JJF(闽)1063-2014 标准光源对色灯箱校准规范

福建省地方计量技术规范JJF（闽）1063－2014体视显微镜校准规范CalibrationSpecificationforStereomicroscope2014-07-15发布2014-10-15实施福建省质量技术监督局发布JJF（闽）1063-2014体视显微镜校准规范CalibrationSpecificationforStereomicroscope本规范经福建省质量技术监督局2014年07月15日批准，并自2014年10月15日起实施。归口单位：福建省质量技术监督局主要起草单位：厦门市计量检定测试院参加起草单位：福建省计量科学研究院麦克奥迪实业集团有限公司本规范由厦门市计量检定测试院负责解释。JJF（闽）1063－2014JJF（闽）1063-2014本规范主要起草人：邓水发（厦门市计量检定测试院）郑伟峰（厦门市计量检定测试院）鄢周灵（厦门市计量检定测试院）参加起草人：刘震（福建省计量科学研究院）肖倩（麦克奥迪实业集团有限公司）JJF（闽）****-2014I目录引言…………………………………………………………………………（Ⅲ）1范围………………………………………………………………………（1）2引用文件…………………………………………………………………（1）3术语………………………………………………………………………（1）3.1变倍齐焦差……………………………………………………………（1）3.2左右齐焦差……………………………………………………………（1）3.3变倍齐中差……………………………………………………………（1）3.4左右齐中差……………………………………………………………（1）4概述………………………………………………………………………（1）5计量特性…………………………………………………………………（2）5.1成像清晰范围…………………………………………………………（2）5.2变倍齐焦差……………………………………………………………（2）5.3左右齐焦差……………………………………………………………（2）5.4变倍齐中差……………………………………………………………（3）5.5左右齐中差……………………………………………………………（3）5.6分辨力…………………………………………………………………（3）5.7物镜放大倍率误差……………………………………………………（3）5.8左右光学系统放大倍率差……………………………………………（3）6校准条件…………………………………………………………………（3）6.1环境条件………………………………………………………………（3）6.1.1温湿度条件…………………………………………………………（3）6.1.2其它条件……………………………………………………………（3）6.2校准项目及主要测量设备……………………………………………（3）7校准项目和校准方法……………………………………………………（4）7.1成像清晰范围…………………………………………………………（4）7.2变倍齐焦差……………………………………………………………（5）7.3左右齐焦差……………………………………………………………（5）7.4变倍齐中差……………………………………………………………（6）7.5左右齐中差……………………………………………………………（6）7.6分辨力…………………………………………………………………（6）JJF（闽）1063-2014II7.7物镜放大倍率误差……………………………………………………（7）7.8左右光学系统放大倍率差……………………………………………（7）8校准结果表达……………………………………………………………（8）9复校时间间隔……………………………………………………………（8）附录A栅格状分辨率板线宽表……………………………………………（9）附录B校准记录（式样）……………………………………………………（10）附录C校准证书内容及内页格式…………………………………………（11）附录D物镜放大倍率误差的校准结果测量不确定度评定………………（12）JJF（闽）1063-2014III引言JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范的基础性系列技术文件。本规范参照GB/T19863—2005《体视显微镜试验方法》、GB/T19864.1—2005《体视显微镜（第1部分：普及型体视显微镜）》、GB/T19864.2—2005《体视显微镜（第2部分：高性能体视显微镜）》制定。JJF（闽）1063-20141体视显微镜校准规范1范围本规范适用于普及型体视显微镜和高性能体视显微镜的校准。2引用文件本规范引用了下列文件：GB/T19863—2005体视显微镜试验方法GB/T19864.1—2005体视显微镜（第1部分：普及型体视显微镜）GB/T19864.2—2005体视显微镜（第2部分：高性能体视显微镜）GB/T22059—2008/ISO8039：1997显微镜放大率凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。3术语GB/T19864.1—2005、GB/T19864.2—2005、GB/T22059—2008/ISO8039：1997中界定的以及下列术语和定义适用于本规范。3.1变倍齐焦差变换物镜倍数时，由于像面的位移导致成像不清晰而需要重新调焦的位移。注：在国标中称为“齐焦”。3.2左右齐焦差在固定倍率情况下，左右光学系统不同焦面位置差异。注：国标中称为“左右光学系统的聚焦差”。3.3变倍齐中差变倍时像平面的横向位移。3.4左右齐中差物面中央物点的像在左右视场内对应位置的一致性。4概述体视显微镜是通过光学系统将微小物体所成的像放大后，由双目显微镜中两组同样的成像光路，获得具有立体感觉的清晰图像，用于观察物体的表面形貌及组织结构，并利用分划板上的刻度尺测量物体的几何尺寸。