E84 握手流程(中文版)

E84握手流程(中文版)弊番号OURNo.神鋼電機株式会社SHINKOELECTRICCO.,LTD.JAPAN2021/01/201背景?目的(4)2E84とE23之不同點(4)3限制(4)4機器構成(4)5用語說明(5)6控制信號之種類(6)7InterlockTimeout(8)8通信程序(9)8.1裝載移載(9)8.2卸載移載(11)9異常檢測(12)9.1移載動作開始前之異常(12)9.2移載動作中之異常(13)9.3異常移載動作後之異常(14)9.4GO信號?OFF變化(15)9.5異常之復舊(15)10注意事項(15)11Connector及各信號之分配(16)12電路圖?SensorUnit尺寸(18)1背景?目的半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（台車）藉由使用PhotoI/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。SEMI規格中、雖定義E23作為上述PhotoI/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又，本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。2E84とE23之不同點追加/變更於E84之項目如下。?連續HandoffSequence?同時HandoffSequence?追加HO_AVBL信號、ES信號?Timer之規定?改訂Connectorpin之分配3限制本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。?連續Handoff/同時HandoffSequence?使用於連續Handoff之Timer4機器構成圖4.1顯示本規格之E84I/OInterface的適用例。図4.1E84I/O介面例5用語説明表5.1顯示本書使用之用語。表5.1用語説明6控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表6.1所示。關於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。表6.1信號之名稱及功用7InterlockTimeoutActive裝置側之Timer（TA=TimerofActiveequipment）及Passive裝置側之Timer（TP=TimerofPassiveequipment）如表7.1及表7.2所示。各Timer、係以檢測裝載/卸載時Interlock之異常為目的。表7.1Active裝置所監視之Timer表7.2Passive裝置所監視之Timer8通信程序8.1裝載移載裝載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內容如表8.1所示。8.2卸載移載卸載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖8.2所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內容如表8.2所示。9異常檢測以下舉例說明OHT系統在Handoff中發生異常之模式。9.1移載動作開始前之異常1)OHV雖已到達對象Port、但不開始進行移載而立即通過。原因：裝置尚未完成移載準備（ManualMode等）或在異常狀態。信號變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態（亦可能兩者皆OFF）。2)已到達對象Port、雖短暫待機但未開始進行移載即通過。原因：裝置尚未完成移載準備等。或在READY=ON前HO_AVBL=OFF。信號變化：TA1或TA2發生Timeout後、使OHV側之信號全部OFF。（以下之TimingChart中、為在TA2Timeout時。）9.2移載動作中之異常1)在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態、而中止移載動作。a)OHV檢測到異常。原因：在OHV發生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON?OFF變化等）。信號變化：使OHV側之信號全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。b)裝置檢測到異常。原因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。信號變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。原因：Loadport之在荷狀態與動作狀態不一致。（卸載移載雖已結束但L_REQ並未OFF。）9.3移載動作後之異常1)結束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動。原因：裝置側未確認到OHV之移載結束通知。或確認過遲。（COMPT=ON之後、超過指定時間亦未READY=OFF。）9.4GO信號?OFF變化1)突然異常結束。原因：Device破損、Sensor光遮斷、外部光之干涉等。信號變化：GO信號產生ON?OFF變化、通信中之所有信號皆被Reset。其後即不再進行通信。※GO信號…係用來確認光信號被正確地被接收的信號。●光信號受信時ON●光路遮斷時(非受信時)OFF9.5異常之復舊以下說明OHT系統之復舊方法。①收集OHV之EventLog以探尋異常原因。（最好從發生現狀及Log來判斷。）②找出異常模式後再進行復舊作業。OHV之復舊如以下所示。a)自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時、OHV即結束E84程序並自動進行復舊後再開始移動。TA3Timeout發生後亦進行同樣之處理。（移載中若OFF時、即進行與bと相同之處理。）b)當移載動作中裝置將ES=OFF時、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復舊作業。（將OHVRet並進行再入線。）c)若以上述操作仍無法復舊時、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進行OHV及周邊機器之調查。※裝置之異常復舊方法、由於依各裝置系統其Process時間、缺陷模式以及復舊程序均不同、因此本書不加以規定。10注意事項為維持雙向通信、須注意以下各點。①使OHV側?裝置側之兩Device的投光部經常相對向。②確保光路避免外部光產生干涉。11Connector及各信號之分配Passive裝置側Connector之型式、係遵循ISO4902採用DB-25Socket（母）型式。1）電氣信號之規格2)Interlock信號之分配Active裝置?Passive裝置間之Interlock信號之分配如圖11.1所示。又、各Connector之規格如圖11.2及圖11.3所示。圖11.1信號Bit分配※1NC(NotConnected)…未使用※2Reserved…依裝置之不同有可能被使用之Pin。E84PI/O中則未使用。12電路圖?SensorUnit尺寸光I/O裝置之電路圖如圖12.1所示、StraightCable之電路圖如圖12.2所示。又、SensorUnit之尺寸如圖12.3所示。圖12.1光I/O裝置之電路圖圖12.2StraightCable之電路圖SensorUnit之最大尺寸以mm顯示。此尺寸包含突起部分。圖12.3SensorUnit之尺寸