靜度條件之要求過濾0.5µm以上之塵粒子為目的。選用:99.99%以上之高效率過濾網。測量風速時檢查風速有無減少（風速不得低於0.30M/sec）。空調方式12人員進出無塵室1.當人員進入無塵室須有下列步驟:脫掉外鞋→脫掉外衣→戴上頭罩→戴上口罩→穿上無塵衣→穿上無塵鞋→戴上手套→踏過腳踏黏墊→經過空氣浴塵室(AIRSHOWER)→無塵室。2.戴上頭罩,頭髮不得外露。無塵室穿戴無塵室之清掃1.無塵室清潔部分有天花板、隔間、地板、機臺面、工作臺面、回風口、簾、燈具等,視各種不同的需求來選擇工具°2.無塵室一般可分為平常之幹式清潔與定期之濕式清潔°A.乾式清潔:每天需要之清潔,可用無塵室專用吸塵器,黏塵滾輪…等°B.濕式清潔:定期需要之清潔,可用無塵室專用拖把或抹布,配合純水,異丙醇或酒精..等來做清潔動作°3.分下列做清潔說明:A.天花板及燈具:利用抹布沾無塵室專用溶劑擦拭.(注意不可觸及FFU過濾網)°B.隔間璧,回風口百葉、窗及玻璃:利用抹布沾無塵室專用溶劑擦拭°C.地板：利用黏塵滾輪無塵室專用拖把及抹布清潔°D.機臺面(包含流動線及靜電消除機):利用無塵室專用抹布清潔°E.工作臺面:利用無塵室專用抹布清潔°本廠之無塵室規格A区D区C区B区本廠之無塵室規格溫度﹕20~21℃濕度﹕70~76%潔淨度﹕A区:一般环境B区:一般环境C区：100,000级D区：10,000级物料進出口-(A/S)物料進出口-(P/B)封淋室—人員出入口(A/S)溫濕度記錄儀