JJF（闽）1063-20142体视显微镜按结构形式可分为连续变倍型、有级变换型、物镜卸换型三种，按照技术性能可分为普及型与高性能两种。图1为一种常见的体视显微镜的外形图。图1体视显微镜的外形图1—目镜；2—视度调节圈；3—目镜筒；4—变倍手轮；5—弹性压片；6—载物台；7—底座；8—棱镜罩；9—电源线；10—立柱；11—调焦滑座；12—调焦手轮；13—光源；14—物镜；15—亮度调节旋钮。5计量特性5.1成像清晰范围体视显微镜视场成像清晰范围应满足表1中的要求：表1成像清晰范围普及型高性能上下方向≥60%，左右方向≥50%。上下方向≥70%，左右方向≥60%。5.2变倍齐焦差体视显微镜变换不同放大倍率物镜时，变倍齐焦差一般不大于0.6mm。5.3左右齐焦差目镜光学系统的左右齐焦差一般不大于1.5DF。DF按照下式计算：MNANAD71)(22F（1）JJF（闽）1063-20143式(1)中：DF—景深；NA—数值孔径；M—总放大率；λ—光波波长，通常λ=0.00055mm。5.4变倍齐中差体视显微镜使用不同放大倍率物镜时，变倍齐中差应符合表2中的要求。表2变倍齐中差技术指标（单位：mm）类型普及型高性能连续变倍型——≤0.4有级变换型≤1.2物镜卸换型≤2.55.5左右齐中差左右光学系统的左右齐中差应符合以下要求：上下方向：一般不大于0.2mm；左右方向：一般不大于0.4mm。5.6分辨力物镜分辨力一般不小于1200·NA。5.7物镜放大倍率误差物镜放大倍率误差应符合以下要求：普及型体视显微镜：一般不超过±5%；高性能体视显微镜：一般不超过±4%。5.8左右光学系统放大倍率差光学系统的左右放大倍率差应符合以下要求：普及型：一般不大于2%；高性能：一般不大于1.5％。注：校准不对测量结果作合格与否的判断，以上技术指标供参考。6校准条件6.1环境条件6.1.1温湿度条件：校准室内温度为（20±10）℃，相对湿度不大于85%。6.1.2其它条件：校准室内应无影响测量的灰尘、振动、气流和腐蚀性气体。6.2校准项目及主要测量设备JJF（闽）1063-20144校准项目及主要测量设备见表3。表3校准项目及主要测量设备注：也可采用满足测量不确定度要求的其它测量设备进行校准。7校准项目和校准方法校准前，以目视方法检查体视显微镜的光学系统。光学系统应成像清晰，视场内不应有影响测量的霉斑、脏物、划痕等疵病，照明装置应在视场范围内使被测对象得到均匀并有足够亮度的照明。以手动方法检查各部分相互作用，可运动部分的移动或转动应平稳舒适，定位可靠，没有滞涩或急跳现象。光学调焦机构应稳定、可靠。固定在立柱上的调焦滑座不会由于本身以及附加装置的质量而自行下降。在确定无影响计量特性的因素后，再进行校准。7.1成像清晰范围将玻璃线纹尺置于载物台上，朝向调为视场的左右方向。体视显微镜使用最高倍物镜，通过调焦使玻璃线纹尺刻度像清晰的范围为最大，使用玻璃线纹尺分别测量视场左右方向长度以及玻璃线纹尺刻度像清晰的长度，视场左右方向成像清晰范围D1按下式计算:序号校准项目主要测量设备1成像清晰范围分度值0.2mm、0.5mm的网格板2变倍齐焦差分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表3左右齐焦差分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表4变倍齐中差分度值为0.1mm的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、十字分划板5左右齐中差分度值为0.1mm的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、十字分划板6分辨力A4、A5、A7号分辨力板7物镜放大倍率误差分度值为0.1mm、0.01mm的玻璃线纹尺（MPE:±0.01mm）8左右光学系统放大倍率差分度值为0.1mm、0.01mm的玻璃线纹尺（MPE:±0.01mm）JJF（闽）1063-20145%1001LLD＇（2）式中：L—视场左右方向长度，格；L＇—玻璃线纹尺刻度像清晰的长度，格。将玻璃线纹尺朝向调为上下方向，按以上方法可得到体视显微镜视场上下方向成像清晰范围D2。7.2变倍齐焦差体视显微镜变倍齐焦差使用网格板校准，物镜倍率不大于1倍时一般采用0.5mm网格板，大于1倍时一般采用0.2mm网格板。把网格板置于载物台上，调整左侧目镜，使分划板上的刻度清晰，用高倍物镜对网格板调焦清晰后，转换至最低倍物镜，调节视度筒使像清晰，如此反复多次，直至像都清晰为止，此时分划板上的刻度与网格板的像应无视差，否则应重新细调目镜与调焦手轮，使两者位于同一像面。用百分表测得调焦滑座此时的高度位置，逐一调换其它各倍物镜，调换每个物镜后，应保持目镜视度调节圈不动，仅使用调焦手轮调焦，将网格板像调焦至最清晰，用百分表分别测得此时调焦滑座的高度位置，并记录百分表的示值hb左i（i=1，2，3，……）。使用左侧目镜时，各倍物镜的变倍齐焦差hb左按下式计算：hb左=h左max-h左min（3）对于有级变换型和物镜卸换型的体视显微镜，应对每个倍率分别测量变倍齐焦差。对于连续变倍型体视显微镜，可对物镜高、中、低三个倍率分别测量变倍齐焦差。然后使用右侧目镜，按上述测量方法测得h右i（i=1，2，3，……）。各倍物镜的变倍齐焦差hb右按下式计算：hb右=h右max-h右min（4）以上左侧或右侧目镜观察分划板时，应始终保持用同一只眼睛观察。在使用左、右两侧目镜所得到的测量结果中，取最大值作为变倍齐焦差测量结果。7.3左右齐焦差可利用7.2变倍齐焦差中得到的测量值，按下式计算各倍物镜左右齐焦差hzi。JJF（闽）1063-20146hzi=h左i-h右i(i=1，2，3，……）（5）从上式计算得到的各倍物镜测量值中取绝对值最大的那一个测量结果作为左右齐焦差的测量结果。7.4变倍齐中差将十字分划板置于载物台上，被检显微镜目镜筒内插入十字分划目镜，在显微镜最高倍率下对分划板调焦，按照7